任何儀器在制作過程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況,，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系,，但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件,，關(guān)系著車輛和乘員的安全,。良好的密封才能決定儀器的正常使用，所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法：如加壓水檢法,、壓差法,、鹵素檢漏法，在檢漏速度,、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷,，而氦檢漏技術(shù),，是集真空技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù),，為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案,。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用，氦檢儀適用于工業(yè),、分析研究,、鍍膜市場(chǎng)等。檢漏時(shí),，如果用氦氣噴吹漏孔,，氦氣便通過漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中，使氦檢儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來,，達(dá)到了檢漏的目的,。此款氦檢儀堅(jiān)固耐用，抗震性能極強(qiáng),，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率,。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作。氦質(zhì)譜檢漏儀在運(yùn)行過程中不能移動(dòng),。無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1,、盡量開大節(jié)流閥。2,、盡量減小外接泵對(duì)工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后,，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3,、將工件用塑料袋包扎,，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測(cè)出具體漏點(diǎn)),。4,、使用液氮，全開節(jié)流閥,，采用不分流檢漏,，必要時(shí)可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1,、定期更換燈絲,，清洗冷規(guī)。2,、定期更換機(jī)械泵油,，適時(shí)對(duì)機(jī)械泵加油。3、如加液氮,，需定期清洗冷阱,。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后,，安裝時(shí)要避免安裝處出現(xiàn)泄漏,。5、適時(shí)對(duì)氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗,，排除漏點(diǎn),。四川氦質(zhì)譜檢漏儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法,、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法,。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離,。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成,。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí)，打開入口閥1,、2,，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來,，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s,。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20Pa時(shí),，入口閥2關(guān)閉,，入口閥3打開,，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s,。氦檢儀在壓力容器中的常用方法有哪些？

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,，耗時(shí)耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。江蘇臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家

在結(jié)構(gòu)組成上,，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的；無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,，一種為常規(guī)檢漏,，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè),。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比)即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的,。對(duì)產(chǎn)品檢漏前首先要對(duì)工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,，了解有哪些漏源，才能快,，準(zhǔn),，狠的完成檢漏。無錫多功能氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢

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