具體實(shí)施方式以下,參照附圖對實(shí)施方式進(jìn)行說明,。在以下的各圖中,使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進(jìn)行說明,。在該xyz坐標(biāo)系中,將鉛直方向設(shè)為z方向,,將水平方向設(shè)為x方向,、y方向。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向,。y方向是與x方向正交的方向,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a,、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向,。另外,關(guān)于x,、y,、z方向的各方向,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,,+x側(cè)),,將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,-x側(cè)),。圖1是表示本實(shí)施方式所涉及的搬運(yùn)系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖,。圖1所示的搬運(yùn)系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運(yùn),。在本實(shí)施方式中,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,,搬運(yùn)系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,,物品2可以是由用于設(shè)置搬運(yùn)系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實(shí)施方式中,。梁溪區(qū)學(xué)校商鋪搬運(yùn)報(bào)價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話
入口部15a形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段間頂棚軌道13向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑,。出口部15b形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑,。第二連接軌道16與連接軌道15相同地,,具有入口部16a和出口部16b作為兩個軌道。入口部16a形成供高架搬運(yùn)車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑,。出口部16b形成供高架搬運(yùn)車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑,。此外,在本實(shí)施方式中,,示出連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子,,但連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀。如圖1所示,,保管部20a和交接端口30a配置于保管區(qū)域sa1,。如圖1所示,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2,。保管部20a和交接端口30a配置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方,。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方。保管部20a和交接端口30a配置于在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的起重機(jī)40a和高架搬運(yùn)車50進(jìn)行物品2的交接的范圍,。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話梁溪區(qū)貨車商鋪搬運(yùn)報(bào)價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。
"接頭"需要建立在移動的離散設(shè)備與上下游設(shè)備之間的良好通訊條件的基礎(chǔ)上,。與上位軟件的通訊為了更好的管理整個搬運(yùn)過程,,一個自動化系統(tǒng)通常也需要有一個管理搬運(yùn)任務(wù)和設(shè)備的上位管理軟件,常見的有倉庫管理軟件WMS,、倉庫控制軟件WCS,、自動搬運(yùn)機(jī)器人調(diào)度軟件等等。上位各種管理軟件的功能都是建立在與現(xiàn)場環(huán)境中所有的搬運(yùn)設(shè)備信息交互的基礎(chǔ)上,。上位管理軟件下發(fā)的指令數(shù)據(jù)需要通訊通道將命令傳遞到搬運(yùn)設(shè)備上,,同時,現(xiàn)場的搬運(yùn)設(shè)備的當(dāng)前的狀態(tài)和任務(wù)執(zhí)行情況要實(shí)時的上傳給上位機(jī)管理軟件與第三方的通訊需要通過運(yùn)動才能執(zhí)行搬運(yùn)任務(wù)的離散搬運(yùn)設(shè)備,,在執(zhí)行任務(wù)時一定會占用一定的公共資源,,比如要占用通道,占用電梯又或者是通過一到門,。占用公共資源之前,,離散搬運(yùn)設(shè)備可能需要通過與公共資源通訊進(jìn)而申請占用授權(quán),公共資源允許后通知搬運(yùn)設(shè)備,,在完成占用后,,搬運(yùn)設(shè)備將釋放信號再次通知給公共資源,以便公共資源下次為別的設(shè)備提供資源,。:工業(yè)內(nèi)通用的通訊方式主要有兩大類,,有線通訊,無線通訊。傳統(tǒng)的有線通訊穩(wěn)定性高,,無線通訊便捷和機(jī)動性高,。很顯然,對于絕大部分的離散搬運(yùn)設(shè)備來講,,無線通訊是較好的選擇,。而在實(shí)際上。
也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c,、10d)移動的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41,。另外,,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c,、10d)移動的情況下,,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,。另外,,在法律允許的范圍內(nèi),引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分,。附圖標(biāo)記的說明lp…裝載端口,、mn…維護(hù)裝置;st…暫存區(qū),;tl…處理裝置,;2…物品;10…存儲庫,;10a…存儲庫區(qū)域,;10b…存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域);10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10d…規(guī)定區(qū)域,;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域;10g…作業(yè)者通路,;11…保管部,;12…交接口;20,,20c,,20d…起重機(jī)軌道;30…懸掛式起重機(jī),;31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿;33…升降臺,;34…物品移載部,;35…升降驅(qū)動部;40…高架搬運(yùn)車軌道,;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,;41a、42a…外繞軌道,;41b,、42b…內(nèi)繞軌道;41c,、42c…連接軌道,;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;43…機(jī)架間軌道,;44…第二機(jī)架間軌道,;50…高架搬運(yùn)車。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運(yùn)報(bào)價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。
在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫,。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī),。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),為了提高物品的移載效率,,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,,參照文獻(xiàn)1)。文獻(xiàn)1:國際公開第2016/178347號對于文獻(xiàn)1所記載的存儲庫,,兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區(qū)域內(nèi)。因此,,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲庫區(qū)域移動時,,或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動時,需要從軌道取下并搬運(yùn)懸掛式起重機(jī),。但是,,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費(fèi)事,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大,。并且,,由于使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備搬運(yùn)已取下的懸掛式起重機(jī),所以不僅成本提高,,而且存在搬運(yùn)也需要時間這樣的問題,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動而不使用特殊的搬運(yùn)設(shè)備的搬運(yùn)系統(tǒng)以及搬運(yùn)方法,。本發(fā)明的搬運(yùn)系統(tǒng)具備:被配置于存儲庫區(qū)域內(nèi)的存儲庫?;萆絽^(qū)品質(zhì)商鋪搬運(yùn)報(bào)價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。梁溪區(qū)短途商鋪搬運(yùn)電話
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、第二移送部44a,、44b具備能夠沿與,、第二行駛部41a、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48,、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49,。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤,,使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,,使保持部49上升,由此將物品2懸掛保持,。在,、第二移送部44a、44b接收物品2時,,將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使、第二升降臺43a,、43b上升,,由此利用保持部49將物品2提起。接著,,,、第二移送部44a、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,,由此將保持有物品2的保持部49配置于,、第二升降臺43a、43b的下方,。此外,,、第二移送部44a,、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu),。例如,也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu),,也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu),。,、第二升降驅(qū)動部45a、45b例如使用升降機(jī)等,,沿著,、第二桅桿42a、42b使,、第二升降臺43a、43b升降,。,、第二升降驅(qū)動部45a、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動部45b,。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,,、第二升降臺43a,、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛,。無錫商鋪搬運(yùn)公司電話
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