氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏,。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的,。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,,了解有哪些漏源,才能快,,準,,狠的完成檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的維護方法及常見故障的處理要求是什么,?浙江全自動氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護,?當發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,,放大器的各級工作電壓也符合標準要求,,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴重污染。這個時候,,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進行徹底的清洗,。具體的清洗方法如下:先用細的高標號金相砂紙小心細致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,,因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件,;然后用航空汽油和無水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈,;較后用烘箱或電吹風進行干燥,。整個清洗過程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊,、不能受熱,否則可能導致磁鐵退磁,,使氦檢儀的靈敏度降低,。如果操作正確,經(jīng)過清洗維護后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2~3倍,。紹興多功能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家敏度,、反應(yīng)時間、消除時間,、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標,。
氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:(1)便攜式:較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。(3)自動化程度高:自動校準氦峰,,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,,可外接打印機,。整機由微機控制,菜單選擇功能,,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程,。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,,達到無油蒸氣的效果,,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件,。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀,,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測氦氣,,而且能檢測其它氣體,。
氦檢儀機械泵故障及處理:1、機械泵不動作,,檢查項目有:氦檢儀電源電壓是否正常,,開關(guān)是否打開,繞組是否斷路或接地,,電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動),。2、機械泵聲音異常,,檢查油位是否合適,,油質(zhì)是否變壞,油溫是否<10℃,,油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出,,更換油霧過濾器)。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理:1,、燈絲無法正常啟動,,在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,,則需要更換離子源。若燈絲指示燈閃爍,,檢查離子源航空插座與接線柱是否開路,,若開路,需要更換燈絲,,若不開路,,檢查其接線柱與其他接頭是否導通,,消除短路現(xiàn)象。2,、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,,需要考慮放大器是否故障。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決,,只需對故障進行定位,,交由維修處理。氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲,。
氦質(zhì)譜檢漏儀特點:1.檢測時間和周期非常短,,可以達到5s以內(nèi);2.檢測的介質(zhì)比較常用,,只需壓縮空氣即可,;3.不會受到主觀因素判斷的影響;4.檢測的數(shù)據(jù)精確,;5.自動生成數(shù)據(jù)保存,,可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法,,含有渦輪分子泵,、內(nèi)置機械泵、外置機械泵,、光譜,、儀管、閥組,、檢漏儀電子元件和操作頁面,,以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,,例如,,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機,、火箭,、衛(wèi)星,、飛機等這些都要用到真空檢漏技術(shù),。氦檢儀是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器,。江蘇便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀的主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù),。浙江全自動氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做?1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時,,由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵,、前級機械泵組成,因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預(yù)抽真空,當真空度達到規(guī)定壓力后,,再進入真空系統(tǒng)部分,;被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理,以防止粉塵,、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng),。否則將直接污染真空系統(tǒng),甚至造成真空泵損壞,。因此,,對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,,還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),,以及電磁閥組的超聲清洗,此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護,,避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導致設(shè)備使用壽命縮短,。浙江全自動氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理