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在CCD(電荷耦合器件)制造過(guò)程中,,顆粒沾污對(duì)CCD的薄膜質(zhì)量、光刻圖形完整性等有很大的影響,,降低CCD的成品率,。CCD制造過(guò)程中的顆粒來(lái)源主要有兩個(gè)方面:一個(gè)制造過(guò)程中工藝環(huán)境產(chǎn)生的顆粒;另一個(gè)是薄膜的淀積,、光刻和離子注入等CCD工藝過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒,。工藝環(huán)境的顆粒可來(lái)源于墻體,、設(shè)施,、設(shè)備、材料和人員,,工藝過(guò)程的顆粒來(lái)源于易產(chǎn)生粉塵的工藝,,比如說(shuō)LPCVD淀積多晶硅和氮化硅及刻蝕工藝等。無(wú)塵烘箱,,即使在普通環(huán)境下使用,,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100,,為CCD(電荷耦合器件)制造過(guò)程中烘烤提供潔凈環(huán)境,預(yù)防顆粒沾污將物料均勻放入真空干燥箱內(nèi)樣品架上,,推入干燥箱內(nèi),;溫州快速干燥真空烘箱安全警報(bào)
有機(jī)玻璃/亞克力制品是由聚甲基丙烯酸甲酚制成,聚甲基丙烯酸甲酚含有極性側(cè)甲基,,具有較強(qiáng)吸濕性能,,吸水率一般在亞克力板材必須保持干燥,干燥需要的條件是78℃-80℃下干燥5-6h.亞克力在流動(dòng)的過(guò)程中的溫度一般都在150℃左右,,但是當(dāng)亞克力開(kāi)始分解的時(shí)候,,溫度卻是高于270℃,所以說(shuō)在溫度的變化方面還是很靈活的,,不會(huì)受到溫度的影響而生產(chǎn),,耐高溫是有機(jī)玻璃的特性。Pmma通俗的名稱:有機(jī)玻璃,又稱作亞克力壓克力物理性能:密度:≥16kg/cm3拉伸強(qiáng)度≥61Kg/m3熱變型溫度≥78℃熱軟化溫度≥105℃1.首先原料必須烘干:80度4個(gè)小時(shí)以上2.成型溫度:200---315度當(dāng)然,溫度是根據(jù)產(chǎn)品的厚薄度,考慮所需的流動(dòng)性,3.模溫:60---90度,。 嘉興雙層鋼化玻璃觀察窗真空烘箱安全警報(bào)抽完真空后,,先將真空閥門(mén)關(guān)閉,然后再將真空泵電源關(guān)閉或移除,。
真空烘箱專為干燥熱敏性,、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計(jì),能夠向內(nèi)部充入惰性氣體,,特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進(jìn)行快速干燥,。該產(chǎn)品有以下特點(diǎn): 1、長(zhǎng)方體工作室,,使有效容積達(dá)到比較大,,微電腦溫度控制器,精確控溫,。溫度控制器2,、鋼化、防彈雙層玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體,,一目了然,。3、箱體閉合松緊能調(diào)節(jié),,整體成型的硅橡膠門(mén)封圈,,確保箱內(nèi)高真空度。4,、工作室采用不銹鋼板(或拉絲板)制成,,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用。5,、儲(chǔ)存,、加熱,、試驗(yàn)和干燥都是在沒(méi)有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境里進(jìn)行,所以不會(huì)氧化,。
真空烘箱可供科研、院校,、工礦,、化工等單位實(shí)驗(yàn)室以及生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng),在真空狀態(tài)下對(duì)物品進(jìn)行干燥和熱處理等,。設(shè)備利用真空泵進(jìn)行抽濕,。使工作室內(nèi)形成真空狀態(tài)有效降低水分沸點(diǎn)溫度。加快干燥速度,、避免物品加熱過(guò)程中導(dǎo)致氧化和損壞,,避免塵埃破壞。
工作室采用質(zhì)量不銹鋼板,。鋼化雙層玻璃視窗,,工作室內(nèi)產(chǎn)品一目了然;箱門(mén)閉合松緊可調(diào),,整體成型硅橡密封圈,,確保向內(nèi)高真空度;微電腦智能控溫儀,,設(shè)定,、測(cè)定溫度;雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,,控溫精確,;加熱功率比例可任意調(diào)節(jié);真空泵采用內(nèi)置泵體,,噪音小易維護(hù),。 廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥,冶金,電子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行業(yè)。
