氦檢儀產(chǎn)生測量誤差主要包括哪幾個方面,？第1，當氦質(zhì)譜泄漏檢測器校準靈敏度時,，標準泄漏的位置與檢測泄漏的位置不同,，即標準泄漏與檢測泄漏檢測器之間的距離太大，在途中泄漏氦的損失不相等,，導致進入檢測泄漏檢測器的氦量可比性差,。第二，進入被檢漏孔和標準漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,，或者不能準確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導致無法換算,，這時也會產(chǎn)生漏率測量誤差。第三,，所用標準漏孔的標稱漏率有誤差,。第四，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差,。第五,，校準靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時，所用標準漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同,。第六,，氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。氦檢儀在電廠檢漏領(lǐng)域被普遍使用。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價錢

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做,？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時,，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成,，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空,，當真空度達到規(guī)定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分,；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理,，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng),。否則將直接污染真空系統(tǒng),，甚至造成真空泵損壞。因此,，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要,。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外,，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗,，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護,，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導致設(shè)備使用壽命縮短。浙江全自動氦質(zhì)譜檢漏儀價錢氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進行檢漏,。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過漏孔并易擴散；另外,，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點,，達到了細檢漏的目的。

氦檢儀機械泵故障及處理：1,、機械泵不動作,，檢查項目有：氦檢儀電源電壓是否正常，開關(guān)是否打開,，繞組是否斷路或接地,，電機是否過熱(泵冷卻后是否能啟動)。2,、機械泵聲音異常,，檢查油位是否合適，油質(zhì)是否變壞,，油溫是否<10℃,，油霧過濾器的出口有無氣體排出(如果無氣體排出，更換油霧過濾器),。氦檢儀質(zhì)譜室故障及處理：1,、燈絲無法正常啟動，在確認機械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)后,，若燈絲仍無法發(fā)射離子流,，則需要更換離子源,。若燈絲指示燈閃爍,，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路,，需要更換燈絲,，若不開路，檢查其接線柱與其他接頭是否導通,，消除短路現(xiàn)象,。2、本底信號處于雜亂無章的波動狀態(tài)且大小遠遠超過氦檢儀故障自身的本底噪聲,，需要考慮放大器是否故障,。質(zhì)譜室出現(xiàn)故障一般用戶無法解決，只需對故障進行定位,，交由維修處理,。氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器。

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測氣體電離,，再利用電磁場將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測,從中檢測出事先安排的示蹤氦離子,，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng)、質(zhì)譜室和電子學控制單元,。氦檢儀內(nèi)部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空,。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源,、聚焦,、質(zhì)量分析器和測量部分。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級真空部分,，分子泵對不同的氣體具有不同的壓縮比特性,，氦氣的壓縮比很小，可以逆著分子泵的抽氣方向流動進入質(zhì)譜室,。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達收集極，產(chǎn)生一個正比于離子數(shù)量的電流信號,，該信號經(jīng)過放大和處理即為泄漏率,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。常州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個牌子好

氦檢儀為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,，提供了有利條件,。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價錢

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器,。由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場,，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測,。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法,。無錫氦質(zhì)譜檢漏儀價錢