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溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-03-11

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),,利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來,。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號,而對其他氣體沒有反應(yīng),,屬于唯1性氦檢儀器,。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號,,就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件,,從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕,,易于穿過漏孔,,擴(kuò)散快,對分析設(shè)備制造的要求相對簡單,;同時(shí)氦氣在空氣中含量少,,本底壓力小,又為惰性氣體,,不易發(fā)生反應(yīng)等等,,都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油,、更換過濾網(wǎng),、更換過濾器。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法:1,、盡量開大節(jié)流閥,。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,,關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門),。3、將工件用塑料袋包扎,,袋內(nèi)再充入氦氣,,(但此法不能測出具體漏點(diǎn))。4,、使用液氮,,全開節(jié)流閥,采用不分流檢漏,,必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小,。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù):1、定期更換燈絲,,清洗冷規(guī),。2、定期更換機(jī)械泵油,,適時(shí)對機(jī)械泵加油,。3、如加液氮,,需定期清洗冷阱,。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,,安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏,。5,、適時(shí)對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗,排除漏點(diǎn),。無錫臺式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體?1,、氦氣的質(zhì)量輕,,易于穿過漏孔,進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動和擴(kuò)散快,,因此響應(yīng)快,,檢漏靈敏度高。2,、氦離子質(zhì)荷比小,,因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子,、二階碳離子相差較大,,利于離子分離,可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求,,使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙,,從而提高氦離子的傳輸率。3,、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,,在材料出氣中氦氣也很少,因此本底壓力小,,檢漏時(shí)本底信號小,。

在針對氦檢儀選擇和安裝真空計(jì)時(shí),必須考慮其特性和真空測量的特性:由于真空室中存在潛在的壓力梯度,,恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象,。因此真空計(jì)可指示的壓力高于真空室壓力,。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短,且密封件數(shù)量減少到蕞小,。電離真空計(jì)具有抽氣效應(yīng),,因此指示的壓力低于真空室中的實(shí)際壓力。冷陰極真空計(jì)具有固有的濺射效應(yīng),,這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體(如氬)一起抽空時(shí)尤為明顯,。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時(shí),,電離真空計(jì)受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染,。如同濺射效應(yīng)一樣,,讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計(jì)的開關(guān)點(diǎn),,以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染,。強(qiáng)磁場和電場會影響真空計(jì)的性能。尤其對于電離真空計(jì)而言,。為能夠產(chǎn)生超高真空,,必須對真空設(shè)備,包括真空計(jì)進(jìn)行烘烤,。必須遵守技術(shù)要求中規(guī)定的蕞大烘烤溫度和條件,。氦檢儀選擇無毒、無破壞性,、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,,所以安全可靠。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn):1.檢測時(shí)間和周期非常短,,可以達(dá)到5s以內(nèi),;2.檢測的介質(zhì)比較常用,只需壓縮空氣即可,;3.不會受到主觀因素判斷的影響,;4.檢測的數(shù)據(jù)精確;5.自動生成數(shù)據(jù)保存,,可追溯數(shù)據(jù)來源,。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法,含有渦輪分子泵,、內(nèi)置機(jī)械泵,、外置機(jī)械泵、光譜,、儀管,、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面,,以及可選功能組件,。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,例如,,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船,、航天飛機(jī)、火箭,、衛(wèi)星,、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。氦檢儀適用于工業(yè),、分析研究,、鍍膜市場等,。溫州無損氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少?溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù),?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染,。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗,。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件,;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥,。整個(gè)清洗過程中需要注意,,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,,使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確,,經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍,。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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