隨著厚度的不斷減薄,,晶圓會變得更為脆弱,,因此機械劃片的破片率大幅增加,,而此階段晶圓價格昂貴,,百分之幾的破片率就足以使利潤全無,。另外,,當成品晶圓覆蓋金屬薄層時,,問題會變得更加復雜,,金屬碎屑會包裹在金剛石刀刃上,,使切割能力大下降,,嚴重的會有造成破片、碎刀的后果崩邊現(xiàn)象會更明顯,,尤其是交叉部分破損更為嚴重,。當機械劃片遇到無法克服的困難時,人們自然想到用激光來劃片,。激光劃片可進行橢圓等異形線型的劃切,,也允許晶圓以更為合理的方式排列,,可在同樣大的晶圓上排列更多的晶粒,使有效晶粒數(shù)量增加無錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設備值得信賴,。加工超快激光玻璃晶圓切割設備應用范圍超快激光玻璃晶圓切割設備硅晶圓是一種極...