在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子,、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空,、超高真空,，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),，有的體積很大，達(dá)幾十立方米,，甚至數(shù)百立方米,，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達(dá)幾公里，焊縫,、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達(dá)數(shù)十公里,，必須投人很大力量對設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題,。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難,。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏,。常州智能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1,、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí),，不能直接拆除加壓罐,。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識,。2,、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來傷害,。3,、產(chǎn)品半檢漏時(shí),，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開。以防氣體沖擊帶來傷害,。4,、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí)，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中,，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出,，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷,。金華小型氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺,、電子束蒸發(fā)臺,、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,，耗時(shí)耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對晶元造成污染,，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。

氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護(hù)：1.定期檢查機(jī)械泵的油位,，如不足足應(yīng)及時(shí)添加；如果機(jī)械泵的油是棕色,、褐色或聞起來有糊狀的味道,，這意味著油已經(jīng)惡化了。此時(shí),，應(yīng)釋放泵中的油,，必要時(shí)，先用新油沖洗,，然后注入新油,。2.定期清洗或更換機(jī)械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴,，可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出,，然后清洗，然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干,。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,，即噴氦法（負(fù)壓法），正壓法,，氦罩法,。就幾種方法的靈敏度比較而言，噴氦法的靈敏度高些,。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的,、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí)，也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高,。氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī),。整機(jī)由微機(jī)控制,，菜單選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程,。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果,，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,。常州小型氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦檢儀自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī)。常州智能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的原因是什么,？穩(wěn)定時(shí)間對檢測的影響,，在充氣的時(shí)候，壓縮空氣會(huì)因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后,，引起一系列的熱力學(xué)-動(dòng)力學(xué)變化,。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會(huì)發(fā)生降低,，若此時(shí)進(jìn)行測量,，則這種壓力的變化會(huì)被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力,、測試容積及測試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測試容積增加時(shí),，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯,。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。常州智能氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

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