氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP,、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效,。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。噴氦法,、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦檢儀噪聲是哪兒來的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲,。實(shí)際上,，目前通過對電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,，與本底的大小以及電磁場參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,，加速電壓,、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性；2,、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂,、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣）,，電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）,；3、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對氦氣抽速的不穩(wěn)定性,；4,、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透；5,、殘余氣體分子對氦離子的散射等等,。這些因素對本底噪聲及靈敏度的影響都很大。上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家氦檢儀適用于工業(yè),、分析研究,、鍍膜市場等。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題,？1,、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低，一是由于所噴出的氦氣流是散開的,，故摻有一定數(shù)量的空氣,，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向,，此外,、在凹缺處所存在的空氣會(huì)使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2,、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方,，由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3,、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔,。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住,，再對另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦,。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí),，如果,，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔,。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高,、反應(yīng)速度快、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天,、原子能、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。檢漏儀在使用過程中，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,，若對其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的,，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用,。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果,。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題：1、儀器的功能能滿足檢漏的要求,。如有些儀器沒有逆流檢漏功能,，就不適合檢漏；有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,；流水線上要求一定的檢漏速度,，此時(shí)應(yīng)選擇有雙工位的檢漏儀,。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求,。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的,，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇,。3,、被檢件如果害怕油的污染,，就應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4,、被檢件容積如果較大,，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預(yù)抽泵,。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),。南京真空氦質(zhì)譜檢漏儀售后服務(wù)

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

氦檢儀的組成部分有哪些,？真空系統(tǒng),，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件，不同型號(hào)的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別,。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵,。一般用擴(kuò)散泵或渦輪分子泵。極限壓力小于5×10-1Pa,，其抽速應(yīng)與氣載匹配,。2）前級(jí)真空泵。一般采用旋片式機(jī)械真空泵,，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速與主泵匹配,。3）預(yù)抽真空泵,。一般與前級(jí)真空泵共同一個(gè)泵，預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機(jī)械真空泵,，其抽速視被檢件大小而定,，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。寧波小型氦質(zhì)譜檢漏儀品牌

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