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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-02-10

    驅(qū)動(dòng)部45b設(shè)置于上部支承體,,進(jìn)行懸掛部件45a的抽出、卷繞,。若驅(qū)動(dòng)部45b將懸掛部件抽出,則、第二升降臺(tái)43a,、43b被、第二桅桿42a,、42b引導(dǎo)而下降,。另外,若驅(qū)動(dòng)部45b卷繞懸掛部件45a,,則,、第二升降臺(tái)43a、43b被,、第二桅桿42a,、42b引導(dǎo)而上升。驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制,,使,、第二升降臺(tái)43a、43b以規(guī)定的速度下降或者上升。另外,,驅(qū)動(dòng)部45b被控制裝置60等控制,,將、第二升降臺(tái)43a,、43b保持于目標(biāo)高度,。雖然、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a,、45b設(shè)置于上部支承體47(,、第二行駛部41a、41b),,但并不限定于該結(jié)構(gòu),。、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a,、45b例如也可以設(shè)置于,、第二升降臺(tái)43a、43b,。作為在,、第二升降臺(tái)43a、43b設(shè)置,、第二升降驅(qū)動(dòng)部45a,、45b的結(jié)構(gòu),例如可以利用搭載于,、第二升降臺(tái)43a,、43b的升降機(jī)等對(duì)從上部支承體47懸掛的帶狀物或者線材等進(jìn)行卷起或者抽出而使、第二升降臺(tái)43a,、43b升降,。另外,也可以在,、第二升降臺(tái)43a,、43b搭載用于驅(qū)動(dòng)小齒輪的電動(dòng)馬達(dá)等,在,、第二桅桿42a,、42b形成供該小齒輪嚙合的齒條,驅(qū)動(dòng)電動(dòng)馬達(dá)等而使小齒輪旋轉(zhuǎn)由此使,、第二升降臺(tái)43a,、43b升降。如圖4所示,?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。宜興公司商鋪搬運(yùn)打包

    在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,,為了將收容半導(dǎo)體晶圓的foup或者收容中間掩模的中間掩模盒(reticlepod)等物品在處理裝置的裝載端口,、保管部以及交接端口之間進(jìn)行搬運(yùn),提出有使用沿著鋪設(shè)于頂棚的軌道行駛的高架搬運(yùn)車,、和沿著與高架搬運(yùn)車的軌道地鋪設(shè)于地板面的軌道行駛的起重機(jī)的結(jié)構(gòu)(例如,,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:日本第5880693號(hào)公報(bào)文獻(xiàn)1中記載的高架搬運(yùn)車和起重機(jī)均能夠訪問裝載端口,、保管部以及交接端口,,但由于在不同的軌道行駛,因此需要與高架搬運(yùn)車和起重機(jī)對(duì)應(yīng)地,,分別設(shè)置頂棚的軌道和地板面的軌道,。因此,存在不僅對(duì)軌道的設(shè)置花費(fèi)成本,,需要用于鋪設(shè)各軌道的空間,,而且需要使處理裝置或者保管部等的設(shè)置位置與兩個(gè)軌道對(duì)應(yīng),因此對(duì)處理裝置等的布局產(chǎn)生限制的問題,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供能夠通過將供高架搬運(yùn)車和起重機(jī)行駛的軌道共用化而減少軌道的設(shè)置成本,并且分擔(dān)高架搬運(yùn)車與起重機(jī)的作用,,由此高效地搬運(yùn)物品的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,。本發(fā)明所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,其從處理裝置的裝載端口的正上方錯(cuò)開并且沿著處理裝置的裝載端口設(shè)置,;第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道,。企業(yè)商鋪搬運(yùn)電話錫山區(qū)公司商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司,。

    ,、第二桅桿42a、42b形成為中空或者實(shí)心的棒狀,,截面形成為圓形狀,、橢圓形狀、長(zhǎng)圓形狀,、或者四邊形狀等多邊形狀,。、第二桅桿42a,、42b的下端被設(shè)定為從地板面隔開規(guī)定間隔的狀態(tài),。在圖4中,在,、第二行駛部41a,、41b的下方經(jīng)由安裝部46安裝有上部支承體47,。、第二桅桿42a,、42b安裝于上部支承體47的下表面?zhèn)?,并成為從、第二行駛?1a,、41b懸掛的狀態(tài),。例如可以使用螺釘和螺母等緊固部件,也可以使用焊接等在上部支承體47安裝,、第二桅桿42a,、42b。此外,,,、第二桅桿42a、42b可以是一根,,例如,,可以分別設(shè)置于、第二行駛部41a,、41b的行駛方向的前后,。另外,,、第二起重機(jī)40a,、40b使用兩臺(tái)、第二行駛部41a,、41b(參照?qǐng)D2和圖3),。兩臺(tái)、第二行駛部41a,、41b沿行駛方向排列配置,,被上部支承體47連結(jié)。,、第二桅桿42a,、42b被兩臺(tái)、第二行駛部41a,、41b支承,。這樣,能夠利用兩臺(tái),、第二行駛部41a,、41b可靠地支承作為重物的、第二桅桿42a,、42b,。此外,,、第二起重機(jī)40a,、40b并不限定于使用兩臺(tái),、第二行駛部41a、41b,,也可以使用1臺(tái)或者3臺(tái)以上的,、第二行駛部41a、41b,。起重機(jī)40a的行駛部41a能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11駛?cè)雲(yún)^(qū)段間頂棚軌道地進(jìn)行行駛,。即。

