氦檢儀的組成部分有哪些,？真空系統(tǒng)：冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱,。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室,、檢漏口與擴(kuò)散泵之間，使三者被冷阱隔離,，冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,，保持質(zhì)譜室的清潔，并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空,。檢漏閥,。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī),。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來測量質(zhì)譜室中的壓力,。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔,。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,，用它來校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用

氦質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn),，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,，主要形成的原因包括：一,、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定,。二,、真空油脂、橡膠材料,、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣,，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應(yīng),，其表面污染時(shí)就更為嚴(yán)重,。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴(kuò)散,。四,、氦質(zhì)譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,，需要針對性的采取措施,，如減少采用有機(jī)材料,，不用磁放電規(guī)等。寧波無損氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,，可用儀器進(jìn)行自身檢漏,。

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器,。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏,、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。

氦質(zhì)譜檢漏儀在使用時(shí)需注意哪些問題？1,、氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際的檢漏靈敏度比理論計(jì)算值低,，一是由于所噴出的氦氣流是散開的,，故摻有一定數(shù)量的空氣,，使氦氣的濃度有所降低。二是噴出的氣流的方向不可能完全對準(zhǔn)漏孔的方向,，此外,、在凹缺處所存在的空氣會使得進(jìn)入漏孔的氦氣濃度降低。2,、檢漏次序：從被檢件物體的上方至下方,，由近處向遠(yuǎn)離檢漏儀處逐點(diǎn)進(jìn)行噴氦檢查。3,、檢出的大漏孔要經(jīng)修補(bǔ)后再去找小漏孔,。4、當(dāng)存在兩個(gè)相距很近的可疑的漏孔點(diǎn)時(shí),，應(yīng)先把一個(gè)點(diǎn)蓋住,，再對另一點(diǎn)進(jìn)行噴氦,。5、當(dāng)噴在某一點(diǎn)時(shí),，如果,，檢漏儀上的顯示有變化，其上升速度很慢且顯示值不穩(wěn)定表示鄰近其它地方有很大漏孔,。檢漏過程中,，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀,，應(yīng)立即移去吸口,。

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求,，如有些儀器沒有逆流檢漏功能,，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用,；流水線上要求一定的檢漏速度,，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求,。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,，如果檢漏要求的靈敏度較高,，就要認(rèn)真選擇,。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無油真空系統(tǒng)的氦檢儀,。（4）被檢件容積如果較大,，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩,。（5）如果被檢對象不固定，體積時(shí)大時(shí)小,，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低,，就要選擇功能較全，靈敏度較高,，檢漏范圍寬的氦檢儀,。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí),，就要選擇小型便攜式儀器,。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低,、操作是否建議,、維修是夠方便等方面的問題。氦檢儀整機(jī)由微機(jī)控制,，菜單選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。寧波移動式氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀的型號較多,，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用

氦檢儀漏率的校準(zhǔn)方法：一,、環(huán)境條件,，校準(zhǔn)環(huán)境溫度為(23±5)℃，校準(zhǔn)過程中室溫變化不超過±1℃,，環(huán)境相對濕度不大于80%,。校準(zhǔn)設(shè)備周圍應(yīng)無明顯的溫差、氣流和強(qiáng)電磁場等外部干擾,。環(huán)境溫度較好控制在23℃附近，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)漏孔的出廠標(biāo)稱漏率對應(yīng)的環(huán)境溫度一般為23℃,。二,、標(biāo)準(zhǔn)器的選擇，標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,，漏率標(biāo)稱值在(10-6～10-10)Pa·m3/s,，不確定度不大于10%。精密玻璃溫度計(jì),，測量范圍(0～50)℃,，不確定度U=0.04℃，k=2,。上海自動氦質(zhì)譜檢漏儀費(fèi)用