5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí),,宜采取密封隔斷措施,。5.5.3潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí),,應(yīng)采取隔聲措施,。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。5.5.5潔凈室(區(qū))內(nèi),,電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零,、部件存放和傳送,宜采用容器。用于存放和傳送的**容器,,應(yīng)符合下列規(guī)定:1制作材料應(yīng)光潔,、不吸濕、不銹蝕,、不散發(fā)污染物,、防靜電,并在空氣中不應(yīng)被氧化,;2應(yīng)密封性能好,;3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí),宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造,、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,,并應(yīng)方便操作和運(yùn)送??諝膺^(guò)濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量,。江蘇純化水檢測(cè)潔凈室檢測(cè)評(píng)估
(1)潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異,,新技術(shù),、新工藝、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),,產(chǎn)品精密度的日益提高,,對(duì)無(wú)塵提出了越來(lái)越高的要求。目前,,潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子,、生物制藥、宇航,、精密儀器制造等重要部門(mén),。(2)潔凈廠房的空氣潔凈度對(duì)有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響。因此,,必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行,。據(jù)了解,在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%,。一旦停電,,室內(nèi)空氣會(huì)很快污染,影響產(chǎn)品質(zhì)量,。(3)潔凈廠房是個(gè)相對(duì)的密閉體,,由于停電造成送風(fēng)中斷,室內(nèi)的新鮮空氣得不到補(bǔ)充,,有害氣體不能排出,對(duì)工作人員的健康是不利的。上海電子廠房環(huán)境潔凈室檢測(cè)分析潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,,以在局部區(qū)域(單向流部分)實(shí)現(xiàn)高級(jí)別的潔凈室,。
8.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對(duì)水質(zhì)、水溫,、水壓,、水量的要求確定,宜按生產(chǎn),、生活,、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng)。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險(xiǎn)化學(xué)品儲(chǔ)存和分配室時(shí),,應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求,,設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器,其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置,。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,,應(yīng)符合下列要求:1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求,;2埋地管道應(yīng)耐腐蝕,,并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力;3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,,應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,,采用不銹鋼管、鋼塑管,、塑料管等,,不宜采用焊接鋼管;4閥門(mén)及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì),。
D.3.7噪聲檢測(cè),,應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定,。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m,;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn),。D.3.8照度測(cè)試,,應(yīng)符合下列規(guī)定:1潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定,、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行,。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度,,宜距地面0.85m,,應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn),。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。
6.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局,,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。6.1.2潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),,不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系,。6.1.3潔凈廠房的立面設(shè)計(jì)應(yīng)簡(jiǎn)潔,、明快,,并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求,。潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫,、隔熱,、防火,、防潮、少產(chǎn)塵,、易清潔等要求,。6.1.4潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào),,并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能,。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。6.1.5設(shè)有上技術(shù)夾層,、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面,、空間布局和構(gòu)造,應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝,、自動(dòng)化運(yùn)輸和公用動(dòng)力設(shè)施安裝和維修的要求,。一般情況下,凈化空調(diào)系統(tǒng)的能耗比一般空調(diào)系統(tǒng)的能耗大的多,。浙江半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,,以單一方向流動(dòng)。江蘇純化水檢測(cè)潔凈室檢測(cè)評(píng)估
1近年來(lái),,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計(jì)中,,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),,實(shí)際上,,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板,、多孔板回至下技術(shù)夾層,,實(shí)際上,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。江蘇純化水檢測(cè)潔凈室檢測(cè)評(píng)估