微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡要介紹一些研究進(jìn)展較為明顯,，或當(dāng)前關(guān)注度較高的微型化真空泵,，主要包括膜片泵,、射流/擴(kuò)散泵,、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級(jí)膜片泵通常由一個(gè)腔體,、一個(gè)泵膜,、兩個(gè)閥門和一個(gè)致動(dòng)器組成,，它利用泵膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)營造腔體容積的周期性變化，利用單向閥門控制氣體流向,，實(shí)現(xiàn)氣流的定向引入,、輸出。膜片泵的原理,、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單,，膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物,，驅(qū)動(dòng)機(jī)制可采用靜電、壓電,、電滲,、氣動(dòng)和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝,，使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成,，構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。無油活塞式真空泵是一種活塞式真空泵,，用來抽除密封容器中的氣體,，以獲取真空的基本設(shè)備。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵

無油活塞泵：它是一種利用活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的泵吸氣的真空設(shè)備,，其工作原理是通過活塞的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng),，使氣體在泵筒內(nèi)產(chǎn)生壓縮和膨脹，從而產(chǎn)生負(fù)壓來吸氣,。其廣泛應(yīng)用在醫(yī)療行業(yè),、電子制造、化工行業(yè)和食品行業(yè)等自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域,。無需油,，符合工業(yè)環(huán)保要求無油活塞真空泵在整個(gè)工作過程中，無需使用潤滑油,，無油活塞真空泵氣缸內(nèi)壁特殊處理,，形成自潤滑，不會(huì)產(chǎn)生油霧和廢氣,，有效減少了對(duì)環(huán)境的污染,，相對(duì)傳統(tǒng)油式真空泵比較環(huán)保節(jié)能。在電機(jī)材質(zhì)和設(shè)計(jì)上也獨(dú)具匠心,，電機(jī)能效比高,，極低發(fā)熱量，提高電機(jī)的運(yùn)行效率和降低能源消耗,，有效提高了節(jié)能環(huán)保的效果,。新疆真空泵調(diào)整定制型(OEM)蠕動(dòng)泵：體積小,，適合精度不高的各種環(huán)境下的小流量液體輸送。

微型化真空系統(tǒng)需要相互協(xié)調(diào)的全微型化元器件,，其中比較主要的外圍器件就是真空泵,，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分為氣體輸運(yùn)泵和氣體捕集泵,。輸運(yùn)泵通過氣體不斷吸入和排出達(dá)到抽氣目的,，常見的有膜片泵、旋片泵,、擴(kuò)散泵和分子泵,；捕集泵通過氣體吸附劑或低溫表面吸附、捕集氣體實(shí)現(xiàn)抽氣,，主要包括離子泵,、升華泵和低溫泵等[9]。宏觀真空泵抽氣速率高,、極限真空高,、抽氣效率高，微型化后,，由于微加工工藝兼容性原因,，可以預(yù)期到其性能會(huì)下降。同時(shí)研究表明,，并非所有宏觀真空泵都適合微型化,。

具體到常見的真空泵類型，包括但不限于以下幾種：變?nèi)莘e式真空泵：包括往復(fù)真空泵,、旋片真空泵,、滑閥真空泵、水環(huán)真空泵,、羅茨真空泵等,。這類泵通過改變泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的過程。噴射真空泵：包括水噴射真空泵,、蒸汽噴射真空泵,、汽水串聯(lián)噴射真空泵、汽水組合噴射真空泵等,。這類泵利用文丘里效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵,。其他類型：如液環(huán)真空泵（水環(huán)真空泵）、干式真空泵,、分子真空泵,、牽引分子泵、水噴射真空泵,、氣體噴射泵,、蒸汽噴射泵,、擴(kuò)散泵等。電動(dòng)真空泵：這是一種多用途,、多功能的微型真空泵,，具有高壓力、低噪音的特點(diǎn),，適用于多種應(yīng)用場景,。按用途分類：主泵、粗抽泵,、前級(jí)泵,、維持泵、粗/低真空泵,、高真空泵,、超高真空泵、增壓真空泵等,，這些分類基于真空泵在真空系統(tǒng)中的角色和適用范圍。按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類：機(jī)械式真空泵和射流式真空泵兩種,，機(jī)械式真空泵通過機(jī)械的運(yùn)動(dòng)來不斷改變真空泵的吸氣容腔容積從而獲得真空,。氣體捕集泵：包括吸附泵、冷阱,、低溫泵,、升華泵、分子篩吸附泵,、濺射離子泵等,，這些類型的真空泵通過使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減少了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的,。手持型蠕動(dòng)泵：可實(shí)現(xiàn)野外取樣在線監(jiān)測取樣,，可采集高粘度液體、含顆粒液體分層取樣,，操作簡便且易于清洗,。

