C.3已裝過(guò)濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過(guò)濾系統(tǒng)掃描檢漏前,，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè),。C.3.2過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm,，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7],；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳,；高于80mg/m,，長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過(guò)度污染過(guò)濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的士15%,。C.3.3按規(guī)定的掃描速度,，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度,。掃描速度為5cm/s。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),，掃描的覆蓋面之間略有重疊,。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”)。采樣探頭距過(guò)濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm,。C.3.5掃描應(yīng)遍及過(guò)濾器的整個(gè)出風(fēng)面,、過(guò)濾器的周邊、過(guò)濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn),。C.3.6驗(yàn)收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí),，就認(rèn)為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值,。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處,，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間，光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置,?？諝膺^(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)周期

5.1.1隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代,、產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展十分迅速，以集成電路為**的微電子產(chǎn)品尤為***,，集成電路產(chǎn)品基本上是2~3年或更短的時(shí)間就會(huì)提升一代產(chǎn)品,；以TFT-LCD為**的顯示器件正在取代彩色顯像管的顯示器件生產(chǎn)；微型計(jì)算機(jī)的迅速發(fā)展,，使各種元器件生產(chǎn)發(fā)展十分迅速,。因此，電子工業(yè)潔凈廠(chǎng)房的設(shè)計(jì),、建造必須適應(yīng)這種快速發(fā)展的需要,，從潔凈廠(chǎng)房的規(guī)劃開(kāi)始，對(duì)于電子工廠(chǎng),、潔凈廠(chǎng)房的工藝設(shè)計(jì),、工藝布局應(yīng)充分考慮電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，以滿(mǎn)足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)的需求,。浙江潔凈度潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上潔凈室（區(qū))與周?chē)目臻g必須維持一定的壓差,，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。

9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,，但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,，這就要求在達(dá)到同一照度值情況下,，安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,，而且發(fā)熱量小，有利于空調(diào)節(jié)能,。此外,，潔凈室天然采光少，在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,，熒光燈基本能滿(mǎn)足這一要求,。因此，目前國(guó)內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源,。當(dāng)有些潔凈室層高較高,，采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值，在此情況下,，可采用其他光色好,、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對(duì)光源光色有特殊要求,，或熒光燈對(duì)生產(chǎn)工藝和測(cè)試設(shè)備有干擾時(shí),，也可采用其他形式光源。

（1）潔凈廠(chǎng)房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物,。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,，新技術(shù)、新工藝,、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),，產(chǎn)品精密度的日益提高，對(duì)無(wú)塵提出了越來(lái)越高的要求,。目前,，潔凈廠(chǎng)房已廣泛應(yīng)用于電子、生物制藥,、宇航,、精密儀器制造等重要部門(mén)。(2）潔凈廠(chǎng)房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響,。因此,，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。據(jù)了解,，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%,。一旦停電，室內(nèi)空氣會(huì)很快污染,，影響產(chǎn)品質(zhì)量,。（3）潔凈廠(chǎng)房是個(gè)相對(duì)的密閉體,，由于停電造成送風(fēng)中斷，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充,，有害氣體不能排出,，對(duì)工作人員的健康是不利的。不同等級(jí)的潔凈室,、潔凈室與非潔凈室或潔凈室與室外之間均應(yīng)保持一定的正壓值,。

8.2.1潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫,、水壓,、水量的要求確定，宜按生產(chǎn),、生活,、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí),，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求,，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置,。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求,；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕,，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,，采用不銹鋼管、鋼塑管,、塑料管等,，不宜采用焊接鋼管；4閥門(mén)及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì),。定期檢測(cè)潔凈度,，確保空氣質(zhì)量的穩(wěn)定,。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)周期

對(duì)較大型的潔凈廠(chǎng)房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)宜集中進(jìn)行空氣凈化處理,。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)周期

6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠(chǎng)房的建筑平面,、空間布局和構(gòu)造,，應(yīng)滿(mǎn)足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求,。6.1.6設(shè)有技術(shù)夾層,、技術(shù)夾道的潔凈廠(chǎng)房,，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計(jì)應(yīng)滿(mǎn)足各種風(fēng)管和各種動(dòng)力管線(xiàn)安裝和維修的要求,。穿越樓層的豎向管線(xiàn)需暗敷時(shí),，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式,、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿(mǎn)足風(fēng)管,、管線(xiàn)的安裝、檢修和防火要求,。6.1.7對(duì)兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室（區(qū))的綜合性廠(chǎng)房,，廠(chǎng)房的平面布局和構(gòu)造處理,，宜避免人流,、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來(lái)不利影響。安徽半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈室檢測(cè)周期