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氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,,根據(jù)被檢工件的測量目的可分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,,另一種是漏率型,;在實(shí)際檢驗(yàn)過程中,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法,。測定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星,、導(dǎo)彈彈體,、彈頭、輸氣管道,、氣罐,、油罐、鍋爐等,。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法,。噴氦法又叫噴吹法,較常用,、較方便的檢漏方法,。一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦檢儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。浙江國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,,以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,,因而易通過漏孔并易擴(kuò)散,;另外,氦系惰性氣體,,不腐蝕設(shè)備,,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,,若容器有漏孔,,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,,性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高,,而且操作方便,,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零,、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,。溫州推車式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。
氦檢儀是什么,?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器,。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),。單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,,本底噪聲明顯減小,。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦檢儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。
影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些,?氦檢儀檢漏時(shí),,產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面:第1,氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,,即,,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,,這會導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差,。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,,這時(shí)也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差,。第五,,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同,。第六,,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。第八,之后也就是檢漏操作人員的因素,,包括素質(zhì),、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等,。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,,用得普遍的氦檢儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響,。
氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護(hù):1.定期檢查機(jī)械泵的油位,,如不足足應(yīng)及時(shí)添加;如果機(jī)械泵的油是棕色,、褐色或聞起來有糊狀的味道,,這意味著油已經(jīng)惡化了。此時(shí),,應(yīng)釋放泵中的油,,必要時(shí),先用新油沖洗,然后注入新油,。2.定期清洗或更換機(jī)械泵的排氣管,。如果排氣管中有大量油滴,可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測器中取出,,然后清洗,,然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,,即噴氦法(負(fù)壓法),,正壓法,氦罩法,。就幾種方法的靈敏度比較而言,,噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的,、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí),,也不敢確切地說噴氦法的靈敏度就是高。氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,。紹興氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)
氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件,。浙江國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1,、盡量開大節(jié)流閥。2,、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3,、將工件用塑料袋包扎,,袋內(nèi)再充入氦氣,(但此法不能測出具體漏點(diǎn)),。4,、使用液氮,全開節(jié)流閥,,采用不分流檢漏,,必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù):1,、定期更換燈絲,,清洗冷規(guī)。2,、定期更換機(jī)械泵油,適時(shí)對機(jī)械泵加油。3,、如加液氮,,需定期清洗冷阱。4,、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,,安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5,、適時(shí)對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗,,排除漏點(diǎn)。浙江國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊
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