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來源: 發(fā)布時間:2021-11-02

    具體實施方式以下,,參照附圖對實施方式進(jìn)行說明。在以下的各圖中,,使用xyz坐標(biāo)系對圖中的方向進(jìn)行說明,。在該xyz坐標(biāo)系中,,將鉛直方向設(shè)為z方向,將水平方向設(shè)為x方向,、y方向,。x方向是水平方向內(nèi)的一個方向,是沿著后述的區(qū)段間頂棚軌道13和第二區(qū)段間頂棚軌道14的方向,。y方向是與x方向正交的方向,,是沿著區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的直線部11a、和第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的直線部12a的方向。另外,,關(guān)于x,、y、z方向的各方向,,適當(dāng)?shù)貙⑴c箭頭相同一側(cè)稱為+側(cè)(例如,,+x側(cè)),將其相反側(cè)稱為-x側(cè)(例如,,-x側(cè)),。圖1是表示本實施方式所涉及的搬運系統(tǒng)100的一個例子的俯視圖。圖1所示的搬運系統(tǒng)100例如設(shè)置于半導(dǎo)體設(shè)備的制造工廠等,,對收容有在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中使用的半導(dǎo)體晶圓的foup,、或者收容有中間掩模等的中間掩模盒等物品2進(jìn)行搬運。在本實施方式中,,使用物品2是foup的例子來進(jìn)行說明,,但物品2也可以是除foup以外的物品。另外,,搬運系統(tǒng)100也能夠應(yīng)用于除半導(dǎo)體制造領(lǐng)域以外的設(shè)備,,物品2可以是由用于設(shè)置搬運系統(tǒng)100的設(shè)備處理的各種物品。在本實施方式中,。梁溪區(qū)學(xué)校商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司。無錫商鋪搬運公司電話

    入口部15a形成供高架搬運車50從區(qū)段間頂棚軌道13向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑,。出口部15b形成供高架搬運車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向區(qū)段間頂棚軌道13行駛的路徑,。第二連接軌道16與連接軌道15相同地,具有入口部16a和出口部16b作為兩個軌道,。入口部16a形成供高架搬運車50從第二區(qū)段間頂棚軌道14向區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12行駛的路徑,。出口部16b形成供高架搬運車50從區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11或者第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12向第二區(qū)段間頂棚軌道14行駛的路徑。此外,,在本實施方式中,,示出連接軌道15與第二連接軌道16是同一形狀或者大致同一形狀的例子,但連接軌道15與第二連接軌道16也可以是不同的形狀,。如圖1所示,,保管部20a和交接端口30a配置于保管區(qū)域sa1,。如圖1所示,,第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二保管區(qū)域sa2。保管部20a和交接端口30a配置于區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11的下方且側(cè)方,。第二保管部20b和第二交接端口30b配置于第二區(qū)段內(nèi)頂棚軌道12的下方且側(cè)方,。保管部20a和交接端口30a配置于在區(qū)段內(nèi)頂棚軌道11能夠通過后述的起重機(jī)40a和高架搬運車50進(jìn)行物品2的交接的范圍。無錫商鋪搬運公司電話梁溪區(qū)貨車商鋪搬運報價哪家好,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。

    "接頭"需要建立在移動的離散設(shè)備與上下游設(shè)備之間的良好通訊條件的基礎(chǔ)上,。與上位軟件的通訊為了更好的管理整個搬運過程,一個自動化系統(tǒng)通常也需要有一個管理搬運任務(wù)和設(shè)備的上位管理軟件,,常見的有倉庫管理軟件WMS,、倉庫控制軟件WCS、自動搬運機(jī)器人調(diào)度軟件等等,。上位各種管理軟件的功能都是建立在與現(xiàn)場環(huán)境中所有的搬運設(shè)備信息交互的基礎(chǔ)上,。上位管理軟件下發(fā)的指令數(shù)據(jù)需要通訊通道將命令傳遞到搬運設(shè)備上,同時,,現(xiàn)場的搬運設(shè)備的當(dāng)前的狀態(tài)和任務(wù)執(zhí)行情況要實時的上傳給上位機(jī)管理軟件與第三方的通訊需要通過運動才能執(zhí)行搬運任務(wù)的離散搬運設(shè)備,,在執(zhí)行任務(wù)時一定會占用一定的公共資源,比如要占用通道,,占用電梯又或者是通過一到門,。占用公共資源之前,離散搬運設(shè)備可能需要通過與公共資源通訊進(jìn)而申請占用授權(quán),,公共資源允許后通知搬運設(shè)備,,在完成占用后,搬運設(shè)備將釋放信號再次通知給公共資源,,以便公共資源下次為別的設(shè)備提供資源,。:工業(yè)內(nèi)通用的通訊方式主要有兩大類,有線通訊,,無線通訊,。傳統(tǒng)的有線通訊穩(wěn)定性高,無線通訊便捷和機(jī)動性高,。很顯然,,對于絕大部分的離散搬運設(shè)備來講,無線通訊是較好的選擇,。而在實際上,。

