氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟：1、調(diào)氦峰方法：開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān),，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值,，然后關(guān)漏孔開(kāi)關(guān),，如表頭指示值變小，說(shuō)明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào),，即找到氦峰,；如表頭指示值不變，說(shuō)明不是氦峰,，則繼續(xù)調(diào)“V”,，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2,、調(diào)氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差,。②氦和輕離子分辨差。3,、調(diào)氦峰信號(hào)?。孩贌艚z沒(méi)正對(duì)電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn),。③分辨不好,。在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的,；紹興分體式氦質(zhì)譜檢漏儀單位

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一、環(huán)境條件,，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃,，校準(zhǔn)過(guò)程中室溫變化不超過(guò)±1℃，環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%,。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)明顯的溫差,、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃,。二、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s，不確定度不大于10%,。精密玻璃溫度計(jì)，測(cè)量范圍(0～50)℃,，不確定度U=0.04℃,，k=2。江蘇移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,，通常指儀器的可檢漏率,。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s,；3.啟動(dòng)時(shí)間：≤5min,；4.響應(yīng)時(shí)間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa,；6.電源要求：220v,，50Hz，單相,，10A,；7.工作環(huán)境：5-35℃；8.相對(duì)濕度：≤80%,；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）,；10.重量：64kg。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃,；相對(duì)濕度：<80%,；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz工作電流：10A,。

氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,，另一個(gè)就是本底噪聲,。實(shí)際上，目前通過(guò)對(duì)電子線路的改進(jìn),，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,，可以通過(guò)放大信號(hào)的辦法來(lái)提高信噪比來(lái)改善靈敏度,。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成，與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1,、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性，加速電壓,、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性,；2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂,、人造橡膠,、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦氣）,，電離真空計(jì)特別是磁放電真空計(jì)對(duì)氦氣的記憶效應(yīng)（被污染的情況下更為嚴(yán)重）；3,、抽氣系統(tǒng)中氦氣的反擴(kuò)散與對(duì)氦氣抽速的不穩(wěn)定性,；4、氦檢儀本身漏氣和氦氣的滲透,；5,、殘余氣體分子對(duì)氦離子的散射等等。這些因素對(duì)本底噪聲及靈敏度的影響都很大,。氦檢儀不只靈敏度高,，而且操作方便；

氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,，結(jié)構(gòu)上分單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型和雙級(jí)串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,，而在結(jié)構(gòu)組成上，大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的：質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,，又包括離子源、分析器,、收集器,、前級(jí)放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成部分,；真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,，保證氦離子的傳輸率；電氣系統(tǒng)的重點(diǎn)功能就是為質(zhì)譜室供電與測(cè)量,。另外在有些條件下,，氦質(zhì)譜檢漏可能還會(huì)需要輔助真空系統(tǒng)，完成一些預(yù)抽,、保證氦檢儀真空度等工作,。敏度、反應(yīng)時(shí)間,、消除時(shí)間,、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。紹興智能氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率,。紹興分體式氦質(zhì)譜檢漏儀單位

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些,？氦檢儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括8個(gè)方面：第1,，氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等,，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差。第二,，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差,。第三，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。第四,，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,，氦檢儀的性能不穩(wěn)定,。第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。第八,，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì),、責(zé)任心,、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,，用得普遍的氦檢儀器,。紹興分體式氦質(zhì)譜檢漏儀單位