    也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c,、10d)移動(dòng)的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,。另外,,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c,、10d)移動(dòng)的情況下,,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10a移動(dòng)的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,。另外,,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請(qǐng)的特愿2017-128569以及本說(shuō)明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分,。附圖標(biāo)記的說(shuō)明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置,;st…暫存區(qū),;tl…處理裝置;2…物品,;10…存儲(chǔ)庫(kù),;10a…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域;10b…存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域,;10g…作業(yè)者通路,;11…保管部;12…交接口,;20,,20c,,20d…起重機(jī)軌道;30…懸掛式起重機(jī),;31…起重機(jī)用行駛部,;32…桅桿;33…升降臺(tái),;34…物品移載部,;35…升降驅(qū)動(dòng)部;40…高架搬運(yùn)車軌道,;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,;41a、42a…外繞軌道,;41b,、42b…內(nèi)繞軌道;41c,、42c…連接軌道,;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道,;44…第二機(jī)架間軌道,;50…高架搬運(yùn)車。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司,。

    使懸掛式起重機(jī)30從機(jī)架間軌道43向機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41的外繞軌道41a移動(dòng),并經(jīng)由連接軌道41c向內(nèi)繞軌道41b移動(dòng)(參照?qǐng)D8的箭頭),。外繞軌道41a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方,,所以若懸掛式起重機(jī)30保持原樣地在外繞軌道41a行駛,則存在桅桿32與裝載端口lp接觸的可能性,。因此,,懸掛式起重機(jī)30從外繞軌道41a向內(nèi)繞軌道41b移動(dòng)。然后,,使懸掛式起重機(jī)30沿著內(nèi)繞軌道41b朝向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b移動(dòng),。在起重機(jī)用行駛部31在內(nèi)繞軌道41b(高架搬運(yùn)車軌道40)行駛的情況下,懸掛式起重機(jī)30的桅桿32在作業(yè)者通路10g上通過,。此時(shí),,也可以以禁止作業(yè)者等向作業(yè)者通路10g的進(jìn)入、作業(yè)者等不進(jìn)入作業(yè)者通路10g的方式,,由被設(shè)置于懸掛式起重機(jī)30或者作業(yè)者通路10g的附近的揚(yáng)聲器發(fā)出警報(bào)等,,也可以使被設(shè)置于作業(yè)者通路10g的附近的燈等點(diǎn)亮或者閃爍。接下來(lái),,如圖9所示,,使懸掛式起重機(jī)30移動(dòng)到內(nèi)繞軌道41b的端部側(cè),,從內(nèi)繞軌道41b經(jīng)由連接軌道41c向外繞軌道41a移動(dòng)。接著,,使懸掛式起重機(jī)30從外繞軌道41a向第二機(jī)架間軌道44移動(dòng),,在第二機(jī)架間軌道44向存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域10b側(cè)移動(dòng)(參照?qǐng)D9的箭頭)。接下來(lái),,如圖10所示,,使懸掛式起重機(jī)30沿著第二機(jī)架間軌道44移動(dòng)到第二連結(jié)軌道60b?;萆絽^(qū)企業(yè)商鋪搬運(yùn)報(bào)價(jià)哪家好,,誠(chéng)心推薦無(wú)錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)專業(yè)商鋪搬運(yùn)費(fèi)用

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    所述存儲(chǔ)庫(kù)具備:在上下方向設(shè)置多層來(lái)保管物品的保管部、用于交接物品的交接口,、沿著保管部以及交接口設(shè)置的起重機(jī)軌道,、沿著起重機(jī)軌道行駛的起重機(jī)用行駛部、從起重機(jī)用行駛部垂下的桅桿,、以及具有被桅桿引導(dǎo)地升降的物品移載部并且在保管部與交接口之間搬運(yùn)物品的懸掛式起重機(jī),;高架搬運(yùn)車軌道,其被設(shè)置于存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域之外,,沿著交接口以及處理裝置的裝載端口延伸至規(guī)定區(qū)域,;高架搬運(yùn)車,其具有沿著高架搬運(yùn)車軌道行駛的搬運(yùn)車用行駛部,、以及保持并升降物品的物品保持部,,并且在交接口與裝載端口之間搬運(yùn)物品;以及連結(jié)軌道,,其連結(jié)起重機(jī)軌道與高架搬運(yùn)車軌道,,所述搬運(yùn)方法包含以下步驟:使起重機(jī)用行駛部從起重機(jī)軌道通過連結(jié)軌道進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道,在高架搬運(yùn)車軌道行駛至規(guī)定區(qū)域,,或者使起重機(jī)用行駛部從規(guī)定區(qū)域進(jìn)入高架搬運(yùn)車軌道行駛至連結(jié)軌道,通過連結(jié)軌道進(jìn)入起重機(jī)軌道而在起重機(jī)軌道行駛,。根據(jù)本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,,通常沿著存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)的起重機(jī)軌道行駛并且在存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域內(nèi)在保管部與交接口之間移載物品的懸掛式起重機(jī)能夠根據(jù)需要,通過連結(jié)軌道以及高架搬運(yùn)車軌道移動(dòng)到存儲(chǔ)庫(kù)區(qū)域外的規(guī)定區(qū)域,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),。宜興公司商鋪搬運(yùn)打包