芯片研發(fā)制造過(guò)程鏈條漫長(zhǎng)，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測(cè)以確保良率,，降低生產(chǎn)成本,。提高制造控制工藝，并通過(guò)不斷研發(fā)迭代和測(cè)試,，才能制造性能更優(yōu)異的芯片,，走向市場(chǎng)并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小,，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力,，傳統(tǒng)測(cè)試方法難以獲取,；高精度三維顯微應(yīng)變測(cè)量技術(shù)的發(fā)展,，打破了原先在微觀尺寸測(cè)量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料,、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測(cè)量條件下,，三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)分析尤為重要,。 典型的DIC測(cè)量系統(tǒng)一般由CCD攝像機(jī),、照明光源、圖像采集卡及計(jì)算機(jī)組成,。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量

    公路變形監(jiān)測(cè)是確保公路安全與維護(hù)的重要環(huán)節(jié),，但傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法在面對(duì)大范圍、復(fù)雜環(huán)境和高技術(shù)要求時(shí),，往往顯得力不從心,。幸運(yùn)的是，隨著科技的進(jìn)步,，我們現(xiàn)在有了GNSS技術(shù)這一強(qiáng)大的工具來(lái)應(yīng)對(duì)這些挑戰(zhàn),。GNSS,，即全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng)，它通過(guò)接收來(lái)自多顆衛(wèi)星的信號(hào)進(jìn)行高精度定位,。與傳統(tǒng)的監(jiān)測(cè)方法相比,，GNSS技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢(shì)。它不需要通視,，能夠24小時(shí)不間斷地工作,，并且在很大程度上節(jié)省了人力，提高了監(jiān)測(cè)的自動(dòng)化水平,。研究表明,，在水平位移觀測(cè)中，GNSS技術(shù)能夠精確到2厘米以內(nèi)的位移矢量,。這意味著即使是微小的公路變形也難逃其“法眼”,。這種高精度的監(jiān)測(cè)能力為公路維護(hù)和管理提供了寶貴的數(shù)據(jù)支持，有助于及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并采取相應(yīng)的措施,。此外,，在高程測(cè)量方面，GNSS技術(shù)同樣表現(xiàn)出色,，其精度可以控制在10厘米以內(nèi),。這一精度水平完全滿足公路監(jiān)測(cè)的要求，進(jìn)一步證實(shí)了GNSS技術(shù)在公路監(jiān)測(cè)領(lǐng)域的應(yīng)用價(jià)值,?？傊珿NSS技術(shù)以其高精度,、高自動(dòng)化和全天候工作的特點(diǎn),，為公路變形監(jiān)測(cè)帶來(lái)了改變性的變革。它不只提高了監(jiān)測(cè)效率,，而且為公路的安全和維護(hù)提供了更為可靠的技術(shù)保障,。 貴州三維全場(chǎng)數(shù)字圖像相關(guān)測(cè)量系統(tǒng)光學(xué)應(yīng)變技術(shù)不受環(huán)境、電磁干擾影響,，提供可靠,、穩(wěn)定的應(yīng)變測(cè)量結(jié)果。

    金屬應(yīng)變計(jì)是一種用于測(cè)量物體應(yīng)變的裝置,，其實(shí)際應(yīng)變計(jì)因子可以從傳感器制造商或相關(guān)文檔中獲取,，通常約為2。由于應(yīng)變測(cè)量通常很小,，只有幾個(gè)毫應(yīng)變（10?3）,，因此需要精確測(cè)量電阻的微小變化。例如,，當(dāng)測(cè)試樣本的實(shí)際應(yīng)變?yōu)?00毫應(yīng)變時(shí),，應(yīng)變計(jì)因子為2的應(yīng)變計(jì)可以檢測(cè)到電阻變化為2(50010??)=,。對(duì)于120Ω的應(yīng)變計(jì)，變化值只為Ω,。為了測(cè)量如此小的電阻變化,，應(yīng)變計(jì)采用基于惠斯通電橋的配置概念?；菟雇姌蛴伤膫€(gè)相互連接的電阻臂和激勵(lì)電壓VEX組成,。當(dāng)應(yīng)變計(jì)與被測(cè)物體一起安裝在電橋的一個(gè)臂上時(shí)，應(yīng)變計(jì)的電阻值會(huì)隨著應(yīng)變的變化而發(fā)生微小的變化,。這個(gè)微小的變化會(huì)導(dǎo)致電橋的電壓輸出發(fā)生變化,，從而可以通過(guò)測(cè)量輸出電壓的變化來(lái)計(jì)算應(yīng)變的大小。除了傳統(tǒng)的應(yīng)變測(cè)量方法外,，光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量技術(shù)也越來(lái)越受到關(guān)注,。這種技術(shù)利用光學(xué)原理來(lái)測(cè)量材料的應(yīng)變，具有非接觸,、高精度和高靈敏度等優(yōu)點(diǎn),。它能夠通常使用光纖光柵傳感器或激光干涉儀等設(shè)備來(lái)測(cè)量材料表面的位移或形變，從而間接計(jì)算出應(yīng)變的大小,。這種新興的測(cè)量技術(shù)為應(yīng)變測(cè)量帶來(lái)了新的可能性,，并在許多領(lǐng)域中得到了普遍應(yīng)用。

