氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng)：1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測試,，測試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測試結(jié)果的真實(shí)性,。3.因氦比空氣輕,，因此要注意檢漏的順序，檢查順序應(yīng)依照由下而上,，由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行,。4.檢漏過程中，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,，應(yīng)立即移去吸口,，防止因儀器長時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)?？蒲袉挝?、真空制造、真空鍍膜,、航空航天,、核工業(yè)、電力、電子元器件,、汽車及制冷,、低溫容器、閥門,、儀器儀表,、聚酯等行業(yè)。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),。杭州智能氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP,、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對晶元造成污染，對半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4,、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效,。綜上所述,，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。浙江臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀原理氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)：1.檢測時(shí)間和周期非常短,，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用,，只需壓縮空氣即可,；3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確,；5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存,，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法,，含有渦輪分子泵,、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵,、光譜,、儀管、閥組,、檢漏儀電子元件和操作頁面,，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用,，例如,，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī),、火箭,、衛(wèi)星、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù),。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高,，而且便于攜帶,，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便,。（2）高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益,。（3）自動(dòng)化程度高：自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn)，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換,，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī)。整機(jī)由微機(jī)控制,，菜單選擇功能,，一個(gè)按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀,，可采用干式泵,，達(dá)到無油蒸氣的效果,，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件,。掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。

氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn),，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號(hào),，而對其他氣體沒有反應(yīng),，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中,，一旦出現(xiàn)信號(hào),，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小,。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,，主要是因?yàn)楹べ|(zhì)量輕，易于穿過漏孔,，擴(kuò)散快,，對分析設(shè)備制造的要求相對簡單；同時(shí)氦氣在空氣中含量少,，本底壓力小,，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等,，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件,。掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。南京客制化氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。杭州智能氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家

使用氦檢儀需注意哪些問題？響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間不應(yīng)大于3s,。氦檢儀的響應(yīng)時(shí)間會(huì)影響檢漏工作的速度:檢漏時(shí)噴有在漏孔處停留的時(shí)間應(yīng)為儀器響應(yīng)時(shí)間的3倍,該時(shí)間再加上氦氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時(shí)間,即為兩次噴氦的較小間隔時(shí)間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時(shí)間也越長,。根據(jù)經(jīng)驗(yàn),兩次噴氦的較小間隔時(shí)間控制在30s,如果第1次噴氦后30s內(nèi)氦檢儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行第二次噴氦。儀器的清理時(shí)間在理論上與響應(yīng)時(shí)間相同,但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響,清理時(shí)間一般要更長些,。另外,噴氦量的多少也影響清理時(shí)間的長短,噴氦時(shí)噴頭移動(dòng)速率合理,可以縮短儀器的清理時(shí)間,提高檢漏效率,。杭州智能氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家