氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達(dá)數(shù)百帕左右,，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動化程度高：自動校準(zhǔn)氦峰,，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換,，自動數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機。整機由微機控制,，菜單選擇功能,，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,，提供了有利條件,。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體,。金華移動式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴散,；另外，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備,，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上,，若容器有漏孔,，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀,。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠,。不只靈敏度高,，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換,、自動調(diào)零,、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。杭州無損氦質(zhì)譜檢漏儀價錢氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率,。

氦檢儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴散;另外,，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備,，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔,，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。影響氦檢儀靈敏度的因素包括實際檢測條件,、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面,。當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺,、電子束蒸發(fā)臺,、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時間,，耗時耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染,，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4,、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會失效,。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用,。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用,。

氦檢儀的組成部分有哪些？真空系統(tǒng),，儀器的真空系統(tǒng)提供質(zhì)譜正常工作所需要的真空條件,，不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。真空系統(tǒng)一般包括：1）主泵,。一般用擴散泵或渦輪分子泵,。極限壓力小于5×10-1Pa，其抽速應(yīng)與氣載匹配,。2）前級真空泵,。一般采用旋片式機械真空泵，在以分子示為主泵的系統(tǒng)中,，也有采用薄膜泵或干泵的,。抽速與主泵匹配。3）預(yù)抽真空泵,。一般與前級真空泵共同一個泵,，預(yù)抽真空泵一般采用旋片式機械真空泵，其抽速視被檢件大小而定,，因此預(yù)抽真空泵大都由用戶自配。氦檢儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。浙江小型氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,，通常指儀器的可檢漏率。金華移動式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理：一,、機械維護(hù),，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線,，則加入泵油,；如果變黑或渾濁，則更換泵,。使用方法見機械泵說明書,。二,、清洗，泄漏探測器沒有氦進(jìn)入,，但有一定的泄漏率指示,，長期存在。這主要是由于檢漏口,、波紋管,、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時又被釋放,，造成較大的底部,。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器,，將其拆下，用酒精浸泡清洗,。檢查泄漏,，用棉布擦拭波紋管。三,、以下是常見的故障現(xiàn)象,、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng),；2,、保險管熔斷。3,、重新接通電源,。4.更換相同規(guī)格的保險管。金華移動式氦質(zhì)譜檢漏儀廠家