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來源: 發(fā)布時間:2022-03-06

    第二機(jī)架間軌道44與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié),。機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44分別使直線狀的兩根軌道并行地延伸,,在兩根軌道之間設(shè)置有多個連接軌道。高架搬運車50沿著高架搬運車軌道40移動,,將物品2在處理裝置tl的裝載端口lp,、與存儲庫區(qū)域10a,、10b的交接口12之間進(jìn)行物品2的交接,。另外,高架搬運車50除了裝載端口lp以及交接口12之外,,還在與沿著高架搬運車軌道40(外繞軌道41a,、42a等)設(shè)置的暫存區(qū)st之間進(jìn)行物品2的移載。處理裝置tl例如是曝光裝置,、涂布機(jī)顯影載置,、制膜裝置或者蝕刻裝置等,對被收納于搬運系統(tǒng)100搬運的物品2的半導(dǎo)體晶圓實施各種處理,。圖5是表示高架搬運車50的一個例子的圖,。如圖5所示,高架搬運車50具有搬運車用行駛部51和主體部52,。搬運車用行駛部51與起重機(jī)用行駛部31相同,,具備未圖示的行駛驅(qū)動部以及多個車輪71a(參照圖6),沿著高架搬運車軌道40行駛,。行駛驅(qū)動部例如也可是被設(shè)置于搬運車用行駛部51并驅(qū)動車輪71a的電動馬達(dá),,也可是使用高架搬運車軌道40設(shè)置的線性馬達(dá)。主體部52經(jīng)由安裝部52a被安裝于搬運車用行駛部51的下部,。梁溪區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司?;萆絽^(qū)質(zhì)量商鋪搬運公司哪家好

    如圖1所示,,控制裝置80統(tǒng)一控制搬運系統(tǒng)100??刂蒲b置80通過無線或者有線的通信控制懸掛式起重機(jī)30以及高架搬運車50的動作,。此外,控制裝置80也可分為控制懸掛式起重機(jī)30的控制裝置,、和控制高架搬運車50的控制裝置,。另外,,懸掛式起重機(jī)30用的控制裝置可以以存儲庫區(qū)域10a為單位分開地配置,也可統(tǒng)一控制多個存儲庫區(qū)域10a,、10b,。另外,控制高架搬運車50的控制裝置也可以控制在規(guī)定區(qū)域內(nèi)行駛的多個高架搬運車50,。如圖1~圖3所示,,連結(jié)軌道60a連結(jié)存儲庫區(qū)域10a的起重機(jī)軌道20與高架搬運車軌道40的機(jī)架間軌道43。另外,,第二連結(jié)軌道60b連結(jié)存儲庫區(qū)域10b的起重機(jī)軌道20與高架搬運車軌道40的第二機(jī)架間軌道44,。起重機(jī)用行駛部31能夠在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛,。懸掛式起重機(jī)30的起重機(jī)用行駛部31能夠經(jīng)由連結(jié)軌道60a從起重機(jī)軌道20進(jìn)入高架搬運車軌道40,,并行駛到其它存儲庫區(qū)域10b。另外,,起重機(jī)用行駛部31能夠經(jīng)由第二連結(jié)軌道60b從高架搬運車軌道40進(jìn)入起重機(jī)軌道20行駛,。搬運車用行駛部51能夠在以及第二連結(jié)軌道60a、60b行駛,。此外,,以及第二連結(jié)軌道60a、60b的與起重機(jī)用行駛部31的行駛方向正交的平面的剖面與起重機(jī)軌道20以及高架搬運車軌道40相同或者大致相同,。宜興長途商鋪搬運價錢錫山區(qū)長途商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。

    ,、第二交接端口30a,、30b并不限定、第二保管部20a,、20b的上層,。、第二交接端口30a,、30b例如也可以與,、第二保管部20a、20b設(shè)置,。例如,,如圖1所示,也可以在俯視下,,在區(qū)段間頂棚軌道13與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間,、第二區(qū)段間頂棚軌道14與區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11之間、區(qū)段間頂棚軌道13與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間、第二區(qū)段間頂棚軌道14與第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12之間設(shè)置交接端口130,。,、第二起重機(jī)40a、40b能夠針對該交接端口130進(jìn)行物品2的交接,。另外,,高架搬運車50能夠從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接,并且,,也能夠從區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14針對交接端口130進(jìn)行物品2的交接,。其結(jié)果是,區(qū)段間頂棚軌道13或者第二區(qū)段間頂棚軌道14的高架搬運車50能夠以不進(jìn)入?yún)^(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的方式通過交接端口130在與,、第二起重機(jī)40a,、40b之間進(jìn)行物品2的交接。起重機(jī)40a在保管區(qū)域sa1搬運物品2,。第二起重機(jī)40b在第二保管區(qū)域sa2搬運物品2,。圖4是表示、第二起重機(jī)40a,、40b的一個例子的圖,。如圖4所示,,,、第二起重機(jī)40a、40b使用懸掛式起重機(jī),。由于,、第二起重機(jī)40a、40b是懸掛式起重機(jī),。

