氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項：1、工件要保持清潔,、干燥,。2、對工件噴氦應(yīng)按以下順序進行：①從上往下,。②從靠近測試口到遠離測試口,。3、噴氦時應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出,。4,、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件,。5,、對同一工件，如有兩處以上漏點,，應(yīng)排除Zda的漏點后,，再對其它地方檢漏。6,、裝工件時應(yīng)使連接處密封好,，不能有漏。7,、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好,，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強通風(fēng),。8,、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費,。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細砂紙打干凈,，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對電離盒電子入口,，盡量靠近電離盒,，但不能短路，三根引線間也不能相互短路,。氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。寧波移動式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應(yīng)速度快,、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天、原子能,、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中,，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命,。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的,，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用,。合肥多功能氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺,、電子束蒸發(fā)臺,、ICP、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會導(dǎo)致高真空達不到或需要大量的時間,，耗時耗力；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會對晶元造成污染,，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進行氦質(zhì)譜檢漏,；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。

氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,，其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大,，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少,！進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比）,，還有電氣參數(shù)的不同，電流相同,，漏率可能不同,；或漏率不同，電流相同,；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,，需要參照物，這個參照物就是標(biāo)準漏孔,。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng),；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護,。氦檢儀的撿漏方法有哪些,？

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏,，另一種為逆擴散檢漏,。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測,。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的,。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。對產(chǎn)品檢漏前首先要對工件的結(jié)構(gòu)和制造工業(yè)有所了解,，了解有哪些漏源,，才能快，準,，狠的完成檢漏,。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏。寧波無損氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀自動校準氦峰,，自動調(diào)節(jié)零點,，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機,。寧波移動式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時，產(chǎn)生測量誤差的主要來源主要包括幾個方面：一,、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,，標(biāo)準漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即,，標(biāo)準漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等，這會導(dǎo)致經(jīng)二者進入檢漏儀的氦氣量可比性差,。二,、進入被檢漏孔和標(biāo)準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差,。三,、所用標(biāo)準漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四,、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差,。寧波移動式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺多少錢