選擇氦檢儀時(shí)主要考慮以下問(wèn)題:(1)儀器的功能能滿足檢漏的要求,。如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能,,就不適合正壓法檢漏,;有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,,不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,;流水線上要求一定的檢漏速度,,此時(shí)應(yīng)選擇有多工位的氦檢儀,。(2)儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求,。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇,。(3)被檢件如果害怕油的污染,,就應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的氦檢儀。(4)被檢件容積如果較大,,必須選用預(yù)抽泵抽速大的氦檢儀,,否則就要外加預(yù)抽泵。(5)如果被檢對(duì)象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低,,就要選擇功能較全、靈敏度較高,、檢漏范圍寬的氦檢儀,。(6)如果檢漏地點(diǎn)不固定,需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí),,就要選擇小型便攜式儀器,。(7)在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低,、操作是否簡(jiǎn)易,、維修是否方便等方面的問(wèn)題。氦檢儀的撿漏方法有哪些,?蘇州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好
氦檢儀中沒(méi)有手動(dòng)閥,,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴(kuò)散泵,以消除可能造成的油返流,。計(jì)算機(jī)技術(shù)也在氦檢儀中獲得應(yīng)用,。運(yùn)轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計(jì)算機(jī)自動(dòng)操作完成,。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替,。整個(gè)操作只須按各種按鈕自動(dòng)進(jìn)行。氦檢儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天,、新能源,、電子器件、閥門,、電力,、核電、制冷,、家電等行業(yè),。氦檢儀在未來(lái)的歲月中還將在許多的工業(yè)領(lǐng)域中得到新的應(yīng)用。氦檢儀質(zhì)量范圍很寬,,不只可檢測(cè)氦氣,,而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng),,不只解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,,而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好氦檢儀不只靈敏度高,,而且操作方便,;
氦檢儀在真空度校驗(yàn)中有什么應(yīng)用,?氦是一種惰性氣體,不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無(wú)毒,,也不會(huì)污染環(huán)境,,因此使用起來(lái)也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小,,常作為泄漏氣體使用,。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,,分析儀就會(huì)發(fā)出響聲,,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù),,由于其檢測(cè)效率高,、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏,、準(zhǔn)確度高,、不受其它氣體干擾等特點(diǎn),在電阻爐檢測(cè)泄漏中被普遍應(yīng)用,。
氦檢儀的工作原理:氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,,再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子,主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng),、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元,。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,,它包括離子源,、聚焦、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分,。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分,,分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,氦氣的壓縮比很小,,可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室,。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,氦離子通過(guò)質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,,產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào),,該信號(hào)經(jīng)過(guò)放大和處理即為泄漏率。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,。
氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法:一,、環(huán)境條件,,校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃,校準(zhǔn)過(guò)程中室溫變化不超過(guò)±1℃,,環(huán)境相對(duì)濕度不大于80%,。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無(wú)明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場(chǎng)等外部干擾,。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近,,因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對(duì)應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃。二,、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇,,標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,,不確定度不大于10%,。精密玻璃溫度計(jì),測(cè)量范圍(0~50)℃,,不確定度U=0.04℃,,k=2。在結(jié)構(gòu)組成上,,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的;杭州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。蘇州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好
氦質(zhì)譜檢漏儀的日常維護(hù):1.定期檢查機(jī)械泵的油位,,如不足足應(yīng)及時(shí)添加;如果機(jī)械泵的油是棕色,、褐色或聞起來(lái)有糊狀的味道,,這意味著油已經(jīng)惡化了。此時(shí),,應(yīng)釋放泵中的油,,必要時(shí),先用新油沖洗,,然后注入新油,。2.定期清洗或更換機(jī)械泵的排氣管。如果排氣管中有大量油滴,,可以從氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器中取出,,然后清洗,然后用熱風(fēng)吹干或自然晾干,。使用氦質(zhì)譜檢漏儀常用的方法大體可分為三種,,即噴氦法(負(fù)壓法),正壓法,,氦罩法,。就幾種方法的靈敏度比較而言,,噴氦法的靈敏度高些。但是當(dāng)檢漏儀安裝在大型的,、比較復(fù)雜的壓力容器裝置上時(shí),,也不敢確切地說(shuō)噴氦法的靈敏度就是高。蘇州分體式氦質(zhì)譜檢漏儀哪家好