選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1,、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn),。為找到一個單個漏孔,，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w,，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W,。2、根據(jù)具體被檢對象,，所用方法簡便易行,，經(jīng)濟實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標準漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量,；（2）使用兩年以上建議更換標準漏孔,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。進口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),，電壓過低儀器啟動困難,，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源,，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,，應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運行過程中不能移動,。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦質(zhì)譜檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油,、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器,。靈敏度,、反應時間、消除時間,、工作真空度,、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。進口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項氦檢儀自動化程度高,；

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀,。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散,；另外,，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備,，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔,，則分析儀即有所反應,，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀,。關(guān)鍵部件均為進口,，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,，而且操作方便,，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零,、自動校準和自動量程切換,。

氦檢儀怎么選，這取決于客戶的需求：應用類型：(例如：生產(chǎn),，維護等)-干式/傳統(tǒng)的油泵?性能：(進入檢漏模式所需要的時間,，靈敏度，響應時間,，恢復時間,，初抽的能力),。重量以及大小。氦氦檢儀的性能衡量,，主要是通過以下參數(shù)：初抽的能力：(m3/h),，檢測允許的較大進氣口壓力：(mbar)，進入檢測模式所需要的時間：(s),，氦抽速：(l/s))靈敏度,，較低可測的氦信號：(mbar.l/s)，響應時間：(s),，恢復時間：(s),，初抽能力：將決定進入檢測模式的時間)將決定是否只使用氦檢儀進行檢測就可以(是否需要輔助泵)。檢測允許的較大進氣口壓力：〉將決定進入檢測模式所需要的時間,。進入檢測模式所需要的時間：是由初抽能力和檢測允許的較大壓力共同決定的,。其他可能會影響檢測時間的參數(shù)：腔體的脫氣以及非常大的泄漏。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴散檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項：1,、工件要保持清潔、干燥,。2,、對工件噴氦應按以下順序進行：①從上往下。②從靠近測試口到遠離測試口,。3,、噴氦時應經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4,、檢完工件,，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件,。5,、對同一工件，如有兩處以上漏點,，應排除Zda的漏點后,，再對其它地方檢漏。6,、裝工件時應使連接處密封好,，不能有漏。7,、檢漏間應通風良好,，避免氦氣濃度,，但應避免強通風。8,、氦氣屬貴重氣體,，應避免泄漏浪費。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內(nèi)的污漬用細砂紙打干凈,，清洗后再裝,。燈絲應正對電離盒電子入口，盡量靠近電離盒,，但不能短路,，三根引線間也不能相互短路。氦質(zhì)譜檢漏儀不會受到主觀因素判斷的影響,。常州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護,。進口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi)，電壓過低儀器啟動困難,，且性能不穩(wěn)定,，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,，應連接穩(wěn)壓電源(UPS),。②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,，若搬動氦檢儀,，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油,、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器,。④氦檢儀在運行了2000h后應對前級泵進行維修和保養(yǎng),，運行7000h分子泵進行維護和保養(yǎng)。進口氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項