    參照圖6),。因此,起重機(jī)用行駛部31或者搬運車用行駛部51能夠無障礙地在以及第二連結(jié)軌道60a,、60b行駛,。這樣,將上述軌道設(shè)為相同的剖面形狀,,由此能夠?qū)崿F(xiàn)軌道的標(biāo)準(zhǔn)化,,能夠以低成本進(jìn)行軌道的設(shè)置。在上述搬運系統(tǒng)100中,,懸掛式起重機(jī)30在存儲庫區(qū)域10a或者存儲庫區(qū)域10b內(nèi),,沿著起重機(jī)軌道20行駛,在保管部11與交接口12之間搬運物品2,。例如,,懸掛式起重機(jī)30能夠通過物品移載部34(參照圖4)接受被保管部11保管的物品2,沿著起重機(jī)軌道20行駛至交接口12,將物品2載置于交接口12,。另外,,在利用高架搬運車50將物品2載置于交接口12的情況下,懸掛式起重機(jī)30能夠沿著起重機(jī)軌道20行駛到交接口12,,利用物品移載部34接受物品2之后,,沿著起重機(jī)軌道20行駛到移載目的地的保管部11,通過物品移載部34將物品2載置于保管部11,。另外,,在搬運系統(tǒng)100中,高架搬運車50在利用懸掛式起重機(jī)30將物品2載置在交接口12的情況下,,沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區(qū)域10a的交接口12,。然后,能夠由物品保持部53(參照圖5)保持物品2,,在高架搬運車軌道40行駛,,由此將物品2搬運到其它存儲庫區(qū)域10b的交接口12、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st,,在他們各自處載置物品2,。另外。新吳區(qū)企業(yè)商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。

    在長邊方向的兩端與后述的機(jī)架間軌道43以及第二機(jī)架間軌道44連接。外繞軌道42a在俯視時通過存儲庫區(qū)域10a,、10b的交接口12的側(cè)方,。但是,該交接口12是與對應(yīng)于機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41的外繞軌道41a的交接口12不同的交接口12,。在外繞軌道42a行駛的高架搬運車50能夠相對于交接口12進(jìn)行物品2的交接,。外繞軌道42a被配置于處理裝置tl的裝載端口lp的正上方。內(nèi)繞軌道42b被形成為環(huán)狀,,被配置于外繞軌道42a的內(nèi)側(cè),。此外,內(nèi)繞軌道41b,、42b在俯視圖時被配置于偏離了裝載端口lp的正上方的位置,。根據(jù)該結(jié)構(gòu),懸掛式起重機(jī)30在從后述的存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域移動時,,能夠使從起重機(jī)用行駛部31垂下的桅桿32不與裝載端口lp干涉地行駛,。內(nèi)繞軌道41b經(jīng)由連接軌道41c與外繞軌道41a連接。另外,,內(nèi)繞軌道42b經(jīng)由連接軌道42c與外繞軌道42a連接,。此外,在外繞軌道41a、42a與內(nèi)繞軌道41b,、42b之間分別沿著外繞軌道41a,、42a等配置多個暫存區(qū)st。暫存區(qū)st例如具有能夠載置物品2的貨架部,,以懸掛于建筑物的頂棚的狀態(tài)設(shè)置,。此外,是否配置暫存區(qū)st是任意的,,也可以沒有暫存區(qū)st,。機(jī)架間軌道43與機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41以及第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42各自的一方的端部連結(jié)。無錫寫字樓商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。惠山區(qū)質(zhì)量商鋪搬運公司哪家好

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    高架搬運車50在從其它存儲庫區(qū)域10b的交接口12,、處理裝置lt的裝載端口lp或者暫存區(qū)st接受了物品2的情況下,,能夠沿著高架搬運車軌道40行駛至存儲庫區(qū)域10a的交接口12,在交接口12載置物品2,。在高架搬運車50在機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41行駛的情況下,,位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進(jìn)行物品2相對于交接口12的交接。高架搬運車50在物品2相對于交接口12的交接中,,在利用側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動部54向外繞軌道41a的側(cè)方突出了的狀態(tài)下,,使物品保持部53升降(參照圖5),。另外,,位于外繞軌道41a的高架搬運車50能夠進(jìn)行物品2相對于處理裝置lt的裝載端口lp的交接。高架搬運車50在物品2相對于裝載端口lp的交接中,,不驅(qū)動或者基本不驅(qū)動側(cè)出機(jī)構(gòu)55而使物品保持部53升降(參照圖5),。另外,位于外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的高架搬運車50能夠進(jìn)行物品2相對于暫存區(qū)st的交接,。高架搬運車50在物品2相對于暫存區(qū)st的交接中,,在通過側(cè)出機(jī)構(gòu)55使升降驅(qū)動部54向外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b軌道的側(cè)方突出了的狀態(tài)下使物品保持部53升降。物品2相對于暫存區(qū)st的交接在外繞軌道41a或者內(nèi)繞軌道41b的任一個中都能夠進(jìn)行,,高架搬運車50通過改變側(cè)出機(jī)構(gòu)55的突出方向就能夠?qū)?yīng)(參照圖5),。此外?;萆絽^(qū)質(zhì)量商鋪搬運公司哪家好