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氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟：1,、調(diào)氦峰方法：開漏孔開關(guān),，單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”，使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個(gè)Zda值,，然后關(guān)漏孔開關(guān),，如表頭指示值變小,，說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號(hào)，即找到氦峰,；如表頭指示值不變,，說明不是氦峰，則繼續(xù)調(diào)“V”,，直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間),。2,、調(diào)氦峰分辨不好：①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差,。3,、調(diào)氦峰信號(hào)小：①燈絲沒正對(duì)電離盒上的電子入口,。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn),。③分辨不好。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。浙江智能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)主要考慮以下問題：...

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器,。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局,，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率,、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),。嘉興便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率,。氦質(zhì)...

在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作,，由于冶金、原子能,、電子,、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空,、超高真空,，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu),，有的體積很大,，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米,，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里,，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里,，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏,，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難,。噴氦法,、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。蘇州真空氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦質(zhì)譜檢漏儀...

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)：1.如果儀器不是每天使用,，建議每周開機(jī)檢查一下,，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件（如離子源）后,，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏,，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏,，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊,，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵,。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）,。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上,，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,，其存放和使用環(huán)境要保持干凈,、衛(wèi)生。氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少,？嘉興真空氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢選擇氦質(zhì)譜...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP,、PECVD等設(shè)備,。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力,；2,、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏,；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后,，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4、芯片封裝,，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效。...

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐,、鍍膜系統(tǒng),、壓力容器、超高真空工程,。高能物理：加速器,、束線、同步輻射光源,?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置,、微電子,、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備,、氣路,、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件,、封裝,。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào),、管路,。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器,、航天器,、管路。電廠：管道,、蒸汽發(fā)生器,、熱交換器、冷凝器,。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器,。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比,，具有檢測(cè)靈敏度高,、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒,、無破壞性,、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠,。為防止油污,、粉塵和...

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高,，簡(jiǎn)便易操作,，儀器反應(yīng)靈敏，精度高,，不易受其他氣體的干擾,，在電阻爐檢漏中得到了普遍應(yīng)用。氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器,。由離子源、分析器,、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成,。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子,，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道,，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè),。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。氦...

氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用：無源器件檢漏原因：光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,，也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件,。具有高回波損耗、低插入損耗,、高可靠性等特點(diǎn),。光無源器件對(duì)密封性的要求極高，如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度,，光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,，因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,，定量漏點(diǎn),，替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏，目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏,。光無源器件檢漏方法：由于無源器件體積小,，且無法抽真空或直接充入氦氣，我們采用“背壓法”檢漏,，具體做法如下,。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐，壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定,。2...

氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修,？1.TMP(分子泵工作頻率)在儀器的顯示界面提示為0，即為分子泵不工作,?？赡苁乔凹?jí)壓力過高(分子泵啟動(dòng)壓力為200Pa)導(dǎo)致分子泵不能正常啟動(dòng)。2.檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題,，分子泵出口是否打開,，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn),，系統(tǒng)是否漏氣,。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn),。分子泵加速指示燈不亮,。電路板上的保險(xiǎn)絲被燒毀了。更換保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路,。3.分子泵故障燈亮,。檢查電路板設(shè)置開關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置,。檢查風(fēng)扇是否停止,。如果風(fēng)扇正常,，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商,。4.氦泄漏檢測(cè)儀的燈絲不能...

氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn),，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng),、零部件及元器件的檢漏,。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位,，因此具有可在高壓力下檢漏,、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn).適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏,，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3/s,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器,、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏,。溫州便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額...

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐,、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器,、超高真空工程,。高能物理：加速器、束線,、同步輻射光源,。科研領(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng),、試驗(yàn)裝置,、微電子、表面分析系統(tǒng),。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備,、氣路、氣路傳輸設(shè)備,、電子元器件、封裝,。汽車制冷：蒸發(fā)器,、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門,、核容器,。航空航天：空間模擬器、航天器,、管路,。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器,、熱交換器,、冷凝器。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器,。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法,、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測(cè)靈敏度高,、速度快和適用范圍寬,，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性,、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體,，所以安全可靠。氦檢儀不只靈敏度高...