電子散斑干涉技術(shù)特點(diǎn)：技術(shù)優(yōu)勢(shì)納米級(jí)位移靈敏度全場(chǎng)實(shí)時(shí)測(cè)量能力對(duì)振動(dòng)不敏感可測(cè)微小變形系統(tǒng)配置要點(diǎn)激光光源穩(wěn)定性<0.5%防振光學(xué)平臺(tái)相移裝置精度λ/100溫控環(huán)境建議±1℃典型應(yīng)用場(chǎng)景微電子器件熱變形MEMS器件測(cè)試薄膜殘余應(yīng)力分析微納尺度力學(xué)行為,，系統(tǒng)集成解決方案與力學(xué)測(cè)試設(shè)備聯(lián)用原位加載系統(tǒng)同步控制多物理場(chǎng)數(shù)據(jù)融合實(shí)時(shí)應(yīng)變反饋系統(tǒng)異構(gòu)圖譜數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)特殊環(huán)境集成(1)高溫環(huán)境：耐高溫鏡頭保護(hù)熱輻射校正算法藍(lán)光照明方案(2)真空環(huán)境：光學(xué)窗口長(zhǎng)距顯微配置防污染設(shè)計(jì)(3)液體環(huán)境：防水觀測(cè)窗折射率補(bǔ)償懸浮粒子示蹤,。三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)通過(guò)測(cè)量物體表面上的位移或形變信息，可以推斷出物體在空間中各個(gè)方向上的應(yīng)變狀態(tài),。

    在橋梁靜動(dòng)載試驗(yàn)時(shí),，如何減小應(yīng)變測(cè)試中的各種干擾因素，提高檢測(cè)效率和測(cè)量數(shù)據(jù)的可信度,，是長(zhǎng)期以來(lái)工程師們一直在苦苦探索的問(wèn)題,。經(jīng)過(guò)多年的技術(shù)攻關(guān)，終于研發(fā)成功了一種可裝配式多用途應(yīng)變測(cè)量傳感器,，成功地應(yīng)用在了多座橋梁的靜動(dòng)載試驗(yàn)中,，有效解決了橋梁靜動(dòng)載試驗(yàn)中應(yīng)變測(cè)量時(shí)遇到的一系列問(wèn)題，特別是惡劣環(huán)境下的應(yīng)變測(cè)試問(wèn)題,。應(yīng)變片由兩個(gè)相同的敏感柵重疊配置,，可以抵消所產(chǎn)生的電磁感應(yīng)噪聲,。導(dǎo)線采用絞合線,，同樣可以抵消感應(yīng)噪聲，因此該應(yīng)變片不易受交變磁場(chǎng)的影響,。 三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)采用可移動(dòng)式非接觸測(cè)量頭,，可以方便地整合應(yīng)用到靜態(tài),、動(dòng)態(tài)、高速和高溫等測(cè)量環(huán)境中,。福建三維全場(chǎng)數(shù)字圖像相關(guān)技術(shù)應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)

數(shù)字圖像相關(guān)法（DIC）：通過(guò)捕捉物體表面的圖像,，并利用圖像處理算法計(jì)算物體表面的位移和應(yīng)變情況。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量

   對(duì)鋼材性能的應(yīng)變測(cè)量主要是檢查裂紋,、孔,、夾渣等，對(duì)焊縫主要是檢查夾渣,、氣泡,、咬邊、燒穿,、漏焊,、未焊透及焊腳尺寸不夠等，對(duì)鉚釘或螺栓主要是檢查漏焊,、漏檢,、錯(cuò)位、燒穿,、漏焊,、未焊透及焊腳尺寸等。檢驗(yàn)方法主要有外觀檢驗(yàn),、X射線,、超聲波、磁粉,、滲透性等,。超聲波在金屬材料測(cè)量中對(duì)頻率要求高，功率不需要過(guò)大,，因此測(cè)量靈敏度高,，測(cè)試精度高。超聲測(cè)量一般采用縱波測(cè)量和橫波測(cè)量（主要用來(lái)測(cè)量焊縫）,。用超聲來(lái)檢查鋼結(jié)構(gòu)時(shí),，要求測(cè)量點(diǎn)的平整度、光滑,。云南全場(chǎng)三維非接觸測(cè)量