4.2.2潔凈廠房的平面和空間設(shè)計(jì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求,。潔凈區(qū)、人員凈化,、物料凈化和其他輔助用房應(yīng)分區(qū)布置,并應(yīng)與生產(chǎn)操作,、工藝設(shè)備安裝和維修,、管線布置、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各種技術(shù)設(shè)施進(jìn)行綜合協(xié)調(diào),。4.2.3潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)少設(shè)隔間,但在下列情況下應(yīng)進(jìn)行分隔:1按生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類,甲,、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間,或有防火分隔要求者,。2按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝需要有分隔要求時(shí),。3生產(chǎn)聯(lián)系少,并經(jīng)常不同時(shí)使用的兩個(gè)生產(chǎn)區(qū)段之間。4.2.4在滿足生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級(jí)要求的條件下,潔凈廠房?jī)?nèi)各種固定技術(shù)設(shè)施的布置,應(yīng)優(yōu)先考慮凈化空調(diào)系統(tǒng)的要求,。固定技術(shù)設(shè)施包括送風(fēng)口,、照明器、回風(fēng)口,、各種管線等,。檢測(cè)為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件：氣流設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。遼寧潔凈室環(huán)境檢測(cè)

1工藝平面布置應(yīng)合理,、緊湊,。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備，以及有空氣潔凈度等級(jí)要求的工序和工作室,。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,，對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,，空氣潔凈度等級(jí)相同的工序和工作室宜集中布置,。3潔凈室內(nèi)對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置,。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,，并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級(jí)房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),，宜設(shè)有防止污染的措施,，如氣閘室、傳遞窗等,。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,，物料傳遞路線應(yīng)極短，物料進(jìn)人潔凈室（區(qū)）之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理,。上海排風(fēng)柜檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格潔凈室內(nèi)使用的化學(xué)品和消毒劑需符合相關(guān)安全標(biāo)準(zhǔn),。

潔凈室的檢測(cè)狀態(tài)可分為三類（1）空態(tài)設(shè)施齊全的潔凈室所有管線接通并運(yùn)行但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及生產(chǎn)人員,。（2）靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn),，但場(chǎng)內(nèi)無生產(chǎn)人員。（3）動(dòng)態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運(yùn)行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場(chǎng)以規(guī)定的方式工作,。2,、潔凈室與一般通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)的區(qū)別潔凈室空調(diào)是空調(diào)工程中的一種,，它不僅對(duì)室內(nèi)空氣的溫度、濕度,、風(fēng)速有一定要求,，而且對(duì)空氣中的含塵粒數(shù)、細(xì)菌濃度等均有較高的要求,。因此它不僅對(duì)通風(fēng)工程的設(shè)計(jì)施工有特殊要求對(duì)建筑布局,、材料選用、施工工序,、建筑做法,、水暖電通及工藝本身的設(shè)計(jì)、施工均有特殊的要求與相應(yīng)的技術(shù)措施其造價(jià)也相應(yīng)提高,。

潔凈室,、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替,、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實(shí)現(xiàn)的,。為此，測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量,、平均風(fēng)速,、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要,。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠,、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的潔凈度,。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù),。較高的,、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,，因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目,。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度,。因此,，換氣次數(shù)越大，氣流流型合理,，稀釋效果越***,，潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室,、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),，是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目,。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù)，記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值,。換氣次數(shù)：根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得潔凈室檢測(cè)需考慮季節(jié)性變化對(duì)環(huán)境參數(shù)的影響,。

潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,，從而我們稱之為潔凈室,。按照國(guó)際慣例，無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的,。也就是說,，所謂的無塵，并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在極少量的單位,。當(dāng)然，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,，相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響通過定期檢測(cè),，可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題,。江西國(guó)內(nèi)檢測(cè)方便客戶

潔凈室系指對(duì)空氣潔凈度、溫度,、濕度,、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進(jìn)行的密閉性較好的空間,。遼寧潔凈室環(huán)境檢測(cè)

（1）將所有的門關(guān)閉,，將測(cè)定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處，垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動(dòng)**小,。（2）靜壓差的測(cè)定應(yīng)從平面上**里面的房間，通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間,，與其緊鄰的房間之間的壓差測(cè)起依次向外測(cè)定,，直至測(cè)得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差,。（3）對(duì)于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室,，還應(yīng)測(cè)定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5,、檢測(cè)時(shí)的注意事項(xiàng)在進(jìn)行潔凈室靜壓差檢測(cè)之前,，必須先驗(yàn)證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時(shí)，應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量,、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符,。若達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量,、排風(fēng)量直至合格為止。遼寧潔凈室環(huán)境檢測(cè)