B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,,設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值,。在單向流區(qū)域,,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1],,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),,將采樣口正對(duì)氣流的主方向,。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上,。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短,。采樣粒子大于或等于1μm時(shí),連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過(guò)制造商的建議值,。采樣過(guò)程中,,因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%,。潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合,,綜合分析。北京電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
A,、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,,不得超過(guò)2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),,并應(yīng)保持靜止,。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾,。B,、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C,、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”,。D、在單向流區(qū)域,,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),,將采樣口正對(duì)氣流的主方向,。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上,。E,、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,,要均勻科學(xué)布點(diǎn),,而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得,。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù),工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,,送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開(kāi)送風(fēng)面30cm左右,,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次,。上海潔凈室檢測(cè)服務(wù)至上潔凈室檢測(cè)過(guò)程中,,應(yīng)注重節(jié)能降耗,實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn),。
潔凈室因其用途,、氣流流型的不同,可分為各種不同冠名的潔凈室,。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室,、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對(duì)象的潔凈室,,通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn),、精密機(jī)械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝,、精細(xì)化工,、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓,。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于4.9Pa,潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于9.8Pa,。低級(jí)別的潔凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的(如沒(méi)有受控的微生物),,更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設(shè)施,,凈室可以占據(jù)廠房很多位置
A,、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過(guò)2人,,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),,并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾,。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用,。C,、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%,。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向,。非單向流的采樣點(diǎn),,采樣口應(yīng)豎直向上。E,、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短,。安裝驗(yàn)證和操作驗(yàn)證完成并進(jìn)行確認(rèn)工作后即進(jìn)行性能驗(yàn)證。
3.壓差檢測(cè):潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素,。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量,,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室,。4.氣流速度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要,。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積,。因此,,氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè):潔凈室內(nèi)的各種表面,,如墻壁,、地面、設(shè)備外殼等,,也是塵埃粒子容易沉積的地方,。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè),評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況,。壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果,。江西潔凈室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
持續(xù)改進(jìn)潔凈室檢測(cè)流程和方法,提高檢測(cè)效率和效果,。北京電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
(1)凈化處理原則:能用局部?jī)艋膱?chǎng)合,,就盡可能不用凈化;或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合,。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復(fù)雜化,、增加造價(jià),、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便,,以及小房間造成人們心理上的不快,。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的,較為典型的三區(qū)不均勻分布模型,,即分為主流區(qū),、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半,。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi),。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段,上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō),,潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下),,測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下,可以看出,,各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然,,其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒(méi)有較好調(diào)節(jié)的原因,但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視,。北京電子廠房環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)