7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級,，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用,。7.1.3有下列情況之一者,，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設備交叉污染,，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康,、安全有影響；3對溫,、濕度控制要求差別大,；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),，6系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng),。無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室,，是一種專門設計用于控制環(huán)境污染的封閉空間,。江蘇實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務商

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體,、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,，其中有和火災危險場所的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB50058的有關規(guī)定,。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應分別按不同要求設置接地連接端子,。在一個房間內(nèi)應設置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。在防靜電接地系統(tǒng)各個連接部位之間電阻值應小于0.1Ω2,。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設計均應遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則,，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應單獨絕緣敷設,，并應使用絕緣屏蔽電纜,。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時接地電阻值應小于或等于1Ω；選擇分散接地方式時,，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠離防雷接地系統(tǒng)的接地體,，兩者應保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設計應符合現(xiàn)行國家標準《建筑物防雷設計規(guī)范》GB50057的有關規(guī)定,。安徽照度潔凈室檢測價格在潔凈室設計時生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應該實事求是,。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設計中，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術夾層常常作為送風靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術夾層，在下技術夾層常常還設置一些公用動力設備,、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等,，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板、多孔板回至下技術夾層,，實際上,，下技術夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術夾層,。

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當布置有精密設備和精密儀器儀表，若它們有防微振要求時,，為解決防微振問題,，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中，需要對周圍振源的振動影響作出評價,，以確定該廠址或場地是否適宜建設,。周圍振源對精密設備、精密儀器儀表的振動影響,，是若干單個振源振動的疊加結(jié)果,。這種疊加，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實用的計算方法,。因此，應立足于實測,。過去有的工廠,，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動影響進行實測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設備,、精密儀器儀表影響很大,，有的甚至難以工作，給生產(chǎn),、試驗帶來很大困難,，這說明實測振源振動影響是非常必要的。管道系統(tǒng)應設必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求,，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模,、材料及設備供應等情況，經(jīng)技術經(jīng)濟比較確定,。9.1.2純水的輸送干管應敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi),；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝,。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板,、頂棚的純水管道應設套管,，套管與管道之間應采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料,，不得產(chǎn)生污染物,，外表面應平整、光滑,、易于清潔,。。,。,。。,。,。。,。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施,。安徽純化水檢測潔凈室檢測評估

根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型,，在工作區(qū)應避免渦流區(qū),。江蘇實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務商

15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行，應包括設計,、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試,、廠房建筑結(jié)構微振控制設計、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等,。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時,，應符合下列規(guī)定：1總平面布置時，應核實相鄰廠房,、建筑物或構筑物對精密設備,、儀器的振動影響；2設有精密設備,、儀器的潔凈廠房,，其建筑基礎構造、結(jié)構選型,、隔振縫的設置,、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計；3對設有精密設備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設備及其管道,，應采取主動隔振措施,；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備、儀器,，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,，應采取被動隔振措施。江蘇實驗室環(huán)境潔凈室檢測服務商