為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對晶片進行預處理,。預處理第一步常是脫水烘烤,，在真空或干燥氮氣的機臺中，以150～200℃烘烤,。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分,，在此溫度下,，晶片表面大約保留了一個單分子層的水。涂膠后,，晶片須經(jīng)過一次烘烤,，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定,。通常,，軟烘時間越短或溫度越低會使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對比度會有降低,。實際上軟烘工藝需要通過優(yōu)化對比度而保持可接受感光度的試湊法用實驗確定,，典型的軟烘溫度是90～100℃，時間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘,。在晶片顯影后,，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕,，也須對晶片進行高溫烘烤,，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應,；激發(fā)化學增強光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護基團發(fā)生反應并移除基團使之能溶解于顯影液,。 利用真空泵進行抽氣抽濕，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài),，降低水的沸點,，加快干燥的速度。舟山雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱PID調節(jié)

    本實用新型的工作原理：首先將不同熱量需求的原料放置在相應的支撐板13上,，然后將熱水源與每一個進水管6以及出水管8相連通,，熱水同時從每一個進水管6進入到每一層對應的導流管10內(nèi)，并對支撐板13上的原料進行烘干,，每一個導流管10內(nèi)的熱水經(jīng)對應的出水管8流出,，并回到熱水源中進行加熱以便再次循環(huán)使用。本實用新型的有益效果：（1）本實用新型結構簡單,，操作方便,，可對不同原料進行加熱烘干，烘干效果好,、烘干效率高,、適用范圍廣。（2）本實用新型中每一個進水管6與上層對應導流管10之間,、上下相鄰兩個導流管10之間,、下層每一個導流管10與對應出水管8之間均采用螺紋式快速連接，操作簡單,，使用方便,，連接牢靠,，保證了其內(nèi)熱水的穩(wěn)定流動，從而提高了烘干效率,。（3）本實用新型在每一個進水管6,、出水管8以及導流管10內(nèi)均沿其長度方向錯位豎直設有上隔板11和下隔板12，用于降低熱水的流速,，從而提高了烘干效果,。溫州雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱監(jiān)控系統(tǒng)鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,，一目了然,。

真空烘箱，是將干燥物料處于負壓條件下進行干燥的一種箱體式干燥設備,。它的工作原理是利用真空泵進行抽氣抽濕,，使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)，降低水的沸點,，加快干燥的速度,。真空烘箱能在較低溫度下得到較高的干燥速率，熱量利用充分,，主要適用于對熱敏性物料和含有容劑及需回收溶劑物料的干燥,。在干燥前可進行消毒處理，干燥過程中不得有任何雜物混入,，本干燥器屬于靜態(tài)真空干燥器,，故干燥物料的形成不會損壞。加熱方式有：蒸汽,、熱水,、導熱油、電熱,。

    比起常規(guī)干燥技術具備以下優(yōu)勢：真空環(huán)境降低了需要驅逐的液體的沸點,，所以真空干燥可以輕松應用于熱敏性物質；對于不容易干燥的樣品,，例如粉末或其他顆粒狀樣品,，使用真空干燥法可以有效縮短干燥時間,；各種構造復雜的機械部件或其他多孔樣品經(jīng)過清洗后使用真空干燥法,，完全干燥后不留任何參與物質；使用更安全――在真空或惰性條件下,，完全消除氧化物遇熱膨脹的可能,；與依靠空氣循環(huán)的普通干燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動,?？刂铺攸c：具有因停電,、死機造成狀態(tài)數(shù)據(jù)和保存的參數(shù)記憶丟失，來電恢復功能,。產(chǎn)品材料及特點：采用流線型圓弧設計,，外殼采用冷軋鋼板制造，表面靜電噴塑,；本機溫控系統(tǒng)采用微電腦單片機設計,，具有溫控、定時,、超溫報警功能,；這款真空烘箱采用雙屏高亮度數(shù)碼管顯示，示值準確直觀,，性能優(yōu)越,，觸摸式按鍵設定調整參數(shù)；溫度具有定時功能,定時時間長達9999分鐘,；內(nèi)膽均為3mm厚不銹鋼材料制成,，半圓形四角設計更方便清潔；外箱采用,，鋼板外表面采用精密雙層粉體烤漆處理,與通常的外表噴涂處理相比外觀更加美觀大方及增強了其防腐防生銹性能,；加熱方式為鎳鉻合金電加熱器，均勻分布在工作室四周外壁,，保證箱體內(nèi)部溫度均勻,。干燥完成后，先將放氣閥打開,，放出里面氣體,，再進行打開真空干燥箱箱門，取出物料,。

    高溫真空烘箱主要是針對各種電子,、塑膠、金屬.....耐高溫性能測試,。用于干燥,、烘烤、預熱各種材料或試片,。采用特殊設計之強制循環(huán)送風系統(tǒng),，可靠保證工作溫度分布均勻度。性能特點箱體結構：整機結構為一體式,；真空泵安裝：真空泵安裝于機器下部面板安裝：控制面板安裝于機臺下方開門方式：單門由右至左開啟,；可視窗：門上帶可視窗，規(guī)格W200*H250mm安裝帶剎車活動腳輪,，可任意推動溫度控制為PID數(shù)顯儀表（臺**松儀表EM705）,，單點式控溫,，可自動演算，PV/SV同時顯示,，按鍵設定定時器設定:1秒－9999時（可選擇設定小時,、分鐘、秒）溫到計時,，時間到停止加熱,，同時報警提示300度高溫真空烘箱技術參數(shù)型號：GT-TK-125溫度范圍：常溫+20℃~+300℃內(nèi)尺寸：500(寬)×500(深)×500(高)mm；（單箱式）外尺寸約：800(寬)×820(深)×1420(高)mm+110輪高,以實物為準內(nèi)材質為：304#不銹鋼板外材質為：冷軋鋼板保溫材質為：耐高溫巖棉,，保溫效果好控制精度：±℃;顯示精度：℃,；溫度過沖：≤3℃真空感應器為：壓力感應；真空度使用范圍：真空保壓泄漏率：約,；真空控制方式為,，自動控制，達到上限停止,，低于下限啟動,，循環(huán)工作300度高溫真空烘箱使用說明超溫保護系統(tǒng)：溫度失控時。箱門可調節(jié)式松緊閉合,。舟山真空烘箱

定期檢查軸套的磨損情況,，磨損較大后應及時更換。舟山雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱PID調節(jié)

一般的電熱真空干燥箱都采用先加熱真空室壁面,、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式,。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁,。傳感器可以同時接受對流,、傳導、和輻射熱,。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱,，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了,，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù),。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的,。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi),，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小，但不可能消除,，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié),。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決,。舟山雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱PID調節(jié)

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