在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng),？①如果儀器不是每天都使用,，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài),，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間,。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏,，儀器可用于泄漏檢測(cè),。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上,，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除,、清潔或緊固，以免在泄漏檢測(cè)過程中干擾泄漏檢測(cè),。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵,。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生,。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí),，請(qǐng)注意儀器的操作,。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí),，儀器在操作過程中不能移動(dòng),。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測(cè)器移動(dòng),，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞,。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦檢儀造成不良影響,。氦質(zhì)譜檢漏儀不會(huì)受到主觀因素判斷的影響,。多功能氦質(zhì)譜檢漏儀原理

任何儀器在制作過程中難免會(huì)遇到密封不嚴(yán)的情況，某些不重要的設(shè)備中輕微的泄露沒有太大關(guān)系,，但是汽車管路作為汽車轉(zhuǎn)配中的重要零部件,，關(guān)系著車輛和乘員的安全。良好的密封才能決定儀器的正常使用,，所以檢漏十分重要!傳統(tǒng)的檢漏方法：如加壓水檢法,、壓差法、鹵素檢漏法,，在檢漏速度,、精度及環(huán)保性能上都有一定程度的缺陷，而氦檢漏技術(shù),，是集真空技術(shù),、計(jì)算機(jī)技術(shù)及質(zhì)譜技術(shù)為一體的應(yīng)用技術(shù)，為汽車空調(diào)兩器及管路提供專業(yè)的檢漏方案,。氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場(chǎng)應(yīng)用,，氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究,、鍍膜市場(chǎng)等,。檢漏時(shí)，如果用氦氣噴吹漏孔,，氦氣便通過漏孔進(jìn)入氦檢儀的質(zhì)譜室中,，使氦檢儀的測(cè)量?jī)x表立即靈敏地反應(yīng)出來，達(dá)到了檢漏的目的,。此款氦檢儀堅(jiān)固耐用,，抗震性能極強(qiáng),，可反復(fù)使用數(shù)年仍保證的檢漏漏率。氦檢儀緊湊的設(shè)計(jì)適合串列生產(chǎn)和持續(xù)工作,。上海國產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件。

氦檢儀常用的幾種檢漏方法有：氦質(zhì)譜檢漏方法較多,，根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類型,，一種是漏點(diǎn)型，另一種是漏率型,；在實(shí)際檢驗(yàn)過程中,，應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,，并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法,。測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見,如衛(wèi)星,、導(dǎo)彈彈體,、彈頭、輸氣管道,、氣罐,、油罐、鍋爐等,。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法,。噴氦法又叫噴吹法，較常用,、較方便的檢漏方法,。一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修,？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0,，即為分子泵不工作?？赡苁乔凹?jí)壓力過高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng),。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，分子泵出口是否打開,，機(jī)械泵油是否太臟,，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣,。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞,。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指示燈不亮,。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了,。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路,。3.分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置,，此時(shí)應(yīng)在N位置,。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常,，可能是分子泵電源故障,。請(qǐng)聯(lián)系制造商。4.氦泄漏檢測(cè)儀的燈絲不能正常啟動(dòng),。在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵處于正常工作狀態(tài)后,，如果燈絲仍不能發(fā)射離子流，則需要更換離子源,。如果燈絲指示燈閃爍,，請(qǐng)檢查航空插座和離子源端子是否開啟。如果開路,，請(qǐng)更換燈絲,。如果沒有，請(qǐng)檢查端子是否與其他連接器連接,，以消除短路,。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體,。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外,，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果,。蘇州氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)商家

檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀,，應(yīng)立即移去吸口,。多功能氦質(zhì)譜檢漏儀原理

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP,、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,，耗時(shí)耗力,；2、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。多功能氦質(zhì)譜檢漏儀原理