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)檢漏方法的具體要求：1,、檢漏靈敏度高,，可以檢出很小的漏孔；2,、反應(yīng)時(shí)間短,，可以提高工作效率；3,、能定位,、定量，不但能夠找出漏孔的位置,，還能知道漏率的大小,，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4,、能無損檢漏,，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5,、穩(wěn)定性好,，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6,、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低,，無毒,，不腐蝕零件；7,、檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用,；8,、檢漏時(shí)潔凈無油，滿足一些特殊的要求,。氦檢儀的型號(hào)較多,，但基本結(jié)構(gòu)大同小異。浙江分體式氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)：1,、工件要保持清潔,、干燥。2,、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順...

氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥又名控制閥,，在現(xiàn)代化工廠的自動(dòng)控制中，調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用,，如果調(diào)節(jié)閥有漏,，將會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備運(yùn)行，進(jìn)而降低整體的生產(chǎn)效率,。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠,、生物制藥、化工等行業(yè),。調(diào)節(jié)閥檢漏,，閥門氣密性測(cè)試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣，如在被檢測(cè)處如閥桿等,，用氦檢儀正壓法檢測(cè),，正壓法檢測(cè)的精度可充分滿足氣密性檢測(cè)要求。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏,檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時(shí)需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...

氦檢儀噪聲是哪兒來的,？高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種,，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)就是本底噪聲,。實(shí)際上,，目前通過對(duì)電子線路的改進(jìn)，儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,，因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,，如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話，可以通過放大信號(hào)的辦法來提高信噪比來改善靈敏度,。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,，與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),，具體的包括：1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,，加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性,；2,、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出（如真空油脂、人造橡膠,、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦...

氦檢儀的工作原理：氦檢儀先在質(zhì)譜室中將采集的被測(cè)氣體電離,，再利用電磁場(chǎng)將不同荷質(zhì)比的離子加以分離檢測(cè),從中檢測(cè)出事先安排的示蹤氦離子，主要由三大組件構(gòu)成:真空系統(tǒng),、質(zhì)譜室和電子學(xué)控制單元,。氦檢儀內(nèi)部配有一臺(tái)旋片式真空泵,用以維持儀器內(nèi)部的高真空。質(zhì)譜室是氦檢儀的重點(diǎn)部分,，它包括離子源,、聚焦,、質(zhì)量分析器和測(cè)量部分,。質(zhì)譜室入口連接在渦輪分子泵的前級(jí)真空部分，分子泵對(duì)不同的氣體具有不同的壓縮比特性,，氦氣的壓縮比很小,，可以逆著分子泵的抽氣方向流動(dòng)進(jìn)入質(zhì)譜室。在質(zhì)譜室中氦氣被電離,，氦離子通過質(zhì)量分析器的篩選到達(dá)收集極,，產(chǎn)生一個(gè)正比于離子數(shù)量的電流信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過放大和處理即為泄漏率,。氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣...

便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn)：1,、性價(jià)比高：便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀，可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域,，競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,，大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì)，可縮短抽氣時(shí)間,，提高使用效率,；2、自我保護(hù)功能：在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能,，系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔,、真空，且不需要液氮,；3,、結(jié)構(gòu)靈活：可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買,，前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵，對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,，既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式,，也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。氦檢儀檢漏范圍寬：不只可檢測(cè)氦氣,，而且能檢測(cè)其它氣體,。江蘇推車式氦質(zhì)譜檢漏儀哪個(gè)牌子好氦檢儀中沒有手動(dòng)閥，現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)運(yùn)...

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會(huì)選擇氦氣作為主要的示漏氣體,？1,、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔,，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快,，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高,。2,、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng),。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子,、二階碳離子相差較大，利于離子分離,，可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個(gè)縫隙,，從而提高氦離子的傳輸率。3,、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少,，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小,，檢漏時(shí)本底信號(hào)小,。利用氦質(zhì)譜檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。蘇州多功能氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢一臺(tái)氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更...

