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分類(lèi)激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:?jiǎn)晤l激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),,**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計(jì)量室中精密測(cè)長(zhǎng),。它對(duì)環(huán)境要求較高,,周?chē)髿庑杼幱诜€(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響,。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,,適宜在車(chē)間中使用。它應(yīng)用頻率變化來(lái)測(cè)量位移,,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,因此抗干擾能力強(qiáng),。雙頻激光干涉儀常用于檢定測(cè)長(zhǎng)機(jī),、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,,也可用作測(cè)長(zhǎng)機(jī),、高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等的測(cè)量系統(tǒng)。三,、應(yīng)用雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,。太倉(cāng)本地雙頻激光干涉儀維保
實(shí)時(shí)測(cè)量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集,適合動(dòng)態(tài)測(cè)量,。廣泛應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量,、精密制造等領(lǐng)域,。工作原理:雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開(kāi)后,,經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并,,形成干涉條紋。通過(guò)分析干涉條紋的變化,,可以得到被測(cè)物體的位移信息,。結(jié)論:雙頻激光干涉儀是一種高精度、高靈敏度的測(cè)量工具,,適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用,。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測(cè)量精度將不斷提高,。蘇州直銷(xiāo)雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家由于其高精度和高靈敏度,,激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位,。
雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測(cè)量的儀器。它通常用于高精度的位移,、振動(dòng),、形變等物理量的測(cè)量。雙頻激光干涉儀的工作原理基于光的干涉現(xiàn)象,,即當(dāng)兩束相干光相遇時(shí),,會(huì)產(chǎn)生干涉條紋,條紋的變化可以用來(lái)精確測(cè)量物體的位移或其他物理量,。主要特點(diǎn)和應(yīng)用:高精度:雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度,,適用于微小位移的檢測(cè)??垢蓴_能力強(qiáng):由于使用了兩種不同頻率的激光,,干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng)。
干涉儀是一種使用干涉測(cè)量技術(shù)的光學(xué)計(jì)量?jī)x器,,其思想在于利用波的疊加性來(lái)獲取波的相位信息,,從而獲得實(shí)驗(yàn)所關(guān)心的物理量。以下是對(duì)干涉儀的詳細(xì)介紹:一,、基本原理具有固定相位差的兩列準(zhǔn)單色波的疊加將導(dǎo)致振幅發(fā)生變化,,從而可以通過(guò)測(cè)量較容易測(cè)量的振幅來(lái)獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴(lài)于相位差的余弦函數(shù),,這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋,,即干涉條紋?;緲?gòu)成干涉儀一般由光源,、分束器、反射鏡,、干涉屏(或檢測(cè)器)等組成,。光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)分束器被分成兩束,分別經(jīng)由反射鏡反射回來(lái),,并在干涉屏(或檢測(cè)器)上產(chǎn)生干涉圖樣,。其中,各元件的功能如下:激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義,。
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器,。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,,量桿,,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等,。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度,、角度.直線度、平行度,、平面度,、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等,。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長(zhǎng)度很大,,干涉儀的測(cè)量范圍可以擴(kuò)展,;太倉(cāng)本地雙頻激光干涉儀維保
雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測(cè)量的儀器。太倉(cāng)本地雙頻激光干涉儀維保
雙頻激光干涉儀激光干涉儀在氦氖激光器上,,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng),。由于塞曼分裂效應(yīng)和頻率牽引效應(yīng), 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路,。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為*含有f1的光束,另一路成為*含有f2的光束,。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,,Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應(yīng)產(chǎn)生的附加頻率,正負(fù)號(hào)表示移動(dòng)方向(多普勒效應(yīng)是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運(yùn)動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生變化),。太倉(cāng)本地雙頻激光干涉儀維保
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