7.1.1潔凈廠房內(nèi)各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級,，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點(diǎn)和潔凈室型式確定,。7.1.2氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點(diǎn)的不同要求選用,。7.1.3有下列情況之一者,，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同,；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染,，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康,、安全有影響；3對溫,、濕度控制要求差別大,；4潔凈室(區(qū)）內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng),，6系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng),。無菌室，亦稱為凈化室或潔凈室,，是一種專門設(shè)計(jì)用于控制環(huán)境污染的封閉空間,。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)商

9.5.4潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體,、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有和火災(zāi)危險(xiǎn)場所的設(shè)備,、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定,。9.5.5防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán),。在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω2,。9.5.6潔凈廠房內(nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接,。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè),，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。9.5.7接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω,；選擇分散接地方式時(shí),，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距,。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定,。安徽照度潔凈室檢測價(jià)格在潔凈室設(shè)計(jì)時(shí)生產(chǎn)工藝對環(huán)境參數(shù)的要求應(yīng)該實(shí)事求是,。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計(jì)中，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng)，實(shí)際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動(dòng)地板,、多孔板回至下技術(shù)夾層,，實(shí)際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,，所以可以認(rèn)為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

4.1.2潔凈廠房內(nèi)當(dāng)布置有精密設(shè)備和精密儀器儀表,，若它們有防微振要求時(shí),，為解決防微振問題，在廠址選擇或已建工廠內(nèi)的潔凈廠房場地選擇過程中,，需要對周圍振源的振動(dòng)影響作出評價(jià),，以確定該廠址或場地是否適宜建設(shè)。周圍振源對精密設(shè)備,、精密儀器儀表的振動(dòng)影響,，是若干單個(gè)振源振動(dòng)的疊加結(jié)果。這種疊加,，目前還沒有系統(tǒng)的參考數(shù)據(jù)及實(shí)用的計(jì)算方法,。因此，應(yīng)立足于實(shí)測,。過去有的工廠,，由于建廠前沒有對周圍各類振源的振動(dòng)影響進(jìn)行實(shí)測，建成后發(fā)現(xiàn)對精密設(shè)備,、精密儀器儀表影響很大,，有的甚至難以工作，給生產(chǎn),、試驗(yàn)帶來很大困難,，這說明實(shí)測振源振動(dòng)影響是非常必要的,。管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口,。

9.1.1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇,，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模,、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況,，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較確定。9.1.2純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),；潔凈室（區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝,。9.1.3穿越潔凈室（區(qū)）墻壁、樓板,、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管,，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。9.1.4潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料,，不得產(chǎn)生污染物,，外表面應(yīng)平整、光滑,、易于清潔,。。,。,。。,。,。。,。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)機(jī)宜采取變頻措施,。安徽純化水檢測潔凈室檢測評估

根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型,，在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū),。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)商

15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行,，應(yīng)包括設(shè)計(jì),、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì),、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等,。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí)，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí),，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備,、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈廠房,，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型,、隔振縫的設(shè)置,、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備,、儀器,，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施,。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境潔凈室檢測服務(wù)商