B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),，其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,，見圖B.1中的1.1U和0.9U,。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過率的計(jì)算,，該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%,，對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器（DPC）或凝聚核計(jì)數(shù)器（CNC）的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),，則不能用其測量或驗(yàn)證U描述符,。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計(jì)數(shù)效率,。此時(shí),，經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密,、調(diào)節(jié)靈活、操作方便,。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好

在單向流潔凈室中，潔凈氣流不是一股或幾股，而是充滿整個(gè)房間截面,，所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用，而是依靠在干凈的氣流上推出效果,。室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排到室外,，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的,。因此,，前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,，前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個(gè)空氣活塞,，沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動(dòng),，使塵粒只能向前(向下)移動(dòng)而不能返回,，在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中，逆向氣流可以沿著墻壁和兩個(gè)過濾器的重疊部分下方出現(xiàn),。這種氣流會(huì)將污染從底部傳送到頂部,，然后向下傳送，破壞上述“塞流”狀態(tài),，危害極大。對(duì)于有開口與外界相連的局部凈化設(shè)備,，如潔凈工作臺(tái),，這種氣流會(huì)導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計(jì)中,，必須減少濾框占用的無效面積,，減少空間的壁面,。盡可能靠近過濾器的有效風(fēng)截面。河北排風(fēng)柜檢測規(guī)范性強(qiáng)主要工作室一般照明的照度值宜為3001x,。

相對(duì)濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍,。濕度過高會(huì)使人覺得氣悶，而濕度低于30%則會(huì)讓人感覺干燥,，皮膚皸裂,，呼吸道不適以及情感上的不快,。高濕度實(shí)際上減小了潔凈室表面的靜電荷積累──這是人們希望的結(jié)果。較低的濕度比較適合電荷的積累并成為潛在的具有破壞性的靜電釋放源,。當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí),，靜電荷開始迅速消散，但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),，它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中,，半導(dǎo)體潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。

(1)凈化處理原則：能用局部凈化的場合,，就盡可能不用凈化,；或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部凈化相結(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,，這樣做雖然有利于控制污染，但這也造成平面復(fù)雜化,、增加造價(jià),、作業(yè)程序不易改變,、人員流動(dòng)不方便，以及小房間造成人們心理上的不快,。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,，潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的,，較為典型的三區(qū)不均勻分布模型，即分為主流區(qū),、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū),。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi),。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段,，上風(fēng)段相對(duì)來說，潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測點(diǎn)檢測結(jié)果(空態(tài)下),，測點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下，可以看出,，各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然，其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒有較好調(diào)節(jié)的原因,，但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視?？諝鉂崈舳仁菨崈舡h(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,，通?？諝庵泻瑝m濃度高則空氣潔凈度低。

5.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列規(guī)定：1潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面應(yīng)平整,、光滑,、不起塵,、避免眩光，便于除塵,，并應(yīng)減少凹凸面,。2踢腳不應(yīng)突出墻面。3潔凈室不宜采用砌筑墻抹灰墻面,，當(dāng)必須采用時(shí)宜采用干燥作業(yè)，抹灰應(yīng)采用符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑裝飾裝修工程質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50210中高級(jí)抹灰的要求,。墻面抹灰后應(yīng)刷涂料面層,，并應(yīng)選用難燃,、不開裂、耐腐蝕,、耐清洗,、表面光滑、不易吸水變質(zhì)發(fā)霉的涂料,。...............對(duì)潔凈室的送風(fēng)必須是有很高潔凈度的空氣,。河北排風(fēng)柜檢測

潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度,、濕度、壓力,、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行的密閉性較好的空間,。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好

潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,，此空間我們稱之為潔凈室,。按照國際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定,。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上,。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求,。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好