E.1.1風(fēng)量風(fēng)速檢測必須首先進行,，凈化空調(diào)各項效果必須是在設(shè)計的風(fēng)量風(fēng)速條件下獲得,。E.1.2風(fēng)量檢測前必須檢查風(fēng)機運行是否正常，系統(tǒng)中各部件安裝是否正確,，有無障礙,，所有閥門應(yīng)固定在一定的開啟位置上,，且必須實際測量被測風(fēng)口、風(fēng)管尺寸,。E.1.3測定室內(nèi)微風(fēng)速儀器的小刻度或讀數(shù)不應(yīng)大于0.02m/s,，一般可用熱球式風(fēng)速儀，需要測出分速度時,，應(yīng)采用超聲波三維風(fēng)速計,。E.1.4對于單向流潔凈室，可采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,，垂直單向流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的無阻隔面(孔板,、格柵除外)的水平截面，如有阻隔面,，該測定截面應(yīng)抬高至阻隔面之上0.25m;水平單向流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直于地面的截面,，截面上測點間距不應(yīng)大于1m，一般取0.3m,。測點數(shù)應(yīng)不少于20個,，均勻布置。E.1.5對于非單向流潔凈室,，內(nèi)安裝過濾器的風(fēng)口可采用套管法,、風(fēng)量罩法或風(fēng)管法測定風(fēng)量，為測定回風(fēng)口或新風(fēng)口風(fēng)量,，也可用風(fēng)口法,。無塵室通常用于制藥、電子,、半導(dǎo)體等行業(yè),。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告

4.1.1潔凈廠房位置的選擇,，應(yīng)根據(jù)下列要求的經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域,；2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路,、碼頭、飛機場,、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠,、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染,、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域,。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè),；3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔,、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段,。安徽潔凈室無塵室檢測流程將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員,、污染物進行嚴(yán)格分隔的隔離空間。

10.1.1潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體,、常用氣體,、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求,。10.1.2常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng),，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素,，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定,。10.1.3潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備,、儲存,、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外,，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016,、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB50030等的有關(guān)規(guī)定。10.1.4潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管,，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi),。當(dāng)與水、電管線共架時,，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水,、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水,、電管線上部,。

2.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu),，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠,、節(jié)能,、開放和可擴展性。12.4.2潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào),、供熱,、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控,。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測,，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū)）的送風(fēng)量或回風(fēng)量。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時,，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制,，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng),、超溫斷電保護,；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水,、無風(fēng)斷電保護,。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機,、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施,。因此無塵室的潔凈度要求尤為嚴(yán)格。

無塵車間工程是指按照客戶的要求,，提供對微粒,、有害空氣、細(xì)菌等污染物的有效控制,，溫度,、濕度、噪聲,、照度,、潔凈度、室內(nèi)壓差,、氣流速度與氣流分布,、振動、靜電等各項指標(biāo)均滿足安全生產(chǎn)需求的潔凈受控空間,。無塵車間的主要作用在于為產(chǎn)品生產(chǎn)(如硅芯片等)和服務(wù)提供所需環(huán)境的潔凈程度,，以及溫濕度、微震動,、噪聲,、照度等各項指標(biāo),，使相關(guān)產(chǎn)品和服務(wù)能夠在一個滿足要求的、受控的,、良好的環(huán)境空間中進行生產(chǎn)和操作,，從而達到提高產(chǎn)品生產(chǎn)的良品率，改善和提升相關(guān)服務(wù)質(zhì)量的目標(biāo),。利用高速潔凈氣流吹落進入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室,。安徽潔凈室無塵室檢測流程

潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道,用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告

13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板,、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板,，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板,。屏蔽模塊板相互連接處應(yīng)安裝連續(xù)的導(dǎo)電襯墊,。施工直接安在圍護結(jié)構(gòu)地面上的底板時，底板與地面之間應(yīng)鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層,。安裝過程中不得在底板上灑水,。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板,。選用銅板,、鋁板或不銹鋼板時，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板,。焊接時嚴(yán)禁燒穿屏蔽壁板,，不得使壁板變形。當(dāng)在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時,，必須把表面焊縫打磨平整,。浙江半導(dǎo)體凈化車間無塵室檢測報告