1工藝平面布置應合理,、緊湊,。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應只布置必要的工藝設備,,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室,。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,,對空氣潔凈度要求嚴格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機房,,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置,。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴格的工序應布置在上風側(cè),,易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置,。4應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線,,并預留設備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時,,宜設有防止污染的措施,,如氣閘室、傳遞窗等,。6應設置單獨的物料入口,,物料傳遞路線應極短,物料進人潔凈室(區(qū))之前應進行清潔處理,。定期進行潔凈室維護,,保持設備良好運行狀態(tài),延長使用壽命,。山東排風柜檢測優(yōu)化價格
潔凈室或潔凈設施溫,、濕度測定,通常分為兩個檔次:一般測試和綜合測試,。一個檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試,,第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度,、濕度性能要求比較嚴格的場合,。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時,,空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn),,各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設置一個濕度傳感器,,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間,。所做測量應適合實際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量,,測量時間不少于5分鐘,。江西潔凈工作臺檢測規(guī)范性強潔凈室檢測不僅是合規(guī)要求,更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。
1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏),。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計測定上下游粒子的濃度,,得出泄漏率的大小。3.儀器設備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進行收費,,過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,,一般檢測時采用冷發(fā)收費較貴而采用熱發(fā)收費較為優(yōu)惠,具體報價請聯(lián)系旦霆科技銷售顧問,。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預檢查①對于非層流區(qū)域-關閉HVAC的風機,。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機組的負壓段,。②對于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風口,,風機進風口或?qū)iT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔,,如果沒有測試孔,,可在空調(diào)機組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100,。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框,。-對球型結(jié)構(gòu),直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計下游通道相連,。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源,,溫度升至400??C。
抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,,生產(chǎn)廠家應按規(guī)定進行性能試驗,,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏,。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風側(cè)測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍,。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室,。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數(shù)器法兩種。潔凈室檢測應建立檔案,,記錄每次檢測的情況和結(jié)果,。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室,。按照國際慣例,,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標準的顆粒數(shù)量來規(guī)定的,。也就是說,,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,,而是控制在極少量的單位,。當然,這個標準中符合粉塵標準的顆粒物,,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,,但是對于光學結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響定期進行光照度檢測,,確保工作區(qū)域光線充足且均勻,。浙江檢測優(yōu)化價格
通過定期檢測,可以及時發(fā)現(xiàn)并解決潔凈室中的污染問題,。山東排風柜檢測優(yōu)化價格
單向流主要是依靠潔凈氣流推擠,、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的潔凈度,。因此,其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù),。較高的,、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物,,因此它們是主要關注的檢測項目,。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度,。因此,,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,,稀釋效果越***,,潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室,、潔凈區(qū)的送風量及相應的換氣次數(shù),,是主要關注的氣流測試項目。為了獲得可重復的讀數(shù),,記錄各測點風速的時間平均值,。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風量除以法凈室的容積求得山東排風柜檢測優(yōu)化價格