五,、潔凈室檢測(cè)的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成,,因此需要設(shè)立無菌車間(即“百級(jí)”車間)。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核,。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要,。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬級(jí)”或“十萬級(jí)”無菌車間進(jìn)行組裝與測(cè)試,。這些車間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),,并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。潔凈室環(huán)境檢測(cè)依據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),。浙江潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn),、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù),、生物技術(shù),、精密器械、制藥,、醫(yī)院等行業(yè)之中,,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無塵等級(jí)的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn),,隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢,。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。北京潔凈工作臺(tái)檢測(cè)方便客戶定期對(duì)潔凈室管理人員進(jìn)行培訓(xùn)和考核,,提升其專業(yè)素養(yǎng),。
(1)將所有的門關(guān)閉,將測(cè)定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處,,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動(dòng)**小,。(2)靜壓差的測(cè)定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間,,與其緊鄰的房間之間的壓差測(cè)起依次向外測(cè)定,,直至測(cè)得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差,。(3)對(duì)于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室,,還應(yīng)測(cè)定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5,、檢測(cè)時(shí)的注意事項(xiàng)在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測(cè)之前,,必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí),應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量,、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符,。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止,。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的,。也就是說,所謂的無塵,,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,。安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。
壓差檢測(cè)要求:(1)靜壓差的測(cè)定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行,。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,,一直檢測(cè)到直通室外的房間。(3)測(cè)管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,,測(cè)管口面與氣流流線平行,。(4)所測(cè)量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測(cè)步驟:(1)先關(guān)閉所有的門,。(2)用微差壓計(jì)測(cè)量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間,、走廊與外界之間的壓差,。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測(cè)潔凈室的正壓或負(fù)壓值,。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,,不應(yīng)小于10Pa,。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值,。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量,、至合格為止,。其面積、層高,,溫度,、濕度,,潔凈度等應(yīng)該該高則高,該低則低,,并非越高越好,。山東排風(fēng)柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室檢測(cè)不僅是合規(guī)要求,更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段,。浙江潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,,國(guó)外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,,只是照顧習(xí)慣在括號(hào)中注明為層流,。前聯(lián)邦德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語,并在注中指出,,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語,,“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,,用本章提到的概念是紊流的漸變流,。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流,。1977年中國(guó)在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語,,在該術(shù)語后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。浙江潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上