氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩,，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測,。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法,。檢漏過程中,，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口,。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個方面,？第1，當氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準靈敏度時,，標準泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同,，即標準泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等,，導(dǎo)致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差。第二,，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差,。第三,，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差。第四,，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差,。第五,，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時,，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。杭州小型氦質(zhì)譜檢漏儀生產(chǎn)廠家氦檢儀普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天,、原子能、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1,、氦氣的質(zhì)量輕,，易于穿過漏孔,，進入系統(tǒng)時流動和擴散快，因此響應(yīng)快,，檢漏靈敏度高,。2、氦離子質(zhì)荷比小,，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場,。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大,，利于離子分離,，可以適當降低對分析器制造精度的要求,，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙,，從而提高氦離子的傳輸率。3,、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小,，檢漏時本底信號小,。

隨著汽車行業(yè)的迅猛發(fā)展，汽車空調(diào)行業(yè)對氦檢的需求越來越大,，對氦檢的性能指標要求越來越高,。氦檢儀在汽車空調(diào)蒸發(fā)器、冷凝器和壓縮機檢漏上在擁有氦氣檢漏的普遍優(yōu)點的同時,，更具備操作方便,、工作節(jié)拍快、誤判率低等獨有特點,。對被檢工件抽空后充入一定壓強的氦氣,，被檢工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱與氦檢儀檢漏口相接,。若被檢工件有漏,，則漏入真空箱的氦氣可通過氦檢儀測出。與被檢工件相連的是充氣回收裝置,，在檢漏前后分別實現(xiàn)氦氣的充鑄和回收,。電廠使用氦檢儀主要是對汽輪機內(nèi)部真空系統(tǒng)的檢漏，還有冷凝罐的檢漏,，由于每一個環(huán)節(jié)如果有泄漏的話都會增加生產(chǎn)成本,，所以電廠檢漏在實際生產(chǎn)中是非常重要的。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,。

氦檢儀在真空度校驗中有什么應(yīng)用,？氦是一種惰性氣體，不會對設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,，不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),，無毒，也不會污染環(huán)境,，因此使用起來也十分安全,。對容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小，常作為泄漏氣體使用,。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,，如果容器有漏孔，分析儀就會發(fā)出響聲,，從而知道漏孔的位置和漏氣量,。氦質(zhì)譜檢測泄漏技術(shù)是真空檢測領(lǐng)域中不可缺少的一項技術(shù)，由于其檢測效率高,、簡便易行,、儀器反應(yīng)靈敏、準確度高,、不受其它氣體干擾等特點，在電阻爐檢測泄漏中被普遍應(yīng)用,。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。浙江移動式氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氦檢儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗,、低插入損耗,、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,，如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,，光通信行業(yè)的漏率標準是小于5×10-8mbar.l/s，因此需要進行泄漏檢測,。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,，定量漏點，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏,。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小,，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏,，具體做法如下,。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定,。2.取出無源器件,，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐,，測試罐連接氦檢儀,。4.啟動氦檢儀，開始檢漏,。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊

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