氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),，它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,，但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的，稱之為檢漏靈敏度,。然后在具體檢漏過程中,，氦檢儀的檢漏方法也較多，有噴吹法,、氦罩法,、檢漏盒法、充壓法,、吸嘴法,、累積檢漏法、背壓法,、選擇性抽氣法,、逆流氦檢漏法等眾多形式，可結(jié)合實際情況靈活運用,。如較簡單常用的噴吹法,，與鹵素氦檢儀的真空法類似，將被檢件抽真空,，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣，如果存在漏洞,，噴吹一定時間后,，氦檢儀即可發(fā)出信號。氦檢儀能夠雙燈絲自動切換,、自動調(diào)零,、自動校準(zhǔn)和自動量程切換,。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點

氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項：1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進行本測試，測試完成后不得進行焊縫的修磨等,。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會影響毛細管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實性,。3.因氦比空氣輕，因此要注意檢漏的順序,，檢查順序應(yīng)依照由下而上,，由近而遠的順序進行。4.檢漏過程中,，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進人質(zhì)譜檢漏儀,，應(yīng)立即移去吸口，防止因儀器長時間消除不掉氦影響而延誤測試,。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)?？蒲袉挝弧⒄婵罩圃?、真空鍍膜,、航空航天、核工業(yè),、電力,、電子元器件、汽車及制冷,、低溫容器,、閥門、儀器儀表,、聚酯等行業(yè),。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件,。

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,，由于冶金、原子能,、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展,，要求制造不同用途的高真空,、超高真空，甚至極高真空設(shè)備,。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，內(nèi)部有很多管道和傳動機構(gòu)，有的體積很大,，達幾十立方米,，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長度可達幾公里，焊縫,、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,，必須投人很大力量對設(shè)備嚴格進行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計時起就考慮檢漏問題,。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難,。

氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣,，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少,，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小,，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小,、質(zhì)量輕、易擴散,、易穿越漏孔,，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質(zhì)比小，易于進行質(zhì)譜分析;④氦氣是惰性氣體,，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,，不會腐蝕和損傷任何設(shè)備;⑤氦氣無毒，不凝結(jié),，極難容于水,。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準(zhǔn)確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經(jīng)濟損失,。噴氦法,、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用,，建議每周開機檢查一下,，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后,，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,，可用儀器進行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進行自身檢漏,，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊,，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵,。（散熱口灰塵處理,，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上,，尤其是進氣口中,，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生,。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣,，而且能檢測其它氣體。常州氦質(zhì)譜檢漏儀費用

氦質(zhì)譜檢漏儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器,。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護？當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好,，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染,。這個時候,，就需要將檢漏儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用高標(biāo)號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,，不能用粗砂紙,，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油或無水乙醇清洗,，并用去離子水沖洗干凈,；然后用烘箱或電吹風(fēng)進行干燥。如果操作正確,，經(jīng)過清洗維護后的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍,。寧波模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀特點