激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。它通過(guò)將激光束分成兩部分，分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,，形成干涉圖樣,，從而可以精確測(cè)量光程差、位移,、厚度等物理量,。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個(gè)步驟：激光發(fā)射：激光器發(fā)出單色光束。光束分割：通過(guò)分束器將激光束分成兩部分,，通常稱(chēng)為參考光束和測(cè)量光束,。光程傳播：參考光束和測(cè)量光束分別經(jīng)過(guò)不同的路徑，可能會(huì)經(jīng)過(guò)被測(cè)物體或介質(zhì),。光束合并：兩束光在分束器后重新合并,，形成干涉圖樣。光纖干涉儀：利用光纖中的光波干涉現(xiàn)象,，廣泛應(yīng)用于傳感器,、通信等領(lǐng)域。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義,。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,，由于它的相干長(zhǎng)度很大，干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展,；而且由于它的光束發(fā)散角小,，能量集中，因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,，變?yōu)殡娪嵦?hào),，并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái)，從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度,，比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀,，可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢，精度達(dá)到±0.2μm,，這就是激光干涉儀的成功例證,。蘇州本地雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端,。

反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,，它們經(jīng)反射后回到G1（左）的半透半反射膜處，再分別經(jīng)過(guò)透射和反射后,，來(lái)到觀察區(qū)域E,。G2（右）為補(bǔ)償板，它與G1為相同材料,，有相同的厚度,，且平行安裝,，目的是要使參加干涉的兩光束經(jīng)過(guò)玻璃板的次數(shù)相等，兩束光在到達(dá)觀察區(qū)域E時(shí)沒(méi)有因玻璃介質(zhì)而引入額外的光程差,。當(dāng)M2和M1'嚴(yán)格平行時(shí),，表現(xiàn)為等傾干涉的圓環(huán)形條紋，移動(dòng)M2時(shí),會(huì)不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進(jìn)”圓環(huán),。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時(shí),，中心就會(huì)“吐出”一個(gè)個(gè)條紋；反之則“吞進(jìn)”,。M2和M1'不嚴(yán)格平行時(shí),，則表現(xiàn)為等厚干涉條紋，移動(dòng)M2時(shí),，條紋不斷移過(guò)視場(chǎng)中某一標(biāo)記位置,，M2平移距離 d 與條紋移動(dòng)數(shù) N 的關(guān)系滿足：d=Nλ/2，λ為入射光波長(zhǎng),。

但是這種單頻的激光儀并非完美，它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,，在測(cè)試環(huán)境惡劣,，測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí)，這一缺點(diǎn)十分突出,。其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng),，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí),，光電接收器會(huì)輸出信號(hào),，如果信號(hào)超過(guò)了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會(huì)被記錄下來(lái)，而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,，就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),，使激光器強(qiáng)度或干涉信號(hào)強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流，機(jī)床油霧,，切削屑對(duì)光束的影響,，結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲。雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測(cè)量的儀器,。

（3）數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 現(xiàn)在,，利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,，以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,，其精度達(dá)±1。新的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù),。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,，而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,，知曉其精度的每一細(xì)節(jié)，并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果,。（4）雙軸定位精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 雷尼紹雙激光干涉儀系統(tǒng)可同步測(cè)量大型龍門(mén)移動(dòng)式數(shù)控機(jī)床,，由雙伺服驅(qū)動(dòng)某一軸向運(yùn)動(dòng)的定位精度，而且還能通過(guò)RS232接口,，自動(dòng)對(duì)兩軸線性誤差分別進(jìn)行補(bǔ)償,。由于其高精度和高靈敏度，激光干涉儀在科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要的地位,。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

干涉圖樣分析：通過(guò)觀察干涉條紋的變化,，可以獲取關(guān)于物體形狀、厚度等信息,。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

實(shí)時(shí)測(cè)量：可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和數(shù)據(jù)采集,，適合動(dòng)態(tài)測(cè)量。廣泛應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、機(jī)械工程,、光學(xué)測(cè)量、精密制造等領(lǐng)域,。工作原理：雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象,。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開(kāi)后，經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并,，形成干涉條紋,。通過(guò)分析干涉條紋的變化，可以得到被測(cè)物體的位移信息,。結(jié)論：雙頻激光干涉儀是一種高精度,、高靈敏度的測(cè)量工具，適用于各種科學(xué)研究和工業(yè)應(yīng)用,。隨著激光技術(shù)和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展,，雙頻激光干涉儀的應(yīng)用范圍和測(cè)量精度將不斷提高。常熟耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

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