縱觀納米測(cè)量技術(shù)發(fā)展的歷程,，它的研究主要向兩個(gè)方向發(fā)展：一是在傳統(tǒng)的測(cè)量方法基礎(chǔ)上，應(yīng)用先進(jìn)的測(cè)試儀器解決應(yīng)用物理和微細(xì)加工中的納米測(cè)量問題,分析各種測(cè)試技術(shù),提出改進(jìn)的措施或新的測(cè)試方法,；二是發(fā)展建立在新概念基礎(chǔ)上的測(cè)量技術(shù),，利用微觀物理、量子物理中較新的研究成果,將其應(yīng)用于測(cè)量系統(tǒng)中,它將成為未來納米測(cè)量的發(fā)展趨向,。但納米測(cè)量中也存在一些問題限制了它的發(fā)展,。建立相應(yīng)的納米測(cè)量環(huán)境一直是實(shí)現(xiàn)納米測(cè)量亟待解決的問題之一,，而且在不同的測(cè)量方法中需要的納米測(cè)量環(huán)境也是不同的。納米力學(xué)測(cè)試能夠揭示材料表面的微觀結(jié)構(gòu)與性能之間的關(guān)系,。貴州新能源納米力學(xué)測(cè)試

納米劃痕法,，納米劃痕硬度計(jì)主要是通過測(cè)量壓頭在法向和切向上的載荷和位移的連續(xù)變化過程，進(jìn)而研究材料的摩擦性能,、塑性性能和斷裂性能的,。納米劃痕儀器的設(shè)計(jì)主要有兩種方案 納米劃痕計(jì)和壓痕計(jì)，合二為一即劃痕計(jì)的法向力和壓痕深度由高分辨率的壓痕計(jì)提供,，同時(shí)記錄勻速移動(dòng)的試樣臺(tái)的位移,，使壓頭沿試樣表面進(jìn)行刻劃，切向力由壓桿上的兩個(gè)相互垂直的力傳感器測(cè)量納米劃痕硬度計(jì)和壓痕計(jì)相互單獨(dú),。納米劃痕硬度計(jì)，不只可以研究材料的摩擦磨損行為,，還普遍應(yīng)用于薄膜的粘著失效和黏彈行為,。對(duì)刻劃材料來說，不只載荷和壓入深度是重要的參數(shù),，而且殘余劃痕的深度,、寬度、凸起的高度在研究接觸壓力和實(shí)際摩擦也是十分重要的,。目前,，該類儀器已普遍應(yīng)用于各種電子薄膜、汽車噴漆,、膠卷、光學(xué)鏡 頭,、磁盤,、化妝品(指甲油和口紅)等的質(zhì)量檢測(cè)。湖南核工業(yè)納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)通過納米力學(xué)測(cè)試,，可以測(cè)量材料的硬度,、彈性模量、粘附性等關(guān)鍵參數(shù),。

納米力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)是一款可在SEM/FIB中對(duì)微納米材料和結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能進(jìn)行原位,、直接而準(zhǔn)確測(cè)量的納米機(jī)器人系統(tǒng)。測(cè)試原理是通過微力傳感探針對(duì)微納結(jié)構(gòu)施加可控的力,同時(shí)采用位移記錄器來測(cè)量該結(jié)構(gòu)的形變,。從測(cè)得的力和形變(應(yīng)力-應(yīng)變)曲線可以定量地分析微納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)性能,。通過控制加載力的大小和方向,可實(shí)現(xiàn)拉伸、壓縮,、斷裂,、疲勞和蠕變等各種力學(xué)測(cè)試。同時(shí),其配備的導(dǎo)電樣品測(cè)試平臺(tái)可以對(duì)微納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)和力學(xué)性能進(jìn)行同步測(cè)試。

譜學(xué)技術(shù)微納米材料的化學(xué)成分分析主要依賴于各種譜學(xué)技術(shù),包括紫外-可見光譜紅外光譜,、x射線熒光光譜,、拉曼光譜、俄歇電子能譜,、x射線光電子能譜等,。另有一類譜儀是基于材料受激發(fā)的發(fā)射譜,是專為研究品體缺陷附近的原子排列狀態(tài)而設(shè)計(jì)的，如核磁共振儀,、電子自旋共振譜儀,、穆斯堡爾譜儀、正電子湮滅等等,。熱分析技術(shù),，納米材料的熱分析主要是指差熱分析、示差掃描量熱法以及熱重分析,。三種方法常常相互結(jié)合,并與其他方法結(jié)合用于研究微納米材料或納米粒子的一些特 征:(1)表面成鍵或非成鍵有機(jī)基團(tuán)或其他物質(zhì)的存在與否,、含量多少、熱失重溫度等(2)表面吸附能力的強(qiáng)弱與粒徑的關(guān)系(3)升溫過程中粒徑變化(4)升溫過程中的相轉(zhuǎn)變情況及晶化過程,。利用納米力學(xué)測(cè)試，研究人員可揭示材料內(nèi)部缺陷,、應(yīng)力分布等關(guān)鍵信息,。

原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的儀器,，于2011年10月27日啟用,。壓痕測(cè)試單元：（1）可實(shí)現(xiàn)70nN~30mN不同加載載荷,，載荷分辨率為3nN,；（2）位移分辨率：0.006nm,，較小位移：0.2nm，較大位移：5um,；（3）室溫?zé)崞疲?.05nm/s,；（4）更換壓頭時(shí)間：60s。能夠?qū)崿F(xiàn)薄膜或其他金屬或非金屬材料的壓痕,、劃痕,、摩擦磨損、微彎曲,、高溫測(cè)試及微彎曲,、NanoDMA、模量成像等功能,。力學(xué)測(cè)試芯片大小只為幾平方毫米,，亦可放置在電子顯微鏡真空腔中進(jìn)行原位實(shí)時(shí)檢測(cè)。納米力學(xué)測(cè)試是一種通過納米尺度下的力學(xué)性質(zhì)來研究材料特性的方法,。深圳化工納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)

納米力學(xué)測(cè)試可以解決納米材料在微納尺度下的力學(xué)問題,，為納米器件的設(shè)計(jì)和制造提供支持。貴州新能源納米力學(xué)測(cè)試

借助電子顯微鏡(EM)的原位納米力學(xué)測(cè)試法，利用掃描電子顯微鏡或透射電子顯微鏡(TEM)的高分辨率成像,，在EM 真空腔內(nèi)進(jìn)行原位納米力學(xué)測(cè)試,，根據(jù)納米試樣在EM真空腔中加載方式不同分為諧振法和拉伸法。原位測(cè)試法的較大優(yōu)點(diǎn)是能夠在 SEM 中實(shí)時(shí)觀測(cè)試樣的失效引發(fā)過程,，甚至能夠用 TEM 對(duì)缺陷成核和擴(kuò)展情況進(jìn)行原子級(jí)分辨率的實(shí)時(shí)觀測(cè);缺點(diǎn)是需在 EM 真空腔內(nèi)對(duì)納米試樣施加載荷,，限制了其加載環(huán)境，并且加載力的檢測(cè)還需其他裝置才能完成,。貴州新能源納米力學(xué)測(cè)試