充氮真空烘箱(N2VacuumOvens)適用范圍:適用于半導(dǎo)體,、電子產(chǎn)品,、五金制品、醫(yī)療衛(wèi)生,、儀器儀表,、工廠、高等院校,、科研等部門(mén)作無(wú)氧化干燥,、固化、焊接,、退火等高溫處理,。產(chǎn)品特點(diǎn):1,、迅速脫氧:該箱內(nèi)膽采用不銹鋼制造,箱壁接縫全部采用氬弧焊焊接,,密封性能較好,,能快速脫氧;2,、氮?dú)夤δ埽嚎沙淙氲獨(dú)?、氬氣等惰性氣體,實(shí)現(xiàn)氣氛,、無(wú)氧,、降溫之功能;3,、高效率:穩(wěn)定和快速的升溫性能,,有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量和效率;4,、保溫節(jié)能:箱體與工作室之間填充高密度纖維棉作保溫材料,,有效保溫節(jié)能;5,、密封性好:箱門(mén)與工作室外框設(shè)有耐高溫?zé)o塵密封條和壓緊裝置,有效地保證了箱體的密封性能,;6、置物架:工作室內(nèi)設(shè)計(jì)可抽取的載物網(wǎng)板,;7,、美觀簡(jiǎn)潔:設(shè)備外形美觀,操作簡(jiǎn)便,,控溫靈敏準(zhǔn)確,;8、寬泛的溫度范圍選擇,。本干燥器屬于靜態(tài)真空干燥器,,故干燥物料的形成不會(huì)損壞。加熱功率比例可調(diào)真空烘箱調(diào)試調(diào)整
關(guān)緊箱門(mén),,放氣閥,,箱門(mén)上有螺栓,可使箱門(mén)與硅膠密封條緊密結(jié)合,;溫州快速干燥真空烘箱安全警報(bào)
為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性,,通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤,,在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中,,以150~200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分,在此溫度下,,晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水,。涂膠后,晶片須經(jīng)過(guò)一次烘烤,,稱之軟烘或前烘,。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常,,軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高,,但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過(guò)優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定,,典型的軟烘溫度是90~100℃,時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘,。在晶片顯影后,,為了后面的高能工藝,如離子注入和等離子體刻蝕,,也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤,,稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于:減少駐波效應(yīng),;激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液,。 溫州快速干燥真空烘箱安全警報(bào)
杭州宏譽(yù)智能科技有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn),、咨詢,、規(guī)劃、銷售,、服務(wù)于一體的生產(chǎn)型企業(yè),。公司成立于2014-10-28,多年來(lái)在防潮防氧化設(shè)備,,精密烘箱,,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備行業(yè)形成了成熟,、可靠的研發(fā),、生產(chǎn)體系。在孜孜不倦的奮斗下,,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來(lái)越廣,。目前主要經(jīng)營(yíng)有防潮防氧化設(shè)備,精密烘箱,,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備等產(chǎn)品,并多次以機(jī)械及行業(yè)設(shè)備行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶需求定制多款多元化的產(chǎn)品,。杭州宏譽(yù)智能科技有限公司每年將部分收入投入到防潮防氧化設(shè)備,,精密烘箱,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作中,,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動(dòng)作用。公司在長(zhǎng)期的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)中形成了一套完善的科技激勵(lì)政策,,以激勵(lì)在技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)品改進(jìn)等。杭州宏譽(yù)智能科技有限公司注重以人為本,、團(tuán)隊(duì)合作的企業(yè)文化,,通過(guò)保證防潮防氧化設(shè)備,精密烘箱,,設(shè)備高可靠性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,,智能安全存儲(chǔ)設(shè)備產(chǎn)品質(zhì)量合格,以誠(chéng)信經(jīng)營(yíng),、用戶至上,、價(jià)格合理來(lái)服務(wù)客戶。建立一切以客戶需求為前提的工作目標(biāo),,真誠(chéng)歡迎新老客戶前來(lái)洽談業(yè)務(wù),。