氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP,、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4,、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效,。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用,。無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動(dòng)困難,，且性能不穩(wěn)定,，電壓過高會(huì)燒壞電源，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS),。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,，若搬動(dòng)氦檢儀,，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油,、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器,。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng),，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng),。常州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢儀不只靈敏度高，而且操作方便,；

氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng)：1,、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí)，不能直接拆除加壓罐,。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開,。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2,、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況,。以防氣體沖擊帶來傷害,。3,、產(chǎn)品半檢漏時(shí)，按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開,。以防氣體沖擊帶來傷害,。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí),，產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中,，而應(yīng)把油箱中的托盤拿出，把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中,。以防止油飛濺燙傷,。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求,，如有些儀器沒有逆流檢漏功能,，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,；流水線上要求一定的檢漏速度,，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求,。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇,。（3）被檢件如果害怕油的污染,，被應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大,，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀,，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對(duì)象不固定,，體積時(shí)大時(shí)小,，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低,，就要選擇功能較全，靈敏度較高,，檢漏范圍寬的氦檢儀,。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí),，就要選擇小型便攜式儀器,。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低,、操作是否建議,、維修是夠方便等方面的問題。氦質(zhì)譜檢漏儀的電流相同,，漏率可能不同,；或漏率不同，電流相同,。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對(duì)檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,，菜單選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件,。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分，它包括離子源,、聚焦,、質(zhì)量分析器和測量部分。上海無損氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做,？1.對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時(shí)，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵,、前級(jí)機(jī)械泵組成,，因此在常規(guī)檢測時(shí)通常由前級(jí)機(jī)械泵對(duì)被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后,，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分,；被檢件在檢測前會(huì)被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵,、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng),。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞,。因此,，對(duì)被檢件的前處理以及對(duì)設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,，還需要進(jìn)行前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù),，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時(shí)導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短,。無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)

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