縱觀納米測量技術發(fā)展的歷程，它的研究主要向兩個方向發(fā)展：一是在傳統(tǒng)的測量方法基礎上,，應用先進的測試儀器解決應用物理和微細加工中的納米測量問題,分析各種測試技術,提出改進的措施或新的測試方法；二是發(fā)展建立在新概念基礎上的測量技術,，利用微觀物理,、量子物理中較新的研究成果,將其應用于測量系統(tǒng)中,它將成為未來納米測量的發(fā)展趨向。但納米測量中也存在一些問題限制了它的發(fā)展,。建立相應的納米測量環(huán)境一直是實現納米測量亟待解決的問題之一,，而且在不同的測量方法中需要的納米測量環(huán)境也是不同的。納米力學測試可以解決納米材料在高溫,、低溫和高壓等極端環(huán)境下的力學問題,，提高納米材料的穩(wěn)定性和可靠性。湖南納米力學測試

隨著精密,、 超精密加工技術的發(fā)展,，材料在納米尺度下的力學特性引起了人們的極大關注研究。而傳統(tǒng)的硬度測量方法只適于宏觀條件下的研究和應用,，無法用于測量壓痕深度為納米級或亞微米級的硬度( 即所謂納米硬度,，nano- hardness) 。近年來,，測量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術 (nano-indentation),，由于采用納米壓痕技術可以在極小的尺寸范圍內測試材料的力學性能，除了塑性性質外,，還可反映材料的彈性性質,，因此得到了越來越普遍的應用。廣州科研院納米力學測試廠商納米力學測試可以用于評估納米材料的耐久性和壽命,，為產品的設計和使用提供參考依據,。

納米壓痕儀的應用，納米壓痕儀可適用于有機或無機、軟質或硬質材料的檢測分析,，包括PVD,、CVD、PECVD薄膜,，感光薄膜,，彩繪釉漆，光學薄膜,，微電子鍍膜,，保護性薄膜，裝飾性薄膜等等,?；w可以為軟質或硬質材料，包括金屬,、合金,、半導體、玻璃,、礦物和有機材料等,。半導體技術(鈍化層、鍍金屬,、Bond Pads),；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護層),；光學組件(接觸鏡頭、光纖,、光學刮擦保護層),；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN,， TiC,， DLC， 切割工具),；藥理學(藥片,、植入材料、生物組織),；工程學(油漆涂料,、橡膠、觸摸屏,、MEMS)等行業(yè),。

除了采用彎曲振動模式進行測量外，Reinstadtler 等給出了探針扭轉振動模式測量側向接觸剛度的理論基礎。通過同時測量探針微懸臂的彎曲振動和扭轉振動,，Hurley 和Turner提出了一種同時測量各向同性材料楊氏模量,、剪切模量和泊松比的方法。Killgore 等提出了利用軟探針的高階模態(tài)進行AFAM 定量化測試的方法,，可以使探針施加在樣品上的力減小到10 nN，極大地擴展了這一方法的應用范圍,。Killgore 和Hurley提出了一種新的脈沖接觸共振的方法,，將接觸共振與脈沖力模式相結合，不只能測量探針的接觸共振頻率和品質因子,，還可以測量針尖樣品之間黏附力的大小,。在進行納米力學測試前，需要對測試樣品進行表面處理和尺寸測量,，以確保測試結果的準確性,。

模塊化設計使系統(tǒng)適用于各種形貌樣品的測試需求及各種SEM/FIB配置，緊湊的外形設計適用于各種全尺寸的SEM/FIB樣品室,。用戶可設計自定義的測試程序和測試模式：①FT-SH傳感器連接頭,其配置的4個不同型號的連接頭,可滿足各種不同的測試條件(平面外或者平面內測試)和不同的測試距離,。②FFT-SB樣品基座適配頭,其配置的4個不同型號的適配頭用來調節(jié)樣品臺的高度和角度。③FT-ETB電學測試樣品臺,包含2個不同的電學測試樣品臺,實現樣品和納米力學測試平臺的電導通,。④FT-S微力傳感探針和FT-G微鑷子,實現微納力學測試和微納操作組裝(按需額外購買),。納米力學測試的結果可以為新材料的設計和應用提供重要參考。湖南納米力學測試

利用納米力學測試,，可以評估納米材料的可靠性和耐久性,。湖南納米力學測試

研究液相環(huán)境下的流體載荷對探針振動產生的影響可以將AFAM 定量化測試應用范圍擴展至液相環(huán)境。液相環(huán)境下增加的流體質量載荷和流體阻尼使探針振動的共振頻率和品質因子都較大程度上減小,。Parlak 等采用簡單的解析模型考慮流體質量載荷和流體阻尼效應,，可以在液相環(huán)境下從探針的接觸共振頻率導出針尖樣品的接觸剛度值。Tung 等通過嚴格的理論推導,，提出通過重構流體動力學函數的方法,，將流體慣性載荷效應進行分離。此方法不需要預先知道探針的幾何尺寸及材料特性,，也不需要了解周圍流體的力學性能,。湖南納米力學測試