氦質(zhì)譜檢漏儀對(duì)檢漏方法的具體要求：1,、檢漏靈敏度高,，可以檢出很小的漏孔,；2、反應(yīng)時(shí)間短,，可以提高工作效率,；3,、能定位,、定量,，不但能夠找出漏孔的位置,，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求,；4,、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染,；5、穩(wěn)定性好,，即可以在足夠長(zhǎng)時(shí)間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6,、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒,，不腐蝕零件,；7,、檢漏范圍大,，從大漏孔到小漏孔都能檢測(cè)到,，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費(fèi)用,；8、檢漏時(shí)潔凈無油,，滿足一些特殊的要求。氦檢儀自動(dòng)校準(zhǔn)氦峰,，自動(dòng)調(diào)節(jié)零點(diǎn),，量程自動(dòng)轉(zhuǎn)換，自動(dòng)數(shù)據(jù)處理,，可外接打印機(jī),。常州國(guó)產(chǎn)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專...

氦檢儀靈敏度高,、操作便捷,、低維護(hù)，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果,。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所,、航空航天,、動(dòng)力鋰電池，閥門,、精密儀表、機(jī)械加工,、電力,、半導(dǎo)體、光伏,、真空鍍膜,、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,，性能穩(wěn)定可靠,。不只靈敏度高，而且操作方便,，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零,、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,。氦檢儀是對(duì)比性測(cè)試儀器，其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,，轟擊靶心產(chǎn)生電離,，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少,！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比）,，還有電氣參數(shù)的不同，電流相同,，漏率可能不同,；或漏率不同，電流相同,；所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,，需要參照物，這個(gè)參照...

氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏,。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1,、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái),、電子束蒸發(fā)臺(tái),、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,，耗時(shí)耗力,；2、在高真空環(huán)境潔凈度高,、水蒸氣很少,。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆粒或塵埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3,、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,，經(jīng)過氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下,，這些氣體不易外泄,，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境,。4,、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏,，芯片就會(huì)失效,。...

氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù)，它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,，但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,，氦檢儀的檢漏方法也較多,，有噴吹法、氦罩法,、檢漏盒法,、充壓法、吸嘴法,、累積檢漏法,、背壓法、選擇性抽氣法,、逆流氦檢漏法等眾多形式,，可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法,，與鹵素氦檢儀的真空法類似,，將被檢件抽真空,，調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通，隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,，如果存在漏洞,，噴吹一定時(shí)間后，氦檢儀即可發(fā)出信號(hào),。氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器,。安徽全自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修？1...

氦質(zhì)譜檢漏儀原理：氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理,，以氦氣作為檢漏的儀器,。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀,、收集器,、冷陰極電離計(jì)、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成,。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩,，與室內(nèi)氣體碰撞，氦氣泄漏進(jìn)入室內(nèi),，電離成正離子,，正離子在加速電場(chǎng)的作用下進(jìn)入人體磁場(chǎng)，當(dāng)洛倫茲力效應(yīng)偏轉(zhuǎn)時(shí),，電弧形成,，加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場(chǎng)和接收槽到達(dá)接收極而被探測(cè)到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法,。氦質(zhì)譜檢漏儀正朝著高靈敏度,、便攜式,、自動(dòng)化,、寬量程、無油系統(tǒng)等先進(jìn)方向發(fā)展,。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動(dòng)切換,、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換,。無錫模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀...

氦檢儀在使用過程中需特別注意以下幾點(diǎn)：①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),，電壓過低儀器啟動(dòng)困難，且性能不穩(wěn)定,，電壓過高會(huì)燒壞電源,，嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵，應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS),。②儀器在運(yùn)行過程中不能移動(dòng),。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,，若搬動(dòng)氦檢儀，容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞,。③氦檢儀應(yīng)按照說明書的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),，保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng),、更換過濾器,。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng)，運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng),。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,。紹興自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)...

在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用,，建議每周啟動(dòng)并檢查一次,，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間,。②儀器部件（如離子源）拆卸后,，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測(cè),。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢,。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除,、清潔或緊固,，以免在泄漏檢測(cè)過程中干擾泄漏檢測(cè)。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵,。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上,，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器,，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生,。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)...

氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏：調(diào)節(jié)閥又名控制閥,，在現(xiàn)代化工廠的自動(dòng)控制中,，調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用，如果調(diào)節(jié)閥有漏,，將會(huì)嚴(yán)重影響設(shè)備運(yùn)行,，進(jìn)而降低整體的生產(chǎn)效率。氦檢儀成功應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥中的氣路管道檢漏,經(jīng)過檢漏后的調(diào)節(jié)閥普遍應(yīng)用于電廠,、生物制藥,、化工等行業(yè)。調(diào)節(jié)閥檢漏,，閥門氣密性測(cè)試方案是向閥門內(nèi)充入設(shè)定壓力的氦氣,，如在被檢測(cè)處如閥桿等,，用氦檢儀正壓法檢測(cè)，正壓法檢測(cè)的精度可充分滿足氣密性檢測(cè)要求,。氦檢儀用于調(diào)節(jié)閥的氣路管道進(jìn)行檢漏,檢漏標(biāo)準(zhǔn)是漏率小于100ppm或者10-4至10-6Pa.m3/s.同時(shí)需要提供快速,清潔的檢漏環(huán)境.采用氦檢儀正壓法模式,即在密封的氣體管路中充入一定量的氦氣...

氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項(xiàng)：1.如果儀器不是每天使用,，建議每周開機(jī)檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空,，縮短儀器使用時(shí)的開機(jī)時(shí)間2.拆卸儀器部件（如離子源）后,，安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏,。3.適時(shí)對(duì)儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏,，發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)后要及時(shí)取下清洗或固緊，以免在檢漏時(shí)干擾檢漏工作,。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時(shí)間保養(yǎng)油泵,。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）,。5.禁止任何外來物掉在或?yàn)⒃诤べ|(zhì)譜檢漏儀上,，尤其是進(jìn)氣口中,，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器,，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生,。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源,、分析器、收集器,、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽...

影響氦檢儀靈敏度的因素有哪些,？氦檢儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來源主要包括8個(gè)方面：第1,，氦檢儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至氦檢儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等,，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入氦檢儀的氦氣量可比性差,。第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無法換算,，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三,，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。第四,，氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,，氦檢儀的性能不穩(wěn)定,。第七，氦氣純度不...

氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐,、鍍膜系統(tǒng),、壓力容器、超高真空工程,。高能物理：加速器,、束線、同步輻射光源,?？蒲蓄I(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗(yàn)裝置,、微電子,、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備,、氣路,、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件,、封裝,。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào),、管路,。核工業(yè)：核電閥門、核容器,。航空航天：空間模擬器,、航天器、管路,。電廠：管道,、蒸汽發(fā)生器、熱交換器,、冷凝器,。氦檢儀是對(duì)密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測(cè)量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識(shí)別法,、壓強(qiáng)衰減法和鹵素檢漏等方法相比,，具有檢測(cè)靈敏度高,、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒,、無破壞性,、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠,。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多...

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見故障的處理：一,、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量,，如果低于低標(biāo)線,，則加入泵油；如果變黑或渾濁,，則更換泵,。使用方法見機(jī)械泵說明書。二,、清洗,，泄漏探測(cè)器沒有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示,，長(zhǎng)期存在,。這主要是由于檢漏口、波紋管,、密封圈等被污染后吸附的氦氣,，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部,。為防止油污,、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過濾器,，將其拆下,，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏,，用棉布擦拭波紋管,。三、以下是常見的故障現(xiàn)象,、原因及解決方法,。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2,、保險(xiǎn)管熔斷,。3,、重新接通電源,。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管,。氦質(zhì)譜檢漏儀適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的...

氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,，通常指儀器的可檢漏率,。記為qL.min，即在儀器處于較佳工作條件下,，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件,。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s,。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率,。儀器本底噪聲,，一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量，能較方便地估計(jì)檢漏效果,。氦檢儀噴氦法檢測(cè)靈敏度高,，可精確定位。浙江氦質(zhì)譜檢漏儀哪家...