納米壓痕作為一種新型材料力學(xué)測(cè)試方法,，具有許多優(yōu)勢(shì)，在微電子學(xué),、納米技術(shù)等領(lǐng)域得到普遍應(yīng)用,。本文介紹了納米壓痕的基本原理、應(yīng)用場景、優(yōu)勢(shì)以及相關(guān)概念和參數(shù),，希望讀者能夠?qū){米壓痕有更深入的了解,。主要功能：（1）可在室溫至 800 攝氏度的范圍內(nèi)進(jìn)行動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試。（2）能夠通過一次壓痕獲得接觸剛度,、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續(xù)變化曲線,；（3）具備納米劃痕功能和壓頭保護(hù)功能。（4）具備 3D 力學(xué)圖譜功能,。單個(gè)點(diǎn)的壓痕時(shí)間1s,，直接獲得 3D 楊氏模量圖譜，硬 度圖譜,，剛度圖譜,。納米力學(xué)測(cè)試可以幫助研究人員了解納米材料的力學(xué)性能與結(jié)構(gòu)之間的關(guān)系，為納米材料的設(shè)計(jì)和優(yōu)化提供指導(dǎo),。福建納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

致城科技的納米力學(xué)測(cè)試解決方案：廣州致城科技有限公司專注于高精密微納米金剛石探針壓頭的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售，為各行業(yè)提供定制化的納米力學(xué)測(cè)試解決方案,。致城科技的納米力學(xué)測(cè)試設(shè)備具有高精度,、高分辨率和高穩(wěn)定性的特點(diǎn)，能夠滿足不同行業(yè)對(duì)納米力學(xué)測(cè)試的多樣化需求,。此外,，致城科技還提供專業(yè)的技術(shù)支持和售后服務(wù)，確?？蛻粼谑褂眠^程中能夠獲得較佳的測(cè)試效果,。納米力學(xué)測(cè)試在汽車、消費(fèi)電子產(chǎn)品,、新能源,、硬質(zhì)涂層、半導(dǎo)體微電子,、航空航天,、聚合物和醫(yī)藥等多個(gè)行業(yè)具有普遍的應(yīng)用前景。廣州科研院納米力學(xué)測(cè)試供應(yīng)納米力學(xué)測(cè)試在半導(dǎo)體微電子行業(yè)質(zhì)量控制中不可或缺,。

掃描探針聲學(xué)顯微術(shù)一般適用于模量范圍在1~300 GPa 的材料,。對(duì)于更軟的材料，在測(cè)試過程中接觸力有可能會(huì)對(duì)樣品造成損害,?；谳p敲模式的原子力顯微鏡多頻成像技術(shù)是近年來發(fā)展的一項(xiàng)納米力學(xué)測(cè)試方法。通過同時(shí)激勵(lì)和檢測(cè)探針多個(gè)頻率的響應(yīng)或探針振動(dòng)的兩階(或多階) 模態(tài)或探針振動(dòng)的基頻和高次諧波成分等,，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品形貌,、彈性等性質(zhì)的快速測(cè)量,。只要是涉及探針兩個(gè)及兩個(gè)以上頻率成分的激勵(lì)和檢測(cè)，均可以歸為多頻成像技術(shù),。由于輕敲模式下針尖施加的作用力遠(yuǎn)小于接觸狀態(tài)下的作用力,，因此基于輕敲模式的多頻成像技術(shù)適合于軟物質(zhì)力學(xué)性能的測(cè)量。

納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)在航空航天材料研發(fā)和質(zhì)量控制中發(fā)揮著不可替代的作用,。致城科技通過不斷創(chuàng)新,，開發(fā)了一系列針對(duì)航空航天特殊需求的測(cè)試解決方案。我們的技術(shù)優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在：寬溫度范圍測(cè)試能力（室溫至1000℃）,；多尺度力學(xué)性能表征（從納米到微米尺度）；原位觀察與多參數(shù)同步測(cè)量,；專門使用測(cè)試方法開發(fā)（針對(duì)特定材料和應(yīng)用場景）,。未來，致城科技將繼續(xù)深化納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)在航空航天領(lǐng)域的應(yīng)用,，重點(diǎn)發(fā)展以下方向：更高溫度的原位測(cè)試技術(shù),；更復(fù)雜的多場耦合測(cè)試（熱-力-電-化學(xué)）；智能化測(cè)試數(shù)據(jù)分析系統(tǒng),；標(biāo)準(zhǔn)化測(cè)試方法的建立與推廣,；我們相信，隨著納米力學(xué)測(cè)試技術(shù)的不斷進(jìn)步,，將為航空航天材料的創(chuàng)新發(fā)展提供更強(qiáng)有力的支撐,。致城科技期待與行業(yè)伙伴深入合作，共同推動(dòng)航空航天材料技術(shù)的進(jìn)步,。納米力學(xué)測(cè)試助力檢測(cè)半導(dǎo)體材料的微觀力學(xué)性能各向異性,。

原位微納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)是一種用于土木建筑工程、材料科學(xué)領(lǐng)域的計(jì)量儀器,，于2018年12月12日啟用,。技術(shù)指標(biāo)：（1）較大加載載荷 1N，載荷分辨率 6 nN,；位移分辨率 0.04 nm,，位移噪音水平0.2 nm；較大壓入深度≥70um,；數(shù)據(jù)采集頻率 100kHz； （2）X,、Y,、Z 三軸均采用高精度,、高剛度的全閉環(huán)控制的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)方式,。X、Y 樣 本臺(tái)較大移動(dòng)范圍至少 10mm,，Z 軸較大移動(dòng)范圍 13mm,，壓電陶瓷移動(dòng)精度≤1nm,。 壓電陶瓷軸向剛度≥40,000 N/m,； （3）可在室溫至 800 攝氏度的范圍內(nèi)進(jìn)行動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試?？販鼐?±0.5 K,，溫度的,。通過納米力學(xué)測(cè)試,，可評(píng)估納米材料在極端環(huán)境下的可靠性。深圳高精度納米力學(xué)測(cè)試廠商

納米劃痕測(cè)試保障導(dǎo)電圖案在復(fù)雜環(huán)境下的電氣性能。福建納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室

測(cè)試能力方面,，致城科技建立了完整的材料力學(xué)表征體系,，包括彈性模量,、硬度,、屈服強(qiáng)度等基本參數(shù)測(cè)試,，蠕變,、應(yīng)力松弛等時(shí)間相關(guān)行為分析，以及斷裂韌性,、界面結(jié)合強(qiáng)度等復(fù)雜性能評(píng)估,。針對(duì)梯度材料,、多相復(fù)合材料和微觀結(jié)構(gòu)特征，公司開發(fā)了專門的測(cè)試方法和數(shù)據(jù)分析算法，可精確解析各相力學(xué)貢獻(xiàn)和界面效應(yīng),。"我們?cè)鵀橐患液娇瞻l(fā)動(dòng)機(jī)制造商解決了渦輪葉片熱障涂層的界面失效問題，"致城科技首席技術(shù)官回憶道,，"通過定制錐形金剛石壓頭和原位高溫測(cè)試,，初次量化了熱循環(huán)條件下涂層-基體界面的強(qiáng)度退化規(guī)律，為壽命預(yù)測(cè)模型提供了關(guān)鍵輸入,。"這個(gè)案例典型地體現(xiàn)了公司將測(cè)試技術(shù)與工程需求緊密結(jié)合的服務(wù)理念,。福建納米力學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)室