10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,，應(yīng)符合下列要求：1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度,、容許雜質(zhì)含量要求選擇；2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間（站）內(nèi),。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時,，氣體純化間宜與氣體入口室合建；3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間（站）內(nèi),。若有特殊要求時,，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi),；4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門,、氣體過濾器,、調(diào)壓裝置、壓力表,、流量計,、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室,。無菌室的潔凈度直接決定了實驗室的微生物結(jié)果的可信度,。生物安全柜潔凈室檢測范圍

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部,、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,，上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過濾裝置、風(fēng)管和公用動力管線,；下技術(shù)夾層為回風(fēng)道,。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室,，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過濾單元機組等的上技術(shù)層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動力設(shè)備,、管線等的下技術(shù)層,。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層。生物安全柜潔凈室檢測范圍潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定級別的可供人活動的空間,。

7.2.1潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無菌無塵,，對給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格，如大規(guī)模集成電路的超純水,、醫(yī)藥工業(yè)的無菌水等,。而且有的水系統(tǒng)的造價高、管理要求嚴(yán)格,，因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,，冷卻水的不同水溫、水質(zhì)要求等）,，以便重點保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),，也利于管理和節(jié)省運轉(zhuǎn)費用。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),，如大規(guī)模集成電路,、生物制藥等。這些生產(chǎn)部門產(chǎn)品升級換代快,，生產(chǎn)工藝變化多,。因此,，在管道設(shè)計中應(yīng)留有充分的余量。

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,，設(shè)計時應(yīng)選用低噪聲設(shè)備,。在某些情況下，由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時,，則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,，如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,，必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,，亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,，不少潔凈室將機械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),，潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運行噪聲,，靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型,、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,，不合理的設(shè)計方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲,。可燃?xì)怏w管道,、氧氣管道的末端或極高點均應(yīng)設(shè)置放散管,。

4.2.1潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式,、開放式和微環(huán)境等,，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室,。4.2.2電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間,，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。4.2.3潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求,、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定,，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室,。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式,?？諝膺^濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡便,、可靠,，易于檢漏和更換,。潔凈室檢測頻率

設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力,、效率應(yīng)相近,。生物安全柜潔凈室檢測范圍

D.3.10自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測,，宜用于非單向流潔凈室,。2自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),，并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測,，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間,，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時,，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。),。然后開機,，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),，記錄下所需的時間（t）,。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,，發(fā)煙1～2min后停止,，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N,。）。然后開機,，方法同上,。3由初始濃度(No)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度（N）,、實際換氣次數(shù)(n),，可得到計算自凈時間(to），與實測自凈時間(t)進(jìn)行對比,，如果t≤12to,為合格,。4自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等,。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定,。生物安全柜潔凈室檢測范圍