微型隔膜泵與微型蠕動(dòng)泵的區(qū)別；一,、工作原理微型隔膜泵的工作原理是通過隔膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來改變泵腔的容積,，從而實(shí)現(xiàn)吸入和排出液體的目的。這種泵通常具有簡單的結(jié)構(gòu)和較高的可靠性,，因此在許多場合下都被優(yōu)先考慮,。相比之下，微型蠕動(dòng)泵的工作原理則是通過滾輪或滑塊對(duì)軟管進(jìn)行交替壓縮和釋放,，使軟管內(nèi)的液體產(chǎn)生定向流動(dòng),。這種泵的特點(diǎn)是具有較好的密封性和自吸能力,，但在結(jié)構(gòu)上相對(duì)復(fù)雜一些。二,、性能特點(diǎn)微型隔膜泵的主要優(yōu)點(diǎn)在于其結(jié)構(gòu)簡單,、體積小、重量輕,，以及較高的流量和壓力范圍,。此外，它還具有較好的自吸能力和干運(yùn)轉(zhuǎn)能力,，因此在一些需要高可靠性和高適應(yīng)性的場合下表現(xiàn)出色,。微型蠕動(dòng)泵的優(yōu)點(diǎn)則在于其良好的密封性和低剪切力。由于蠕動(dòng)泵的工作原理是通過交替壓縮和釋放軟管來實(shí)現(xiàn)液體輸送,，因此它對(duì)液體的攪動(dòng)非常小,，特別適合于輸送一些對(duì)剪切力敏感的液體。此外,，蠕動(dòng)泵還具有較好的自吸能力和可逆性,，可以通過反轉(zhuǎn)滾輪或滑塊的方向來實(shí)現(xiàn)液體的反向流動(dòng)。為了減少脈動(dòng),，許多蠕動(dòng)泵提供彈簧加載機(jī)制以確保平穩(wěn)地泵送動(dòng)作,。全國進(jìn)口真空泵

用活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生泵吸氣的真空設(shè)備通過活塞的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)氣體在泵筒內(nèi)產(chǎn)生壓縮膨脹，從而產(chǎn)生負(fù)壓吸氣,。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵

無油活塞式真空泵是高新科技產(chǎn)品,。工作原理是：連桿通過軸承與偏心壓裝在一起，偏心輪鎖緊在電機(jī)軸上,，由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn),，帶動(dòng)連桿往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)空氣的吸入,、壓縮和排出過程,。無油活塞式真空泵具有以下特點(diǎn)：--完全無油工作--高效節(jié)能--長壽命--靜音--低升溫--運(yùn)行平穩(wěn)--高可靠性--體積小，重量輕--便攜式,，可攜帶外出作業(yè)--結(jié)構(gòu)簡單,，易維護(hù)--外形美觀。無油活塞式真空泵主要應(yīng)用在以下領(lǐng)域：醫(yī)療設(shè)備,，科研設(shè)備,，實(shí)驗(yàn)室，干燥設(shè)備,，半導(dǎo)體工業(yè),，汽車工業(yè)，印刷機(jī)械,，包裝機(jī)械,，食品保鮮,，水產(chǎn)養(yǎng)殖，水凈化處理,，分析儀器,，廣告制作，設(shè)備維修,，生物制藥,，通訊電子，石油化工,，環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),，高原地區(qū)制氧等領(lǐng)域。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