在氦質譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個階段都要考慮檢漏工作,,由于冶金、原子能,、電子,、宇航技術的發(fā)展,要求制造不同用途的高真空,、超高真空,,甚至極高真空設備。這些設備中的某些設備結構復雜,,內部有很多管道和傳動機構,,有的體積很大,達幾十立方米,,甚至數(shù)百立方米,,連接管道和內部管道的總長度可達幾公里,焊縫,、氦質譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長度可達數(shù)十公里,,必須投人很大力量對設備嚴格進行檢漏,所以且應該從設備開始設計時起就考慮檢漏問題,。如果等到進行安裝時再考慮檢漏間題就可能給氦質譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難,。不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。杭州多功能氦質譜檢漏儀單位
氦檢儀本底漏率值是什么?本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量,,由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,,5.24×10-6,也就是百萬分之五左右,,這說明正??諝猸h(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好,。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一,。只有在空氣中含量盡可能少的氣體,才能滿足檢漏靈敏度方面的要求,。在材料出氣中也很少,,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小.正因為本底小,,由某些原因引起本底的波動,,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,。本底高一般都是泄漏的原因,,建議檢查閥有沒有內漏,試試增加清掃氣體的壓力,,但是也不能過高,,因為會影響抽空效率。另外檢漏時切勿將大量的氦氣通進儀器,,避免本底太大,,難以清理。推車式氦質譜檢漏儀價格氦質譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。
氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法,?氦檢儀的實際應用方案很多,常用的三種檢漏方法有負壓法(抽真空),,正壓法(吸入法)和背壓法(壓氦法),,可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法,這是根據(jù)不同的檢測方式命名的,。采用什么方法要視被檢件的結構,、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質來決定。根據(jù)不同的檢漏目的,,常用基礎的有3種檢漏方法,。負壓法(噴氦法)。對被檢工件抽真空??蓪Ρ粰z工件外可疑漏點噴氦,,也可將工件罩起來對氦罩內噴氦??筛鶕?jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵,。可檢測工件的具體漏點和準確漏率,。檢測精度高,。適用行業(yè):鍍膜行業(yè),真空爐,,真空配件,,真空閥門,壓力容器,,真空系統(tǒng)等。
氦質譜檢漏儀檢漏注意事項:1,、工件要保持清潔,、干燥。2,、對工件噴氦應按以下順序進行:①從上往下,。②從靠近測試口到遠離測試口。3,、噴氦時應經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出,。4、檢完工件,,必須將“節(jié)流閥”關閉,,才能取工件。5,、對同一工件,,如有兩處以上漏點,應排除Zda的漏點后,,再對其它地方檢漏,。6、裝工件時應使連接處密封好,,不能有漏,。7、檢漏間應通風良好,,避免氦氣濃度,,但應避免強通風。8、氦氣屬貴重氣體,,應避免泄漏浪費,。氦質譜檢漏儀燈絲安裝時應先將離子源內的污漬用細砂紙打干凈,清洗后再裝,。燈絲應正對電離盒電子入口,,盡量靠近電離盒,但不能短路,,三根引線間也不能相互短路,。氦檢儀檢漏范圍寬:不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體,。
氦檢儀靈敏度高,、操作便捷、低維護,,使您放心得到準確可靠的測試結果,。產品普遍應用于科研院所、航空航天,、動力鋰電池,,閥門、精密儀表,、機械加工,、電力、半導體,、光伏,、真空鍍膜、真空熱處理等,。氦檢儀關鍵部件均為進口,,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,,而且操作方便,,能夠雙燈絲自動切換、自動調零,、自動校準和自動量程切換,。氦檢儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質譜室的氦氣分子電離,,轟擊靶心產生電離,,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少,!進入質譜室氦氣分子的比例(分流比),,還有電氣參數(shù)的不同,,電流相同,漏率可能不同,;或漏率不同,,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對應的漏率是多少,,需要參照物,,這個參照物就是標準漏孔。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏,。金華移動式氦質譜檢漏儀費用
氦檢儀現(xiàn)已普遍應用于半導體設備檢漏,。杭州多功能氦質譜檢漏儀單位
氦質譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率,。記為qL.min,,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個大氣壓的純氦氣為示漏氣體,,進行動態(tài)檢漏時所能檢測出的漏孔漏率,。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件,。所謂“動態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣,。儀器的反應時間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號為儀器本底噪聲的兩倍時,,才能認定有漏氣訊號輸出,。所謂“漏孔漏率”是指一個大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側的漏氣速率,。儀器本底噪聲,,一般指在2min內輸出儀表的較大的波動量,能較方便地估計檢漏效果,。杭州多功能氦質譜檢漏儀單位