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江蘇本地雙頻激光干涉儀維保

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-16

這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì)合成為f1-(f2±Δf)的測量光束,。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉(zhuǎn)換元件,、放大器,、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號(hào),。經(jīng)可逆計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)后,由電子計(jì)算機(jī)進(jìn)行當(dāng)量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量,。雙頻激光干涉儀是應(yīng)用頻率變化來測量位移的,,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,,所以抗干擾能力強(qiáng),。它常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī),、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng),。利用相應(yīng)附件,,還可進(jìn)行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量,。實(shí)時(shí)測量:可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集,,適合動(dòng)態(tài)測量。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保

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非接觸式測量:激光干涉儀可以不接觸物體表面就測量其形狀,,這對(duì)于測量易碎或精細(xì)的物體非常有用,。多功能性:激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度,、角度、真平度,、真直度,、平行度和垂直度等測量工作??垢蓴_能力強(qiáng):雙頻激光干涉儀對(duì)由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,,因此抗干擾能力強(qiáng)。五,、注意事項(xiàng)與維護(hù)注意事項(xiàng):儀器應(yīng)放置在干燥,、清潔以及無振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。在移動(dòng)儀器時(shí),,應(yīng)托住底座以防止導(dǎo)軌變形,。光學(xué)零件在不用時(shí),,應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放以防止發(fā)霉。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義,。

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另一方面,,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào),,而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào),。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來說,,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,,即使光強(qiáng)衰減90%,,依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測長度進(jìn)行度量的儀器,。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度,、直線度、平面度,、振動(dòng)距離及速度等等

邁克爾遜干涉儀,,是1881年美國物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來的精密光學(xué)儀器,。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉,。通過調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋,。主要用于長度和折射率的測量,若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,,便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2,,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,,如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用,。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀,。 [1]激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制),,頻率分別為f1和f2。

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三角運(yùn)算給出其中疊加后的振幅為可以看到,, 疊加后的振幅與兩列波的初始相位差有關(guān),。 由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數(shù),, 這種幅度的變化有時(shí)候在空間表現(xiàn)為周期性的條紋。 這種條紋有時(shí)候叫做干涉條紋,, 由于相位差變化引起的幅度變化有時(shí)也稱為條紋移動(dòng),。分類干涉儀的分類有不同分法按照結(jié)構(gòu)區(qū)分干涉儀可以分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀兩類, 其差異在于干涉的波是否通過同一路徑傳播,。 例如邁克爾遜干涉儀就是常見的多路徑干涉儀,, 而Sagnac干涉儀, 等傾干涉和等厚干涉等即為單路徑干涉儀(鐘錫華,, 陳熙謀,, 2002) [3]。測量精度不受空氣湍流的影響,,無需預(yù)熱時(shí)間,。工業(yè)園區(qū)購買雙頻激光干涉儀性價(jià)比

即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào),。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保

激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義,。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長度很大,,干涉儀的測量范圍可以**的擴(kuò)展,;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,,變?yōu)殡娪嵦?hào),并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來,,從而提高了測量速度和測量精度,,比如說我國自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢,,精度達(dá)到±0.2μm,,這就是激光干涉儀的成功例證。江蘇本地雙頻激光干涉儀維保

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