1近年來(lái)，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,，潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板,、多孔板回至下技術(shù)夾層,，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管,、死角和不易清掃的部位,。上海氣流潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦

10.3.1潔凈廠房?jī)?nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定,，并應(yīng)符合下列規(guī)定：1供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計(jì)入必要損耗量確定,，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；2供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)含水量,、含油量,、微粒粒徑及其濃度等要求確定,；3供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房?jī)?nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動(dòng)力站；4應(yīng)選用能耗少,、噪聲低的設(shè)備,，宜選用無(wú)油潤(rùn)滑空氣壓縮機(jī)，5含水量要求嚴(yán)格時(shí),，宜選用加熱再生吸附干燥裝置,。上海排風(fēng)柜潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑,。

1凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染,。國(guó)內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋、水洗凈鞋,、粘鞋墊,、換鞋、套鞋等凈鞋措施,。為了保護(hù)人員凈化用室的清潔,，**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去，換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,，其中不少潔凈廠房對(duì)換鞋方式作了周密考慮,，換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,，避免了清潔鞋被外出鞋污染,，如跨越鞋柜式換鞋,，清潔平臺(tái)上換鞋等都有很好的效果。

7.4.2風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用,；2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置,，3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié),；5應(yīng)便于安裝,、維修及過(guò)濾器更換,。滿布或布置率較高時(shí),，外殼強(qiáng)度應(yīng)滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩,；2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用,；3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作,。有足夠的風(fēng)量,，既為了稀釋空氣的含塵濃度，又保證有穩(wěn)定的氣流流型,。

5.1.3主體結(jié)構(gòu)要具備同建筑處理及其室內(nèi)裝備和裝修水平相適應(yīng)的等級(jí)水平,。若室內(nèi)裝備與裝修水平高,，而主體結(jié)構(gòu)為臨時(shí)的,，就會(huì)形成嚴(yán)重的浪費(fèi),。本條規(guī)定著重于使?jié)崈魪S房在耐久性,、裝修與裝備水平,、耐火能力等幾個(gè)方面相互協(xié)調(diào)，使投資長(zhǎng)期發(fā)揮作用,。此外,，溫度或沉陷不但可能影響安全，而且還會(huì)破壞建筑裝修的完整性及圍護(hù)結(jié)構(gòu)的氣密性,，故須對(duì)主體結(jié)構(gòu)采取相應(yīng)措施,。5.1.5對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，在考慮其平面布局和構(gòu)造處理時(shí),，應(yīng)合理組織人流,、物流運(yùn)輸及消防疏散線路,，避免一般生產(chǎn)對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響,。當(dāng)防火方面與潔凈生產(chǎn)要求有***時(shí),，應(yīng)采取措施,，在確保消防疏散的前提下，減少對(duì)潔凈生產(chǎn)的不利影響,。干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),。浙江潔凈室檢測(cè)公司

嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。上海氣流潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦

D.3.7噪聲檢測(cè),，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室（區(qū)）內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì),。2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1～1.5m,距墻應(yīng)大于3m,；檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,，宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn),。D.3.8照度測(cè)試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū)）內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定,、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室（區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明,。3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0.85m,，應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn),。上海氣流潔凈室檢測(cè)誠(chéng)信推薦