    也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b、10c,、10d)移動的情況下使用第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道42,,在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下使用機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道41。另外,,也可在使懸掛式起重機(jī)30從存儲庫區(qū)域10a向規(guī)定區(qū)域(10b,、10c、10d)移動的情況下,,以及在使懸掛式起重機(jī)30從規(guī)定區(qū)域向存儲庫區(qū)域10a移動的情況下,,使用相同的機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道。另外,在法律允許的范圍內(nèi),,引用作為日本申請的特愿2017-128569以及本說明書所引用的全部的文獻(xiàn)的內(nèi)容并作為正文記載的一部分,。附圖標(biāo)記的說明lp…裝載端口、mn…維護(hù)裝置,;st…暫存區(qū),;tl…處理裝置;2…物品,;10…存儲庫,;10a…存儲庫區(qū)域;10b…存儲庫區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10c…維護(hù)區(qū)域(規(guī)定區(qū)域),;10d…規(guī)定區(qū)域;10f…作業(yè)者進(jìn)入禁止區(qū)域,;10g…作業(yè)者通路,;11…保管部;12…交接口,;20,,20c,20d…起重機(jī)軌道,;30…懸掛式起重機(jī),;31…起重機(jī)用行駛部;32…桅桿,;33…升降臺,;34…物品移載部;35…升降驅(qū)動部,;40…高架搬運車軌道,;41…機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道;41a,、42a…外繞軌道,;41b、42b…內(nèi)繞軌道,;41c,、42c…連接軌道;42…第二機(jī)架內(nèi)環(huán)繞軌道,;43…機(jī)架間軌道,;44…第二機(jī)架間軌道;50…高架搬運車,。濱湖區(qū)質(zhì)量商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。

在半導(dǎo)體制造工廠等制造工廠中,,配置有保管收納半導(dǎo)體晶圓的foup或者收納中間掩膜的中間掩膜盒等物品的存儲庫,。存儲庫具備用于在多個保管架與交接口之間移載物品的起重機(jī)。作為該起重機(jī)公知有在被配置于頂棚的軌道上行駛的懸掛式起重機(jī),,為了提高物品的移載效率,,提出了兩種懸掛式起重機(jī)在共用的軌道上行駛的構(gòu)成(例如,參照文獻(xiàn)1),。文獻(xiàn)1:國際公開第2016/178347號對于文獻(xiàn)1所記載的存儲庫,,兩種懸掛式起重機(jī)雖在共用的軌道上行駛,但其行駛范圍被限制在配置了存儲庫的一個存儲庫區(qū)域內(nèi),。因此,,在使該懸掛式起重機(jī)向其它的存儲庫區(qū)域移動時,或者為了維護(hù)而使懸掛式起重機(jī)向維護(hù)區(qū)域移動時,,需要從軌道取下并搬運懸掛式起重機(jī),。但是,從軌道取下懸掛式起重機(jī)的作業(yè)麻煩且費事,,作業(yè)者的負(fù)擔(dān)大,。并且,由于使用特殊的搬運設(shè)備搬運已取下的懸掛式起重機(jī),,所以不僅成本提高,,而且存在搬運也需要時間這樣的問題。技術(shù)實現(xiàn)要素:本發(fā)明目的是提供一種能夠容易地使懸掛式起重機(jī)在存儲庫區(qū)域內(nèi)與規(guī)定區(qū)域之間移動而不使用特殊的搬運設(shè)備的搬運系統(tǒng)以及搬運方法,。本發(fā)明的搬運系統(tǒng)具備:被配置于存儲庫區(qū)域內(nèi)的存儲庫,。惠山區(qū)品質(zhì)商鋪搬運報價哪家好,,誠心推薦無錫永旺搬家有限公司,。梁溪區(qū)短途商鋪搬運電話

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    ,、第二移送部44a、44b具備能夠沿與,、第二行駛部41a,、41b的行駛方向正交的方向伸縮的臂部48、和設(shè)置于臂部48的前端并保持物品2的保持部49,。保持部49通過把持物品2的凸緣部2a而將物品2懸掛保持,。保持部49例如是具有能夠沿水平方向移動的爪部49a的卡盤,使爪部49a侵入至物品2的凸緣部的下方,,使保持部49上升,,由此將物品2懸掛保持,。在、第二移送部44a,、44b接收物品2時,,將臂部48伸長而使保持部49配置于物品2的上方,在使凸緣部2a保持于爪部49a的狀態(tài)下使,、第二升降臺43a,、43b上升,由此利用保持部49將物品2提起,。接著,,、第二移送部44a,、44b維持利用保持部49保持物品2的狀態(tài)地收縮臂部48,,由此將保持有物品2的保持部49配置于、第二升降臺43a,、43b的下方,。此外,,、第二移送部44a,、44b并不限定于上述的結(jié)構(gòu)。例如,,也可以是保持部49載置物品2的結(jié)構(gòu),,也可以是保持部49把持且保持物品2的側(cè)面的結(jié)構(gòu)。,、第二升降驅(qū)動部45a,、45b例如使用升降機(jī)等,沿著,、第二桅桿42a,、42b使、第二升降臺43a,、43b升降,。、第二升降驅(qū)動部45a,、45b具備懸掛部件45a和驅(qū)動部45b,。懸掛部件45a例如是帶狀物或者線材等,,、第二升降臺43a,、43b通過該懸掛部件45a從上部支承體47懸掛。無錫商鋪搬運公司電話

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