微納米材料研究中用到的一些現代測試技術：電子顯微法,，電子顯微技術是以電子顯微鏡為研究手段來分析材料的一種技術,。電子顯微鏡擁有高于光學顯微鏡的分辨率，可以放大幾十倍到幾十萬倍的范圍,，在實驗研究中具有不可替代的意義,，推動了眾多領域研究的進程。電子顯微技術的光源為電子束,，通過磁場聚焦成像或者靜電場的分析技術才達成高分辨率的效果,、利用電子顯微鏡可以得到聚焦清晰的圖像， 有利于研究人員對于實驗結果進行觀察分析,。納米力學測試是一種用于研究納米尺度材料力學性質的實驗方法,。山東微電子納米力學測試

AFAM 方法提出之后，不少研究者對方法的準確度和靈敏度方面進行了研究,。Hurley 等分析了空氣濕度對AFAM 定量化測量結果的影響,。Rabe 等分析了探針基片對AFAM 定量化測量的影響。Hurley 等詳細對比了AFAM 單點測試與納米壓痕以及聲表面波譜方法的測試原理,、空間分辨率,、適用性及測試優(yōu)缺點等。Stan 等提出一種雙參考材料的方法,，此方法不需要了解針尖的力學性能,，可以在一定程度上提高測試的準確度。他們還提出了一種基于多峰接觸的接觸力學模型,，在一定程度上可以提高測試的準確度,。Turner 等通過嚴格的理論推導研究了探針不同階彎曲振動和扭轉振動模態(tài)的靈敏度問題。Muraoka提出一種在探針微懸臂末端附加集中質量的方法,，以提高測試靈敏度,。Rupp 等對AFAM測試過程中針尖樣品之間的非線性相互作用進行了研究。山東微電子納米力學測試利用大數據和人工智能技術,，優(yōu)化納米力學測試結果分析,，提升研究效率。

在AFAM 測試系統開發(fā)方面,，Hurley 等開發(fā)了一套基于快速數字信號處理的掃頻模式共振頻率追蹤系統,。這一測試系統可以根據上一像素點的接觸共振頻率自動調整掃描頻率的上下限。隨后,，他們又開發(fā)出一套稱為SPRITE(scanning probe resonance image tracking electronics) 的測試系統,，可以同時對探針兩階模態(tài)的接觸共振頻率和品質因子進行成像,，并較大程度上提高成像速度。Rodriguez 等開發(fā)了一種雙頻共振頻率追蹤(dual frequency resonance tracking,，DFRT) 的方法,，此種方法應用于AFAM 定量化成像中，可以同時獲得探針的共振頻率和品質因子,。日本的Yamanaka 等利用PLL(phase locked loop) 電路實現了UAFM 接觸共振頻率追蹤,。

微納米纖維素，微納米纖維素材料在農業(yè),、生物醫(yī)用材料等領域的普遍應用,。微納米纖維素水凝膠表現出各向異性的力學性能和優(yōu)良溶脹性能,可應用于生物醫(yī)學和機器人等領域。其在納米尺度上表現出良好的形貌特征和優(yōu)異的力學性能,?？辜毦鷮嶒灡砻鳎搹秃铣毸z纖維可有效殺滅陽性和陰性細菌菌株,，同時對正常哺乳動物細 胞保持友好性,。這種超細水凝膠微纖維可有效解決微生物威脅人類健康的問題。這種靈活的合成核殼復合超細水凝膠微纖維方法,，具有重要的生物醫(yī)學應用前景,，同時該方法也可應用于材料科學、組織工程和再生醫(yī)學等領域,。利用納米力學測試,，研究人員可揭示材料內部缺陷、應力分布等關鍵信息,。

微納米材料力學性能測試系統是一種用于機械工程領域的科學儀器,，于2008年11月18日啟用?？v向載荷力和位移,。載荷力分辨率：3nN（在施加1μN的條件下）；較小載荷接觸力：＜100nN,；較大載荷：10mN,；位移分辨率：0.0004nm；較小位移：＜0.2nm,；較大位移：5μm,；熱漂移：＜0.05nm/s（在室溫條件下）。 橫向載荷力和位移,。載荷力的分辨率：0.5μN,；較小橫向力：＜5μN；較大橫向力：2mN,；位移分辨率：3nm,；較小位移：＜5nm,；較大位移：15μm；熱漂移：＜0.05nm/s（在室溫條件下）,。磨損面積范圍：4μm x 4μm 到 60μm x 60μm,；磨損速率：≤180μm/s；縱向載荷范圍：100nN – 1mN,。X-Y stage。通過納米力學測試,，我們可以評估納米材料在極端環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐久性,。山東微電子納米力學測試

納米力學測試結果有助于優(yōu)化材料設計，提升產品性能,，降低生產成本,。山東微電子納米力學測試

納米纖維已經展現出各種有趣的特性，除了高比表面積-體積比,，納米纖維相比于塊狀材料,，沿主軸方向有更突出的力學特性。因此納米纖維在復合材料,、纖維,、支架（組織工程學）、藥物輸送,、創(chuàng)傷敷料或紡織業(yè)等領域是一種非常有應用前景的材料,。納米纖維機械性能（剛度、彈性變形范圍,、極限強度,、韌性）的定量表征對理解其在目標應用中的性能非常重要，而測量這些參數需要高度專業(yè)畫的儀器,，必須具備以下功能：以亞納米的分辨率測量非常小的變形,；在測量的時間量程（例如100 s）內在納米級的位移下保持高度穩(wěn)定的測量系統；以亞納米分辨率測量微小力,；處理（撿取-放置）納米纖維并將其放置在機械測試儀器上,。山東微電子納米力學測試