C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生,，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談,，過濾器出廠前應(yīng)經(jīng)過檢漏雨測試,。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設(shè)施潔凈狀況的滲漏,；確認過濾系統(tǒng)下風(fēng)向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設(shè)計潔凈度,。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風(fēng)向注入氣溶膠,，在下風(fēng)向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描,，或在風(fēng)管中的過濾器下風(fēng)向采樣。檢漏包括濾材,、過濾器邊框,、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行,，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行,。工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫,。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上

7.3.1潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模,、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定,。潔凈室（區(qū)）面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng),。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區(qū)）送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng),、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等,。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū)）使用功能和降低能量消耗的要求,，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟,、節(jié)約能源的送風(fēng)方式,。7.3.3凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口,。7.3.4多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng),，應(yīng)集中處理。上海氣流潔凈室檢測公司潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間,。

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì),、水溫、水壓,、水量的要求確定,，宜按生產(chǎn)、生活,、消防分別設(shè)置的給水系統(tǒng),。8.2.2當(dāng)設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器,，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置,。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用,，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求,；2埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力,；3生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管,、鋼塑管,、塑料管等，不宜采用焊接鋼管,；4閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì),。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型,、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè),；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求,。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,，電子工廠在實際生產(chǎn)中,，在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴大生產(chǎn)能力的情況很多,，因此在做工藝布局時,，應(yīng)根據(jù)具體情況，考慮這些因素,，留出相應(yīng)的運作空間,。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,，如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室,；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗,；穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等,。斷截面上風(fēng)速一致，有垂直單向潔凈室,，準垂直單向流,，水平單向流潔凈室等,。

B.1自凈檢測是測定潔凈室設(shè)施***空氣懸浮粒子的能力。潔凈室污染潔凈度的恢復(fù)性能是設(shè)施**重要的能力之一,。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,，因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù))、送風(fēng)與出風(fēng)的幾何位置,、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān)，而單向流系統(tǒng)中,，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響,。自凈檢測應(yīng)在設(shè)施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行,。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測,。檢測若使用人工氣溶膠,，應(yīng)防止氣溶膠對設(shè)施的殘留污染,。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復(fù)率,。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間。100：1自凈時間檢測是優(yōu)先方法,。潔凈恢復(fù)率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率,。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標(biāo)表示濃度，為對數(shù)刻度,；橫座標(biāo)表示濃度,，為線性刻度)。非單向流潔凈室中都有渦流存在,，不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,，宜用于6~9級的潔凈室中。浙江潔凈室檢測標(biāo)準

凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng),。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上

空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量,；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應(yīng)相近,；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效,、超高效）空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；7對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū)),，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置,；8高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作,。7.4.2風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用,；2應(yīng)按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,；4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié),；5應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換,。滿布或布置率較高時,，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。北京實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)至上