1一級(jí)防靜電工作區(qū)的地面,、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面,、墻面,、柱面的表面電阻、對(duì)地電阻應(yīng)為2.5X10?~1X10°2,摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V,靜電半衰期不應(yīng)大于0.1s;2二級(jí)防靜電工作區(qū)的地面,、墻面,、柱面、頂棚,、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面,、墻面,、柱面和頂棚、門的表面電阻,、對(duì)地電阻應(yīng)為1X10°~1X109Ω,摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V,靜電半衰期不應(yīng)大于1s,但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V;3三級(jí)防靜電工作區(qū)的地面,、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料,頂棚、門等宜采用低起電材料,。選用靜電耗散型材料的地面,、墻面和柱面,應(yīng)符合本條第2款的要求;選用低起電材料的地面、墻面,、柱面,、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V,。無(wú)塵室的重要性遠(yuǎn)超我們的想象,。上海生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估

7.1.1潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定,。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室（區(qū)）空氣潔凈度等級(jí)和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用,。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開(kāi)設(shè)置：1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同,；2生產(chǎn)過(guò)程中散發(fā)的物質(zhì)對(duì)其他工序,、設(shè)備交叉污染，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康,、安全有影響,；3對(duì)溫,、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊,；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),，6系統(tǒng)風(fēng)量過(guò)大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。浙江塵埃粒子無(wú)塵室檢測(cè)報(bào)告無(wú)塵室是指可以將環(huán)境因素控制在規(guī)定數(shù)值內(nèi)的空間,，稱之為無(wú)塵室,。

5.2.1潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型,、工藝設(shè)備的安裝和維修,、物料運(yùn)輸?shù)纫蟠_定。在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備,、操作程序,、人員流動(dòng)路線和物料傳輸布置時(shí),應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。5.2.2工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉,宜分別設(shè)置人員人口,、物料入口和設(shè)備出入口,并應(yīng)在各自的人口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施,。5.2.3在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下,，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機(jī)房布置;空氣潔凈度等級(jí)相同的工序或工作室宜集中布置,。

11.3.6安裝空調(diào)設(shè)備四周的設(shè)備層地面應(yīng)作防水處理，并應(yīng)平整,、無(wú)麻面,、不起塵。該處地面應(yīng)設(shè)擋水線,，不應(yīng)設(shè)排水溝,。擋水線范圍之內(nèi)設(shè)地漏，地漏水封高度應(yīng)符合設(shè)備技術(shù)文件要求,。當(dāng)無(wú)明確要求時(shí),，不應(yīng)小于70mm。冷凝水出水管應(yīng)有閥門,，無(wú)冷凝水排出季節(jié)閥門應(yīng)關(guān)閉,，并應(yīng)有提示標(biāo)志。11.3.7當(dāng)空調(diào)設(shè)備內(nèi)表冷器設(shè)在負(fù)壓段時(shí),，地面應(yīng)設(shè)不小于冷凝水出水水封段高度的水泥底座,，底座高度不宜低于200mm。11.3.8空調(diào)設(shè)備內(nèi)加濕器的安裝應(yīng)設(shè)**支吊架,，不得在空調(diào)機(jī)組壁板上開(kāi)設(shè)固定支架用的安裝孔,。加濕器噴管與機(jī)組壁板間應(yīng)做好絕熱、密封處理,。指潔凈室(區(qū))在生產(chǎn)操作全部結(jié)束,生產(chǎn)操作人員撤離現(xiàn)場(chǎng)并經(jīng)過(guò)20 min自凈后,。

12.1.1潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求,，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50052的有關(guān)規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級(jí)應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求,。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制,、三相三線制、三相四線制,。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng),。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由變壓器或低壓饋電線路供電,。對(duì)電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備,、動(dòng)力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等,。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置的檢修電源,。12.1.4潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)（含制冷機(jī)），應(yīng)由變電所專線供電,。塵室通常采用高效的HEPA（高效顆?？諝猓┻^(guò)濾器或ULPA（超高效顆粒空氣）過(guò)濾器,，可有效過(guò)濾微小的灰塵,。北京照度無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估

無(wú)塵室的設(shè)計(jì)充分考慮了環(huán)境污染的來(lái)源。上海生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估

E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測(cè)必須首先進(jìn)行,，凈化空調(diào)各項(xiàng)效果必須是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得,。E.1.2風(fēng)量檢測(cè)前必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行是否正常,，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,，有無(wú)障礙，所有閥門應(yīng)固定在一定的開(kāi)啟位置上,，且必須實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口,、風(fēng)管尺寸。E.1.3測(cè)定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,，一般可用熱球式風(fēng)速儀,，需要測(cè)出分速度時(shí)，應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計(jì),。E.1.4對(duì)于單向流潔凈室,，可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量，垂直單向流潔凈室的測(cè)定截面取距地面0.8m的無(wú)阻隔面(孔板,、格柵除外)的水平截面,，如有阻隔面，該測(cè)定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,，截面上測(cè)點(diǎn)間距不應(yīng)大于1m,，一般取0.3m,。測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于20個(gè)，均勻布置,。E.1.5對(duì)于非單向流潔凈室,，內(nèi)安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可采用套管法、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測(cè)定風(fēng)量,，為測(cè)定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,，也可用風(fēng)口法。上海生物安全柜無(wú)塵室檢測(cè)評(píng)估