氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定,，電壓過高會(huì)燒壞電源,，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS),。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng),。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中，若搬動(dòng)檢漏儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞,。③氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng),、更換過濾器,。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間,、消除時(shí)間,、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo),。檢漏過程中,，如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人氦質(zhì)譜檢漏儀，應(yīng)立即移去吸口,。臺(tái)州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦檢儀開機(jī)如何操作,？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,，開抽速閥，開漏孔開關(guān),，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置,，再關(guān)抽速閥。2,、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱,。3,、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,，開冷規(guī)開關(guān),，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4,、開抽速閥,，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右,，再從右向左逐漸上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長時(shí)間開冷規(guī),，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后,，可啟動(dòng)燈絲,，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開,、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后,，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間,，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完,，關(guān)節(jié)流閥,。浙江氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。

氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì),，其基本原理是根據(jù)離子在磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)時(shí),，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室,、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空,，當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時(shí),，打開入口閥1、2,，關(guān)閉抽空閥,，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測(cè)出來，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s,。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空,，當(dāng)P1降至20Pa時(shí)，入口閥2關(guān)閉,，入口閥3打開,，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短,，此時(shí)檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s,。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測(cè)靈敏度高、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器,、航空航天、原子能,、發(fā)電廠,、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中,，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象,，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的,，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種,，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測(cè)技術(shù)中的重要應(yīng)用,。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。

氦檢儀因具備檢測(cè)靈敏度高,、反應(yīng)速度快,、定位定量準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)而被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天,、原子能,、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域,。氦檢儀在使用過程中,，往往會(huì)因?yàn)楫a(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進(jìn)度,，若對(duì)其置之不理還會(huì)危及氦檢儀的使用壽命,。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時(shí)解決或避免的，掌握和了解氦檢儀常見故障的維修技術(shù),，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng),。氦檢儀熱管檢漏：熱管需要檢漏原因：熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強(qiáng)熱傳導(dǎo)性能，如果熱管本身存在漏點(diǎn),，首先會(huì)影響熱管的導(dǎo)熱性能,；其次由于熱管都是安裝在設(shè)備內(nèi)部，如果發(fā)生泄漏,，里面封裝的液體就會(huì)流出,，嚴(yán)重污染和影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，所以熱管生產(chǎn)企業(yè),，都會(huì)采用氦檢儀對(duì)熱管進(jìn)行檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少？無錫模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀

為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲,，需要針對(duì)性的采取措施,。臺(tái)州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散,；另外,，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小,。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣,，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn),，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。臺(tái)州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