氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理，可外接打印機(jī),。整機(jī)由微機(jī)控制,，菜單選擇功能，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程,。（4）全無油的干式檢漏：有些國(guó)家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果,，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體,？河北氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理：1,、內(nèi)部的泄漏，當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),，會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,，容易造成誤檢、誤判,。各零部件接口處的密封部位,。如放大器與質(zhì)譜室,、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室,、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門組件,、真空計(jì)與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),，更換密封件。2,、本底信號(hào)不穩(wěn)定,，1）本底信號(hào)過高有可能是環(huán)境本底被污染,，注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏,。將室內(nèi)的門窗打開通風(fēng),，降低環(huán)境本底。2）本底信號(hào)過高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染,。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污,、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí)，質(zhì)譜室極易被污染,，需返廠進(jìn)行清洗,，本底信號(hào)不穩(wěn)定，檢查電源電壓是否穩(wěn)定,，氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接地,。分體式氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的原因是什么？

氦檢儀噪聲是哪兒來的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲,。實(shí)際上,，目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,，與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,，加速電壓,、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2,、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂,、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣）,，電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）,；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性,；4,、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5,、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等,。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大。

氦檢儀的撿漏方法：正壓法（吸入法）,?？煞譃檎婵障浞ê驼龎悍▋蓮埬Ｊ剑ぜ?nèi)充氦氣,，吸搶檢測(cè)可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測(cè)工件的具體漏點(diǎn),。檢測(cè)精度高。適用行業(yè)：特種閥門,，高壓管道,，制冷管路，汽輪機(jī)組等,。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣,，正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動(dòng)嗅探式和氦罩累積式,。前者只能定性檢測(cè)大漏,后者則可定量檢測(cè)微漏,。氦質(zhì)譜檢漏正壓氦罩法注意事項(xiàng)：氦罩要專門設(shè)計(jì),一般用金屬制作(塑料布在長(zhǎng)時(shí)間累積中滲透量太大)。如果累積時(shí)間短,也可用0.10～0.15mm的塑料布制作,。檢測(cè)時(shí)氦罩應(yīng)盡量小,以便提高氦的壓升率,。氦罩要密封。探測(cè)口要方便檢測(cè)。檢漏過程中,儀器靈敏度和吸頭在校準(zhǔn)后不得進(jìn)行調(diào)整,否則要重新進(jìn)行校準(zhǔn),。吸頭不應(yīng)一直插在檢測(cè)口內(nèi),以免影響累積信號(hào),。在低溫探測(cè)時(shí),環(huán)境濕度應(yīng)盡量降低,被檢件應(yīng)先加高壓示漏氣體而后降溫,以免小孔阻塞。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定,，電壓過高會(huì)燒壞電源,，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS),。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng),。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀,，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞,。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油,、更換過濾網(wǎng),、更換過濾器。靈敏度,、反應(yīng)時(shí)間、消除時(shí)間,、工作真空度,、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,，其存放和使用環(huán)境要保持干凈,、衛(wèi)生。紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。河北氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

氦檢儀的撿漏方法有哪些,？背壓法（壓氦法）真空模式。工件先在壓氦罐中打入高壓氦氣,，迫使氦氣進(jìn)入泄漏工件,，再放入檢漏罐中檢測(cè)是否有氦氣漏出?？筛鶕?jù)工件大小定制罐體大小,。可檢測(cè)工件的整體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度較高,。適用行業(yè)：電子元器件,，電子封裝等。氦質(zhì)譜檢漏背壓法優(yōu)點(diǎn)：檢測(cè)靈敏度高,；可以進(jìn)行批量化檢測(cè),；一般小型電子器件宜采用這種檢漏方法。首先將儀器調(diào)整好,，再將器件放入加壓罐內(nèi)壓入氦氣,，氦氣進(jìn)入有漏孔的器件內(nèi)部，無漏孔的器件只是表面吸咐氦氣,。器件加壓壓力和時(shí)間根據(jù)GB2423,，2328文件而定，器件從加壓罐中取出后將表面吸咐的氦氣吹掉再放入檢漏夾具中抽空,，待真空抽至設(shè)定值后自動(dòng)將夾具連至儀器的測(cè)量系統(tǒng),。這時(shí)壓入存在漏孔器件內(nèi)部的氦氣泄漏出來被檢測(cè)，其漏率在漏率表上顯示出來,。一般壓氦法檢漏時(shí)采用排除法,。在夾具中放一定數(shù)量的器件，這一批的總漏率沒超過報(bào)廢預(yù)定值,，說明這一批合格,；總漏率超過報(bào)廢預(yù)定值可以取出一半，剩下的一半繼續(xù)檢漏,，這一半合格說明有漏的器件在取出的那一半中,，依此檢漏直至檢出有漏孔的器件。河北氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

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